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- [发明专利]成膜装置-CN202011507274.1在审
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岩崎达哉;内田敏治
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佳能特机株式会社
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2020-12-18
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2021-06-22
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C23C14/56
- 本发明提供一种成膜装置，能够在不阻碍成膜源的移动的情况下稳定且再现良好地进行成膜。另外，实现成膜装置的耐久性的提高。成膜装置具有成膜室、成膜源以及连结构件，所述成膜源能够在所述成膜室内移动，所述连结构件连结所述成膜室的壁部和所述成膜源，向所述成膜源供给电力的配线插通于所述连结构件的内部，其中，所述连结构件具有至少一个移动体和将所述移动体与所述成膜室的壁部或所述成膜源连接的连接部
- 装置
- [发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201110339521.6无效
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中川善之;中野真吾;福田直人
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佳能株式会社
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2011-11-01
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2012-05-23
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C23C14/24
- 本发明提供一种成膜装置和成膜方法。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时，在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量，而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。在成膜装置(1)中，还设置用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20))，该移动部保持测量用石英振荡器(22)，以维持其相对于成膜源(21)的相对位置，且当移动部处于成膜待机位置时，校正用石英振荡器(23)设在移动部的上方。
- 装置方法
- [发明专利]成膜装置-CN201110339499.5无效
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中川善之;中野真吾;福田直人
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佳能株式会社
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2011-11-01
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2012-05-23
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C23C14/24
- 提供一种可在成膜对象物上精确地形成均一膜的成膜装置。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时，在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量(形成在其上的薄膜厚度)，而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。成膜装置(1)中，还提供用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20))，以及用于控制测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)的温度至基本相同的温度控制部
- 装置
- [发明专利]成膜装置-CN202310126777.1在审
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菅原由季
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佳能特机株式会社
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2023-02-17
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2023-08-25
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C23C14/24
- 本发明涉及一种成膜装置，提供一种防止附着于挡板的成膜材料落下的技术。本发明的成膜装置具备：第一移动部件，所述第一移动部件使向基板放出成膜材料的成膜源和基板中的至少任一个沿规定的方向移动；以及第二移动部件，所述第二移动部件进行控制，以使挡板在对成膜材料从成膜源向基板的入射进行限制的第一位置与不对成膜材料从成膜源向基板的入射进行限制的一个位置之间移动，第二移动部件进行控制，以便在从基板观察时成膜源及挡板在规定的方向上位于相同的方向且基板不位于成膜源的放出方向的情况下，使位于成膜源的放出方向的挡板向规定的方向及与该规定的方向相反的方向移动。
- 装置
- [发明专利]一种植物源成膜性农药的使用方法-CN201510891993.0在审
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陶新田
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陶新田
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2015-11-27
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2016-02-03
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A01N65/40
- 本发明涉及植物源成膜性农药的使用方法：其中，步骤如下：A、杀灭蔬菜潜叶蝇，将植物源成膜性农药稀释体积倍数50倍进行喷洒；B、杀灭稻子潜叶蝇，将植物源成膜性农药中加入百菌清后，稀释40倍后进行喷洒，加入百菌清的量为植物源成膜性农药质量的3-5%；C、杀灭蚜虫时，将本发明加入乐果乳油后，稀释至体积倍数的60倍后进行喷洒，加入的乐果乳油的量为植物源成膜性农药质量的3-6%；D、杀灭植物叶面霉斑菌时，将植物源成膜性农药稀释至体积倍数的80倍后进行喷洒；本发明配比简单，使用方便，以植物源材料为主料，制备植物源成膜性农药，污染程度小。
- 一种植物源成膜性农药使用方法
- [发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法-CN201910825058.2在审
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松本行生
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佳能特机株式会社
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2019-09-03
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2020-04-07
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C23C14/35
- 本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。能够尽可能地抑制在成膜待机区域从成膜源放出的成膜材料向成膜区域侧飞溅，并抑制成膜材料附着于成膜对象物。成膜装置(1)具有腔室(10)和移动机构(12)，所述腔室配置成膜对象物(2)和使成膜材料朝向成膜对象物飞溅而成膜于成膜对象物的成膜源(3)，所述移动机构在腔室(10)内的规定的成膜待机区域(B)与成膜区域(A)之间使成膜源(3)相对于成膜对象物(2)相对移动，成膜装置具有能够在分隔位置与开放位置之间移动的挡板部件(7)，在分隔位置，将成膜区域(A)与成膜待机区域(B)之间隔开，在开放位置，将成膜区域(A)和成膜待机区域(B)开放。
- 装置方法以及电子器件制造
- [发明专利]成膜装置-CN202080007249.9有效
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关根元气;中尾裕利
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株式会社爱发科
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2020-08-06
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2023-09-08
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C23C14/54
- 本发明的成膜装置具有真空容器、成膜源、收容容器、膜厚传感器以及膜厚控制器。所述成膜源收容在所述真空容器。所述收容容器收容在所述真空容器，能够维持比所述真空容器内的压力高的压力。所述膜厚传感器包含具有共振频率的振荡器，在所述膜厚传感器中，在所述振荡器堆积由从所述成膜源释放的成膜材料。所述膜厚控制器收容在所述收容容器，基于所述成膜材料的堆积引起的所述振荡频率的变化，计算从所述成膜源释放的所述成膜材料的释放量。
- 装置
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