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[发明专利]降低微波等离子体激发难度的方法-CN200710121655.4无效
发明人：刘亮;张贵新;冯剑 -专利权人：清华大学
申请日： 2007-09-12 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明涉及降低微波等离子体激发难度的方法，属于微波等离子体激发技术领域，本方法包括；在普通的微波反应腔中，插入喷气电离管；在电离管内通入工作气体；对喷气电离管逐渐加大电压直至气体放电，使喷气电离管产生电离流；调节喷气电离管的工作电压使电离流被吹到反应腔内的高场强区域；向反应腔内逐步加入微波能，直至等离子体团激发；调整微波能以维持等离子体，关闭喷气电离管的电压。本发明可使普通微波等离子体反应腔在高气压或大气压下激发等离子体的难度降低，对微波等离子体的实际应用有促进作用。
降低微波等离子体激发难度方法

[发明专利]一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统-CN201711167862.3在审
发明人：刘程;张贵新;邓磊 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提出的一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统，属于微波等离子体源、微波材料处理技术领域，包括设有非金属微波放电管的微波谐振等离子体炬发生装置和由介质阻挡放电(DBD)射流电源、非金属预电离射流管、预电离气体存放瓶、气流和水冷设备及工作气体存放瓶构成的DBD预电离系统；气流和水冷设备的气流接口一端与微波放电管上端连通、另一端与工作气体存放瓶连接；预电离射流管下部位于非金属预电离射流管内，且中部缠绕有与DBD射流电源连接的铜箔层；预电离射流管上端与预电离气体存放瓶连接。本系统能保证微波在腔体中顺利激发微波等离子体，解决了一般微波波导谐振腔内等离子体在大气压下难于激发的问题。
一种基于介质阻挡放电电离微波等离子体激发系统

[实用新型]一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统-CN201721564504.1有效
发明人：刘程;张贵新;邓磊 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统，属于微波等离子体源、微波材料处理技术领域，包括设有非金属微波放电管的微波谐振等离子体炬发生装置和由介质阻挡放电(DBD)射流电源、非金属预电离射流管、预电离气体存放瓶、气流和水冷设备及工作气体存放瓶构成的DBD预电离系统；气流和水冷设备的气流接口一端与微波放电管上端连通、另一端与工作气体存放瓶连接；预电离射流管下部位于非金属预电离射流管内，且中部缠绕有与DBD射流电源连接的铜箔层；预电离射流管上端与预电离气体存放瓶连接。本系统能保证微波在腔体中顺利激发微波等离子体，解决了一般微波波导谐振腔内等离子体在大气压下难于激发的问题。
预电离射流管介质阻挡放电微波等离子体微波工作气体激发系统水冷设备放电管上端射流微波等离子体源等离子体本实用新型等离子体炬电源连接发生装置气流接口微波波导微波材料微波谐振铜箔层谐振腔激发腔体连通缠绕电源保证

[发明专利]一种采用微波等离子体炬电离源的电离质谱分析方法-CN201610447842.0有效
发明人：陈焕文;杨美玲;王新晨;乐长高 -专利权人：东华理工大学
申请日： 2016-06-21 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H01J49/00 文献下载
摘要：本发明提供一种采用微波等离子体炬电离源的电离质谱分析方法，所述电离源包括水平同轴放置的微波等离子体炬管和进样系统，微波等离子体炬管的头部设有开口端，所述开口端朝向质谱扫描仪的离子传输管口，进样系统与微波等离子体炬管的尾部连接，进样系统采用喷雾进样装置；本发明采用该微波等离子体炬电离源配合质谱扫描仪进行质谱分析。本发明采用喷雾进样装置代替传统的气动雾化去溶装置，电离源装置结构简单、电离效率高，电离分析时样品消耗量少、分析速度快，对于高成本或稀有样品来说，分析成本显著降低。
一种微波等离子体电离谱分析方法

[发明专利]一种双频双天线小型波电离离子推进装置-CN202010091482.1在审
发明人：朱悉铭;孟圣峰;梁崇;宁中喜;王彦飞 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-02-13 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： F03H1/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种双频双天线小型波电离离子推进装置，属于等离子体航天推进技术领域。解决了现有波电离离子推力器电离室边缘区域电子获能效果差，电子能量低，电离不充分的问题。它包括电离室、供气单元、微波输入单元、磁路单元、栅极加速单元和射频天线，所述供气单元与电离室相连，提供工质气流，所述栅极加速单元设置在电离室放电区后端，所述磁路单元包括多个环形磁铁，多个环形磁铁设置在电离室放电区前端，引导电子做回旋运动，所述微波输入单元设置在电离室内部，所述微波输入单元与磁路单元配合在电离室内形成电子回旋共振区，所述射频天线缠绕在电离室的外侧壁面上。它主要用于波电离离子推进器。
一种双频天线小型电离离子推进装置

[实用新型]一种微波等离子体炬电离源-CN201620610609.5有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-06-21 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01J49/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种微波等离子体炬电离源，所述电离源包括水平同轴放置的微波等离子体炬管和进样系统，微波等离子体炬管的头部设有开口端，所述开口端朝向质谱扫描仪的离子传输管口，进样系统与微波等离子体炬管的尾部连接，进样系统采用喷雾进样装置；本实用新型采用该微波等离子体炬电离源配合质谱扫描仪进行质谱分析。本实用新型采用喷雾进样装置代替传统的气动雾化去溶装置，电离源装置结构简单、电离效率高，电离分析时样品消耗量少、分析速度快，对于高成本或稀有样品来说，分析成本显著降低。
一种微波等离子体电离

[发明专利]一种用于氢原子激射器的电离源装置及氢原子激射器-CN202011567480.1在审
发明人：高善格;吴玲玲;武晓光;刘善敏 -专利权人：上海光链电子科技有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H05H1/18 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于氢原子激射器的电离源装置,电离源装置包括电离泡、谐振腔组件和至少一个磁场发生部件，谐振腔组件包括连接法兰、使微波同轴线传输的内导体和外导体、以及微波导入部件，内导体和外导体的一端均与连接法兰连接，内导体、外导体和连接法兰围合成仅一端开口的谐振腔，电离泡设置在开口处且邻近内导体，连接法兰上设有微波导入部件，外导体与用于氢原子激射器的电离源装置的密封结构固定连接；磁场发生部件设置在电离泡的外侧且其产生的磁场与微波共同作用使电离泡内的电子形成电子回旋共振，使电离泡内的氢气电离成氢等离子体。通过上述技术方案，能够进一步提高氢等离子体中氢原子的电离密度。
一种用于氢原子激射器电离装置

[发明专利]一种微波增强辅助电离的会切场推力器-CN201910259148.X有效
发明人：刘辉;曾明;于达仁 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： F03H1/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种微波增强辅助电离的会切场推力器，属于电推力器领域，特别是涉及一种微波增强辅助电离的会切场推力器。解决了会切场推力器小型化过程中难以克服的工质利用率不足、效率低下、调节精度低等的问题。它包括SMA微波输入接口、阳极、供气管、谐振天线、永磁环、放电通道、微波谐振腔和磁尖端导磁环。它主要用于会切场推力器的微波增强辅助电离。
一种微波增强辅助电离会切场推力

[发明专利]微波源高密度低能离子束生物改性设备-CN201610957837.4在审
发明人：滕海燕 -专利权人：合肥优亿科机电科技有限公司
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： A01H1/06 文献下载
摘要：本发明提供一种微波源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括电离室以及置于电离室上方的微波系统和波导管，该电离室上端与波导管之间通过陶瓷窗连接，电离室下端与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于电离室的外侧，所述微波系统在电离室内产生微波等离子体，经过引出系统的加速本发明微波离子源没有阴极，不会产生阴极蒸发，不会产生二次电子发射，不会污染等离子体，可以形成非常纯净的离子束。
微波高密度低能离子束生物改性设备

[发明专利]一种氢原子钟原子弛豫时间测量系统-CN202210260667.X有效
发明人：梁悦;谢勇辉 -专利权人：中国科学院上海天文台
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G04D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种氢原子钟原子弛豫时间测量系统，包括：控制模块，TTL信号产生模块、微波信号产生模块和微波信号接收模块，控制模块分别与TTL信号产生模块、微波信号产生模块和微波信号接收模块电连接或通信连接，TTL信号产生模块通过数字继电器与氢原子钟的电离源电连接，微波信号产生模块和微波信号接收模块分别与氢原子钟的微波谐振腔电连接。本发明的氢原子钟原子弛豫时间测量系统，通过控制模块的控制TTL信号产生模块和微波信号产生模块，无需通过混频器、滤波器和检波电路即可实现电离源和脉冲微波探寻信号的时序控制，因此不会受到电离源的信号干扰，测量更简单精确；直接采集氢原子辐射的微波信号的功率值，减少了计算过程。
一种氢原子原子弛豫时间测量系统

[发明专利]一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法-CN201010011405.7无效
发明人：于庆先;孙四通 -专利权人：青岛科技大学
申请日： 2010-01-05 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法，该方法包括二氧化钛薄膜的制备步骤和停机的步骤，所述制备方法是在真空状态下完成的；微波从微波系统中出来，经过石英微波窗口到达镀膜室。将交流电加在两个弧形钛靶上，使两级的气体Ar电离成等离子气团，微波将这些等离子输运到两弧形钛靶上，Ar等离子体对钛靶金属表面离子轰击，溅射出的金属粒子被微波辐照而电离并形成等离子气团，并输运到衬底上。同时，通入氧气，氧气在微波辐照下形成等离子体，衬底加了负偏压，带负偏压的衬底使钛离子、氧离子消电离而共淀积成膜。
一种氧化薄膜微波等离子体制备方法

[发明专利]一种微滴进样的宽能量微波等离子体离子源多功能电离方法-CN202310562368.6在审
发明人：潘远江;褚冯键;汪小知;冯鸿儒;赵高升 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种微滴进样的宽能量微波等离子体离子源多功能电离方法，不同于复合离子源需要复杂的电气切换系统，通过雾化微滴辅助单一微波等离子体源的能量调节实现各种离子化模式。装置整体由可调氩微波等离子体，同心雾化器，三轴移动平台，常压离子传输模块组成，通过调节进样位置，微波功率等参数条件，以实现软、硬电离、源内裂解，元素解吸等多功能电离，从而实现从质量数3000以下各类极性
一种微滴进样能量微波等离子体离子源多功能电离方法

[发明专利]一种月基视角下微波地表温度反演方法-CN201910030348.8有效
发明人：廖静娟;袁立男 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：一种月基视角下微波地表温度反演方法，包括求解微波水平极化发射率与垂直极化发射率之间的相关系数；获取月基观测天顶角；微波大气衰减分析；计算微波大气透过率；计算大气上行辐射和大气下行辐射；分析电离层衰减；获得月基视角下微波地表温度反演结果本发明提供的月基视角下微波地表温度反演算法，是在分析全球地表特征的基础上，利用微波不同波段下的水平与垂直极化发射率间的相关关系，结合辐射传输方程和微波在电离层中传播等理论而建立的，考虑了电离层影响，不受时间和空间上的限制
一种视角微波地表温度反演方法

[发明专利]一种超硬氮化钛薄膜的微波等离子体制备方法-CN201010011403.8无效
发明人：孙四通;于庆先 -专利权人：青岛科技大学
申请日： 2010-01-05 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本发明涉及一种超硬氮化钛薄膜的微波等离子体制备方法，该方法包括超硬氮化钛薄膜的制备步骤和停机的步骤，所述制备方法是在真空状态下完成的；微波从微波系统中出来，经过石英微波窗口到达镀膜室。1800～2400V交流电加在两个弧形金属钛靶上，使两级的气体Ar电离成等离子气团，微波将这些等离子输运到弧形钛靶上，Ar等离子体对钛靶金属表面离子轰击，溅射出的金属粒子被微波辐照而电离并形成等离子气团同时，通入氮气，氮气在微波辐照下形成等离子体，衬底加了负偏压，带负偏压的衬底使钛离子、氮离子消电离而共淀积成膜。本发明的微波等离子体法共沉积氮化钛薄膜，薄膜密实，晶体的类型可通过衬底的温度有效控制。
一种氮化薄膜微波等离子体制备方法

[发明专利]一种基于大气压等离子体发射光谱的检测系统-CN202211670587.8在审
发明人：朱文超;李聪;于洪伟;刘英莉;陈路明;常颖;王凯强;许德鑫 -专利权人：中国人民解放军军事科学院防化研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01N21/62 文献下载
摘要：该系统包括微波激励源，与微波激励源相连接的微波温和电离装置，向微波温和电离装置通入待测气体的气体进样系统，用于采集检测发光光谱的光谱测量系统，微波温和电离装置包括等离子发生腔体、空心铜柱、铜环、中空石英管
一种基于大气压等离子体发射光谱检测系统

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