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- [发明专利]扩展电阻探针的测试装置及其使用方法-CN202310331529.0在审
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徐嘉良
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2023-03-30
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2023-07-04
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G01R31/28
- 本发明提供一种扩展电阻探针的测试装置的使用方法,提供吸附于加热吸附卡盘上的载板,根据待测芯片的数量在载板上设置对应的热熔胶;利用夹持机构将每个待测芯片移动至对应的热熔胶上,之后利用加热吸附卡盘加热热熔胶至液态;利用夹持机构调节待测芯片固定的位置,停止加热吸附卡盘的加热,使得液态的热熔胶变为固态将待测芯片固定在载板上;解吸附载板,将载板固定连接在载体的倾斜面上,使得待测芯片与研磨盘之间具有一倾斜角,之后利用研磨盘研磨待测芯片形成研磨面;利用测试探针对待测芯片上的研磨面进行电阻测试。本发明通过增加载板,保证了待测芯片直边于载体斜面交线平行;保证了芯片上的研磨角与倾斜面的倾斜角一致,减小了测试误差。
- 扩展电阻探针测试装置及其使用方法
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