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[发明专利]扫描振镜-CN201811401424.3在审
发明人：邱纯鑫;刘乐天 -专利权人：深圳市速腾聚创科技有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本申请涉及一种扫描振镜，包括：锚定结构、差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件；差动电容驱动器固定在锚定结构上，包括：X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路；连杆传动组件包括：X轴连杆机构和Y轴连杆机构；X轴驱动器用于在驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动X轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕Y轴摆动；Y轴驱动器用于在驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动Y轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕X轴摆动；其中，扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和第一驱动电压对应，绕X轴摆动的角度与频率和第二驱动电压对应。采用本扫描振镜能够分别独立地精准控制扫描镜组件绕X轴、Y轴摆动的扫描频率和扫描角度。
摆动扫描镜组件连杆机构扫描振镜驱动器第二驱动电压第一驱动电压连杆传动组件驱动电路输出差动电容锚定结构静电力驱动精准控制驱动电路扫描频率扫描申请

[实用新型]扫描振镜-CN201821929752.6有效
发明人：邱纯鑫;刘乐天 -专利权人：深圳市速腾聚创科技有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本申请涉及一种扫描振镜，包括：锚定结构、差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件；差动电容驱动器固定在锚定结构上，包括：X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路；连杆传动组件包括：X轴连杆机构和Y轴连杆机构；X轴驱动器用于在驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动X轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕Y轴摆动；Y轴驱动器用于在驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动Y轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕X轴摆动；其中，扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和第一驱动电压对应，绕X轴摆动的角度与频率和第二驱动电压对应。采用本扫描振镜能够分别独立地精准控制扫描镜组件绕X轴、Y轴摆动的扫描频率和扫描角度。
摆动扫描镜组件连杆机构扫描振镜驱动器第二驱动电压第一驱动电压连杆传动组件驱动电路输出差动电容锚定结构静电力驱动精准控制驱动电路扫描频率扫描申请

[外观设计]扫描振镜-CN202130607737.0有效
发明人：邓登碧;师娅奇 -专利权人：星移控制科技(广州)有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：扫描振镜。2.本外观设计产品的用途：本外观设计是用于激光光束的控制。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
扫描

[实用新型]振镜装置及激光加工设备-CN202223304749.4有效
发明人：方志鑫;吴超森;李强;翟学涛;杨朝辉 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种振镜装置，包括电机安装座、振镜电机和振镜扫描镜片；所述电机安装座内开设有振镜扫描腔；所述振镜电机安装在所述电机安装座上，所述振镜扫描镜片与所述振镜电机相连，且所述振镜扫描镜片设置在所述振镜扫描腔内；所述电机安装座上设有冷却气体管，所述冷却气体管与振镜扫描腔连通，所述冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体。本实用新型中，冷却气体管用于向振镜扫描腔内输送干燥气体，使振镜扫描腔体内与外界环境形成压力差，可以有效防止外界中的灰尘等污染物进入振镜扫描腔内影响激光的传输；同时振镜扫描镜片上的大部分热量跟随气流被带走，传导到振镜电机上的热量变得很微小或不存在。
装置激光加工设备

[发明专利]一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法-CN201510429167.4在审
发明人：黄见洪;翁文;陈金明;李锦辉;阮开明;邓晶;刘华刚;林文雄 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：一种旋转式振镜扫描装置，包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，扫描振镜固定在转台上；转轴连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上本发明还提供上述旋转式振镜扫描装置的应用方法。旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题
一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法

[实用新型]一种旋转式振镜扫描装置-CN201520529430.2有效
发明人：黄见洪;翁文;陈金明;李锦辉;阮开明;邓晶;刘华刚;林文雄 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：一种旋转式振镜扫描装置，包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，扫描振镜固定在转台上；转轴连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题
一种旋转式振镜扫描装置

[发明专利]多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜-CN202310800324.2在审
发明人：蔡宸;方琪;战春;余柯艳;钱斌;唐超 -专利权人：宁波舜宇仪器有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜，其能够实现稳定大视场和均匀高亮度的光切成像。该多振镜扫描系统包括第一扫描振镜、第二扫描振镜以及补偿振镜。该第一扫描振镜包括第一振镜镜片和与该第一振镜镜片驱动连接的第一驱动机构。该第二扫描振镜包括第二振镜镜片和与该第二振镜镜片驱动连接的第二驱动机构。该补偿振镜包括位于该第一振镜镜片和该第二振镜镜片之间光路中的补偿振镜镜片和与该补偿振镜镜片驱动连接的补偿驱动机构；该补偿振镜镜片的转动中心与该第一振镜镜片的转动中心沿着第一方向排布，并且该补偿振镜镜片的转动中心与该第二振镜镜片的转动中心沿着与该第一方向相交的第二方向排布
多振镜扫描系统方法以及激光显微镜

[发明专利]激光扫描投影仪的扫描投影方法-CN201810372951.X在审
发明人：杨乐宝 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：本发明提供一种激光扫描投影仪的扫描投影方法，包括：通过激光扫描投影仪的扫描振镜快轴和扫描振镜慢轴进行扫描，扫描振镜慢轴的扫描方式为非线性运动的扫描方式；其中，在每行扫描的过程中，通过调控驱动电流使扫描振镜慢轴在预设位置处于静止状态；其中，当扫描振镜慢轴的驱动电流为下降电流时，同时为扫描振镜慢轴提供反向电流，扫描振镜慢轴在反向电流的驱动下处于静止状态，扫描振镜快轴一直做扫描运动；然后为扫描振镜慢轴提供运动电流，扫描振镜慢轴在运动电流的驱动下进行扫描运动利用本发明，能够解决现有的激光扫描投影仪的来回扫描后的相交斜线而造成错误的图像投影的问题。
扫描振镜慢轴激光扫描投影仪反向电流静止状态驱动电流扫描方式扫描投影扫描运动快轴扫描非线性运动驱动图像投影下降电流相交斜线预设位置行扫描调控

[发明专利]一种双激光双振镜同幅面校准平台及其校准方法-CN202111544085.6在审
发明人：杨永强;陈锌;翁丰强;朱勇强 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B29C64/153 文献下载
摘要：本发明公开了一种双激光双振镜同幅面校准平台及其校准方法；包括校准板、粘贴在校准板上的打印纸、位于校准板上方的两个振镜，即第一三轴扫描振镜和第二三轴扫描振镜；第一三轴扫描振镜和第二三轴扫描振镜，分别与光纤激光器连接，校准板放在图像扫描仪上扫描，将扫描的图像传输给数据处理器，数据处理器处理数据后生成校准文件并传送给振镜控制器，振镜控制器控制三轴扫描振镜进行打印作业。本发明在双振镜同幅面校准过程中，首先是进行两个振镜原点的重合校准，之后第二三轴扫描振镜精度校准以第一三轴扫描振镜为参照，提高了两个振镜同幅面的精度，解决了同幅面打印由于振镜校准精度，以及容易错层的问题。
一种激光双振镜幅面校准平台及其方法

[发明专利]一种基于摆角压缩的精密激光加工装置-CN201610004473.8有效
发明人：张立国;付正波 -专利权人：武汉铱科赛科技有限公司
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于摆角压缩的精密激光加工装置，所述的装置包括高速扫描振镜、光束摆角压缩模块、角度切换振镜、光束平场聚焦模块以及振镜实时控制模块。本发明通过高速扫描振镜对入射光束进行角度调制，使高速扫描振镜工作在最佳扫描频率范围内获得最快扫描频率，经光束摆角压缩模块压缩光束摆动角度幅度获得最精细扫描角度，再经角度切换振镜和光束平场聚焦模块配合进行大面积扫描聚焦，振镜实时控制模块实时控制高速扫描振镜和角度切换振镜，形成超精细、高速、大面积、多振镜实时同步扫描精密微加工效果，非常符合实际激光加工的需求。
一种基于压缩精密激光加工装置

[实用新型]一种基于摆角压缩的精密激光加工装置-CN201620008544.7有效
发明人：张立国;付正波 -专利权人：武汉铱科赛科技有限公司
申请日： 2016-01-06 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于摆角压缩的精密激光加工装置，所述的装置包括高速扫描振镜、光束摆角压缩模块、角度切换振镜、光束平场聚焦模块以及振镜实时控制模块。本实用新型通过高速扫描振镜对入射光束进行角度调制，使高速扫描振镜工作在最佳扫描频率范围内获得最快扫描频率，经光束摆角压缩模块压缩光束摆动角度幅度获得最精细扫描角度，再经角度切换振镜和光束平场聚焦模块配合进行大面积扫描聚焦，振镜实时控制模块实时控制高速扫描振镜和角度切换振镜，形成超精细、高速、大面积、多振镜实时同步扫描精密微加工效果，非常符合实际激光加工的需求。
一种基于压缩精密激光加工装置

[发明专利]一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统-CN202210616839.2在审
发明人：褚文学;温在兴;李文勇;龙永涛;黄民源;李泽;马冬林 -专利权人：武汉欧毅光学有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统，其特征在于，由依次设置的激光光源、光束整形镜、一维振镜、“4f系统”模块A透镜、“4f系统”模块B透镜、二维振镜A反射镜、二维振镜B反射镜、远心光路模块组成；激光振镜扫描系统用于实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步运行功能；本发明将一维振镜加“4f系统“的组合引入到传统的二维振镜扫描系统中实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步高速运行，在引入局域一维扫描后可以极大地丰富检测的扫描模式，为多参数同时检测提供了可能，扩大了振镜系统的应用场景。
一种具备扫描功能激光系统

[发明专利]一种转动式振镜扫描装置及其应用方法-CN201510429149.6在审
发明人：黄见洪;林文雄;张志;史斐;郑晖;葛燕;吴鸿春;戴殊韬 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：一种转动式振镜扫描装置包括激光器、转动装置、转轴、转台和扫描振镜，扫描振镜安装在转台上，转轴的第一端连接到在转台一侧上，转动装置驱动转轴旋转，从而使得扫描振镜随转台一起转动，改变其工作位置。本发明还提供上述转动式振镜扫描装置的应用方法。转动式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个固定工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题
一种转动式振镜扫描装置及其应用方法

[发明专利]扫描振镜运动轨迹的规划方法和装置-CN201510355207.5有效
发明人：王光能;秦红燕;李玉廷;张国平;丁兵;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族电机科技有限公司
申请日： 2015-06-24 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描振镜运动轨迹的规划方法，所述方法包括建立扫描振镜的模型；计算所述模型对应的输入电压并根据所述输入电压对应的作用时间对输入电压进行优化得到最优当前输入电压；利用所述模型、所述扫描振镜的当前状态和当前输入电压计算所述扫描振镜的下一个状态，得到所述扫描振镜的多个状态，所述状态中包括扫描振镜的位置；根据所述多个状态对应的位置生成所述扫描振镜的运动轨迹。采用本方法能够通过计算简单且容易实现的方式让扫描振镜最大限度发挥自身效率。此外还提供一种扫描振镜运动轨迹的规划装置。
扫描运动轨迹规划方法装置

[发明专利]激光选区熔化中多振镜协同校正方法及装置-CN202111265396.9在审
发明人：王天骄;融亦鸣 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B22F10/28 文献下载
摘要：本公开实施例中提供了一种激光选区熔化中多振镜协同校正方法及装置，属于金属增材制造技术领域，其中，方法，包括：确定第一扫描振镜的第一扫描振镜坐标系和第二扫描振镜的第二扫描振镜坐标系；利用第一扫描振镜在重合扫描区域标记N个第一位置点，并获取每一第一位置点在第一扫描振镜坐标系下的第一位置坐标；利用第二扫描振镜获取每一第一位置点在第二扫描振镜坐标系下的第二位置坐标；基于N个第一位置点的第一位置坐标和第二位置坐标，计算第一扫描振镜坐标系与第二扫描振镜坐标系之间的转换关系，以通过转换关系对第一扫描振镜和第二扫描振镜进行协同校正。通过本公开的处理方案，提高了不同振镜的坐标系之间坐标转换便捷性和准确性。
激光选区熔化中多振镜协同校正方法装置

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