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[发明专利]一种固态的二维扫描激光雷达及其扫描方法-CN201710663467.8在审
发明人：张莉均;洪晓彬;苏伟兴 -专利权人：广州市杜格数控设备有限公司
申请日： 2017-08-05 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G01S17/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种固态的二维扫描激光雷达及其扫描方法，包括控制处理模块及与其连接的激光发射模块和激光接收模块；激光发射模块包括激光器、准直镜和振镜，所述准直镜将激光器发射的探测激光束准直到振镜上，探测激光束被振镜以不同角度发射出去；激光接收模块包括第一反射镜、振镜、接收望远镜和光探测器，从被目标物体表面反射回来的激光回波，经第一反射镜反射到振镜后，激光回波以固定方向入射到接收望远镜；控制处理模块，对所述激光器、振镜及光探测器的工作状态进行控制和感知并作数据处理分析本发明采用MEMS振镜既作为扫描器件又作为接收器件，简化结构，降低成本，无需对扫描器件和接收器件的姿态进行同步。
一种固态二维扫描激光雷达及其方法

[实用新型]一种振镜扫描装置及系统-CN201920993056.X有效
发明人：蒋修青 -专利权人：岗春激光科技(江苏)有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种振镜扫描装置及系统。其中，装置包括：第一振镜驱动单元、第一振镜片以及与第一振镜片相对设置的第一反射镜；振镜扫描装置处于初始状态时，第一振镜片与第一反射镜平行；第一振镜驱动单元用于驱动第一振镜片旋转以改变第一振镜片所在平面与第一反射镜所在平面之间的夹角，第一振镜片的旋转轴平行于第一振镜片所在平面；入射光束经振镜扫描装置出射的出射光束的第一偏转角与第一振镜片的偏转角之间的比值为C1；入射光束在第一振镜片上的反射次数为B1；其中，C1＝2
镜片振镜扫描装置所在平面反射镜振镜驱动单元本实用新型入射光束平行出射光束激光扫描相对设置转角偏转角旋转轴出射反射驱动

[发明专利]一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法-CN202310252086.6在审
发明人：张骆;王子文;金聪 -专利权人：武汉金顿激光科技有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法，其系统包括激光器、扩束镜、波片、分束镜、扫描振镜和移动平台，激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜顺次光路连接，移动平台位于扫描振镜的下方，且扫描振镜出射的激光可对移动平台上的待加工样品进行扫描本发明中激光束通过激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜形成的光路照射至移动平台上的待加工样品表面，从而对待加工样品表面的多层复合薄膜的表面介质膜层刻蚀，并且不会造成多层复合薄膜的底层介质膜层损伤，去除过程简单方便
一种多层复合薄膜激光刻蚀系统方法

[发明专利]激光清洗方法、装置、计算机可读介质以及激光清洗设备-CN202110856925.6有效
发明人：谢曦宇;余海龙;李志翔;张兴斌;付敏 -专利权人：深圳市汇泽激光科技有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光清洗方法，应用于激光清洗设备，所述激光清洗设备包括激光器、x轴振镜和y轴振镜，所述激光器产生的激光光束经过所述x轴振镜和所述y轴振镜以调整激光扫描点的位置，通过调节所述x轴振镜和所述y轴振镜，以使假定扫描点的轨迹为矩形，其中所述假定扫描点是假定光束经过所述x轴振镜和所述y轴振镜投射到平面的点；所述激光清洗方法包括以下步骤：当所述x轴振镜数据和所述y轴振镜数据组合对应的点位于所述矩形轨迹上平行于x轴的边时，控制所述激光器开启以输出激光；当所述x轴振镜数据和所述y轴振镜数据组合对应的点位于所述矩形轨迹上平行于y轴的边时，控制所述激光器关闭以停止输出激光。
激光清洗方法装置计算机可读介质以及设备

[实用新型]一种倍幅扫描光学成像装置-CN201921503533.6有效
发明人：齐东;郑超 -专利权人：南京恒德康润医疗科技发展有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及生物光学成像研究设备领域，且公开了一种倍幅扫描光学成像装置，所述倍幅扫描光学成像装置包括成像装置，所述成像装置包括第一反射镜，设置在所述成像装置的固定架上，所述第一反射镜的正上方设置有第一镜筒透镜，所述第一反射镜的正左侧设置有二向色镜，所述二向色镜的正下方设置有第一扫描振镜；所述成像装置包括第三反射镜，设置在所述固定架上，所述第三反射镜的正下方设置有第二扫描振镜，所述第二扫描振镜的正左侧设置有第三镜筒透镜，所述第二扫描振镜的扫描幅度是所述第一扫描震镜的扫描幅度两倍；本实用新型提高了光学效率以及图像的信噪比，也不会导致传统共聚焦显微镜的光毒性极强，同时也对敏感的样品能完成长时间的实验。
一种扫描光学成像装置

[发明专利]基于多个激光振镜的空间曲线联合定位投影系统及其方法-CN202110289171.0有效
发明人：涂俊超;徐兵;史慈南 -专利权人：光量信息科技（宁波）有限公司
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多个激光振镜的空间曲线联合定位投影系统及其方法，基于多个激光振镜的空间曲线联合定位投影系统包括多个激光振镜系统和总控装置，所述激光振镜系统包括激光振镜扫描装置和光敏传感装置；所述激光振镜扫描装置包括激光发射器、二维振镜扫描头、准直扩束装置和聚焦装置；所述光敏传感装置包括光敏传感器和光学分光聚焦装置；所述总控装置包括控制板和电脑主机，所述控制板用于协同控制多个激光振镜扫描装置与多个光敏传感装置；所述光敏传感器响应由激光发射器发射后反射回的激光束信号
基于激光空间曲线联合定位投影系统及其方法

[实用新型]一种3D打印机双振镜结构-CN201921000744.8有效
发明人：郑炎明;杨景松;吴春鹏;巫国宝 -专利权人：威斯坦（厦门）实业有限公司
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B29C64/268 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种3D打印机双振镜结构，包括光路板、A激光器、A振镜、B振镜、A全反镜和防护罩，所述光路板顶部一端通过螺栓安装A激光器，所述A激光器一侧通过安装片安装A振镜，所述光路板顶部另一端通过螺栓安装B激光器，所述B激光器一侧安装有B振镜，所述A振镜和B振镜的接收端均安装有扩束镜，所述光路板另一端通过A阻尼轴安装防护罩。通过两组振镜进行交错扫描，实现长城齿型式的互相咬合状扫描轨迹，使其扫描效果大大提高。
一种打印机双振镜结构

[发明专利]双振镜报警装置、系统及方法-CN202310887930.2在审
发明人：方志鑫;吴超森;李强;翟学涛;杨朝辉 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G08B21/18 文献下载
摘要：本发明公开一种双振镜报警装置及系统，双振镜报警装置包括报警信号处理单元、电源单元、第一隔离单元以及第二隔离单元，报警信号处理单元接收第一振镜的扫描信号和第二振镜的扫描信号，并对第一振镜的扫描信号和第二振镜的扫描信号进行处理后输出报警检测信号本技术方案使得操作人员能够快速获取振镜报警信息，缩短报警后的处理时间，并提高设备的稼动率，操作人员可以及时采取相应的措施来处理报警情况，以避免潜在的故障或损失。
双振镜报警装置系统方法

[发明专利]面向复杂曲面零件清洗的智能激光加工头-CN202310640646.5在审
发明人：潘哲豪;孙兵涛;朱小伟;陈冠运;洪凯昕;谢岩;史琦;刘思颖;黄仁彬 -专利权人：温州大学
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明提供面向复杂曲面零件清洗的智能激光加工头，包括支架、反射镜座、振镜固定座和三维扫描仪，支架上滑动设置有滑块，滑块上滑动设置有壳体；反射镜座的一侧与壳体连接，反射镜座的另一侧设有激光束输入接口，再一侧设有工业相机，反射镜座中安装有45°镀膜光学镜片；振镜固定座连通反射镜座和扫描振镜、场镜，加工激光束通过扫描振镜、经场镜作用于工件表面；三维扫描仪安装在壳体上，用于在清洗作业前进行待清洗工件的三维模型扫描、重构和建模与现有技术相比，本方案中通过三维扫描仪的配合，提高了对曲面零件的清洗效果；通过移动壳体，能够使扫描和激光全面覆盖工件，实现工件的扫描和清洗加工操作便捷、效率高。
面向复杂曲面零件清洗智能激光工头

[实用新型]一种大角度的激光扫描投影装置-CN202320650342.2有效
发明人：徐得铭;卢睿;黄曙光;王应君 -专利权人：深圳市锐思华创汽车电子有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种大角度的激光扫描投影装置，包括光源产生器，所述光源产生器用于向外发出激光光束；第一透镜，所述第一透镜布置于所述光源产生器的出光光路上，所述第一透镜用于改变激光光束的发散角度；扫描振镜，所述扫描振镜布置于所述第一透镜的出光光路上，且所述扫描振镜可做旋转运动，所述扫描振镜用于在做旋转运动时，以将入射至其表面的激光光束以不同的角度，反射至第二透镜；第二透镜，所述第二透镜布置于所述扫描振镜的出光光路上，所述第二透镜用于改变经扫描振镜反射后的激光光束的发散角度。本实用新型采用光学结构来增加激光扫描投影装置的投影面积，其整体体积小、安装容易，且成本低，易于量化生产。
一种角度激光扫描投影装置

[发明专利]一种收发同步激光雷达光学系统-CN201910660751.9有效
发明人：范乔丹;夏长锋;乔大勇;徐法虎;何耀军 -专利权人：西安知微传感技术有限公司
申请日： 2019-07-22 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01S17/02 文献下载
摘要：本发明属于激光雷达光学设计系统领域，涉及一种收发同步激光雷达光学系统，解决了因不能精确保证两套振镜的同步转动及收发共轴光学系统容易将发射杂散光反射进光电探测器导致的测试结果不准确的问题。该光学系统主要包括激光雷达发射系统与激光雷达接收系统；激光雷达发射系统中的扫描发射振镜与激光雷达接收系统中的扫描接收振镜为同一扫描振镜，其表面设有垂直于镜面的隔离装置，将扫描振镜分为上下两个部分，分别作为扫描发射振镜与扫描接收振镜实现收发光学系统的互不干扰，排除了共轴收发光路混合产生的杂散光对接收信号的干扰，并保证激光扫描系统发射模块与接受模块在频率、幅值、相位完全一致，大大提高测试结果的可靠性。
一种收发同步激光雷达光学系统

[实用新型]高功率3D扫描振镜焊接机-CN201821041856.3有效
发明人：张晓峰;钱峰 -专利权人：苏州首镭激光科技有限公司
申请日： 2018-06-30 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高功率3D扫描振镜焊接机，用于焊接一待焊接产品，该高功率3D扫描振镜焊接机包括工作台面、XYZ三轴控制系统、振镜扫描系统以及焊接主机箱，其中，待焊接产品放置于该工作台面上；XYZ三轴控制系统包括相对运动的X轴模块、Y轴模块以及Z轴模块；振镜扫描系统设于该XYZ三轴控制系统上，由该XYZ三轴控制系统带动该振镜扫描系统在该工作台面上方移动；焊接主机箱内设有一激光发出机构，该激光发出机构发出激光束，该激光束通过光纤进入该振镜扫描系统并投射至该待焊接产品，该振镜扫描系统根据一3D图纸焊接该待焊接产品。
焊接振镜扫描系统控制系统三轴振镜焊接机高功率本实用新型激光工作台面焊接主机激光束产品放置精密点焊上方移动质量稳定工作台投射零部件光纤维护

[实用新型]一种激光打标装置-CN201821616121.9有效
发明人：张传杰;许让辉;马文聪 -专利权人：南京惠镭光电科技有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光打标领域，尤其涉及一种激光打标装置，包括激光器、分束器、第一扫描振镜系统、第二扫描振镜系统及样品台，所述激光器发射的激光经过分束器后产生第一激光和第二激光，所述第一激光经过所述第一扫描振镜系统后照射到所述样品台，所述第二激光经过所述第二扫描振镜系统后照射到所述样品台。本实用新型通过分束器将激光分成两束激光，同时两束激光分别通过不同的扫描振镜系统后照射到样品台上对样品进行打标，一方面可以提高打标范围，另一方面也可以显著提高打标速率，同时通过对第一扫描振镜系统和第二扫描振镜系统的控制
扫描振镜系统激光打标分束器样品台本实用新型照射激光打标激光打标装置激光器发射激光器

[发明专利]晶硅太阳能电池钻孔设备-CN201110006514.4无效
发明人：赵裕兴;徐海宾 -专利权人：苏州德龙激光有限公司
申请日： 2011-01-13 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本发明涉及晶硅太阳能电池钻孔设备，激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有旋光模组，旋光模组的输出端布置有扫描振镜装置，扫描振镜装置包含CCD镜头、转角镜片、振镜头和扫描场镜，转角镜片与旋光模组的输出端相衔接，转角镜片上安装CCD镜头，转角镜片的输出端连接振镜头，振镜头的输出端连接扫描场镜，扫描场镜正对于加工平台，加工平台安装于X轴直线导轨上，X轴直线导轨安装于Y轴直线导轨上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨相垂直具备同轴影像模组的扫描振镜结构实现了高速的小孔跳转和影像实时监测功能。该设备具有钻孔精度高、小孔圆度好、热效应区域小、钻孔直径50μm～300μm连续可调等特点。
太阳能电池钻孔设备

[实用新型]晶硅太阳能电池钻孔设备-CN201120009505.6无效
发明人：赵裕兴;徐海宾 -专利权人：苏州德龙激光有限公司
申请日： 2011-01-13 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶硅太阳能电池钻孔设备，激光器的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有旋光模组，旋光模组的输出端布置有扫描振镜装置，扫描振镜装置包含CCD镜头、转角镜片、振镜头和扫描场镜，转角镜片与旋光模组的输出端相衔接，转角镜片上安装CCD镜头，转角镜片的输出端连接振镜头，振镜头的输出端连接扫描场镜，扫描场镜正对于加工平台，加工平台安装于X轴直线导轨上，X轴直线导轨安装于Y轴直线导轨上，Y轴直线导轨与X轴直线导轨相垂直具备同轴影像模组的扫描振镜结构实现了高速的小孔跳转和影像实时监测功能。该设备具有钻孔精度高、小孔圆度好、热效应区域小、钻孔直径50μm～300μm连续可调等特点。
太阳能电池钻孔设备