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[发明专利]形状测量装置-CN201811214666.1在审
发明人：里吉宽之 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供了一种能够使得用户容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状的形状测量装置。在基准图像RI上指派多个指派的点。将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的多个部分上。在偏差图像中，显示了测量对象的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的偏差。
测量对象指派形状测量装置偏差图像粗糙表面形状光辐射基准图像近似平面偏差产生期望表面

[发明专利]形状测量装置-CN202010227400.1在审
发明人：加藤庆显 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种设置在形状测量装置上的头部，包括与光源和光接收器整体位移的半透明的触笔头，并且布置在光源和光接收器之间。由被全反射表面全反射的光在测量表面处产生倏逝光。触笔头使测量表面和可测量物体的表面面向彼此，将测量表面与可测量物体的表面分开，并且被布置成使得倏逝光到达可测量物体的表面。
形状测量装置

[发明专利]形状测量装置-CN201310413996.4有效
发明人：久保圭司 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2013-09-12 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种使探针进行扫描来进行形状测量的形状测量装置，实现了降低振动的噪声。该形状测量装置具备第一(Y轴方向)移动体(19)、与第一移动体大致平行地移动的移动辅助体(24)和向与所述第一移动体大致成直角的方向移动的第二(X轴方向)移动体(3)，利用所述移动辅助体承受使第二移动体移动所产生的力，由于在XY轴方向上进行驱动，因此，在使设于第二移动体上的测量用探针(1)在XY轴方向上进行扫描时，第一移动体不会受到第一移动体的移动方向的大致直角方向的反作用，能抑制第一移动体的振动。
形状测量装置

[发明专利]形状测量装置-CN201710939654.4有效
发明人：迹路隆;秋柴雄二 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本申请提供一种形状测量装置，其能够在宽的测量范围内，高速、高精度地测量测量对象的表面形状，同时使形状测量装置配置得紧凑。测量光和参考光通过分束器分别被引导到测量对象(S)和反光镜，且通过测量对象(S)反射的测量光和通过反光镜反射的参考光被引导到光接收部。可移动部(141)往复运动，由此测量光的光程与参考光的光程之差改变。基于可移动部(141)相对于支撑部(125)的相对位置和光接收部的多个像素的光接收量，来获取测量对象(S)的多个部分的表面形状。
形状测量装置

[发明专利]形状测量装置-CN201911031042.0有效
发明人：根本贤太郎;山县正意;菅野良平;川田宏昭 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种形状测量装置。形状测量装置包括：保持单元，其保持形状被要测量的测量对象；第一测量单元，其测量所述测量对象的第一表面上的多个测量点相对于规定点的相对坐标；第二测量单元，其独立于所述第一测量单元进行操作，并且测量所述测量对象的作为所述第一表面的反面的第二表面上的多个测量点相对于所述规定点的相对坐标；以及计算单元，其基于由所述第一测量单元和所述第二测量单元所测量出的结果来计算所述测量对象的形状。
形状测量装置

[实用新型]形状测量装置-CN201420204535.6有效
发明人：吉田太郎;大渊一人;上原诚 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2014-04-24 - 公布日： 2014-09-17 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本实用新型的形状测量装置通过提高光源光的受光效率，不提高光源输出，而确保所希望的受光量。形状测量装置(1)具备向被测量物体(W)的设置面(2)投射光的投光部(3)和接收由投光部(3)投射的光的受光部(4)，通过受光部(4)的输出来测量被测量物体的形状和尺寸，其中，投光部(3)具备光源(10)、入射从光源(10)射出的光的杆积分器(11)、以及具有能够取入从杆积分器(11)的光射出面(11A)射出的全光束的开口数和视场而且至少在被测量物体侧呈远心状态的投光光学系统(20)，受光部(4)具备接收被测量物体的投影影像的拍摄元件
形状测量装置

[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序-CN201310413020.7在审
发明人：中务贵司 -专利权人：株式会社其恩斯
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供了形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序，其均能够在测量对象的形状测量之前，容易地将测量对象的姿态调节至适于形状测量的状态。在进行形状测量之前，光投射单元利用具有用于姿态检查的图案的光来照射测量对象。该状态下在显示部上显示被光接收单元捕获的测量对象的图像。当光投射单元用具有用于姿态检查的图案的光照射测量对象时，调节测量对象的姿态。
形状测量装置测量方法程序

[发明专利]形状测量装置、形状测量方法、和形状测量程序-CN201310413022.6在审
发明人：中务贵司 -专利权人：株式会社其恩斯
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了能够在以高精度测量测量对象的形状的同时清晰地观察测量对象的表面状态的一种形状测量装置、一种形状测量方法、和一种形状测量程序。由光投射单元照射的光被测量对象反射并且被光接收单元接收。通过三角测距法生成测量对象的立体形状数据。由光投射单元照射的光被测量对象反射并且被光接收单元接收。在改变光接收单元的焦点位置的同时，通过合成测量对象的多个部分的纹理图像数据来生成测量对象的全焦点纹理图像数据。合成立体形状数据和全焦点纹理图像数据，以生成合成数据。
形状测量装置测量方法程序

[发明专利]形状测量装置和形状测量方法-CN202210553713.5在审
发明人：黄义准;赵奉辰 -专利权人：泰克元有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明涉及形状测量装置和形状测量方法。具体地，根据本发明的一实施例，可以提供一种形状测量装置，包括：成像部，沿一个方向延伸以对测量对象进行成像；照射模块，包括光源和板，所述光源产生要照射到所述测量对象的光以具有相对于地面倾斜的倾斜角，所述板具有预定透射图案
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量方法以及形状测量装置-CN201680065427.7有效
发明人：桥爪英久;高见俊辅;原野敬久 -专利权人：株式会社钢臂功科研
申请日： 2016-10-05 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：测量部(100)测量半导体晶片(10)的边缘部(300)的截面形状(S201)。测量部(100)测量支撑部件(20)的边缘部(300)的截面形状(S203)。测量部(100)测量粘合晶片(30)的边缘部(400)的截面形状(S205)。
形状测量方法以及测量装置

[发明专利]形状测量装置和形状测量方法-CN201910318789.8有效
发明人：名取和毅;藤原政记 -专利权人：株式会社基恩士
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种形状测量装置和形状测量方法。形状测量装置(100)包括控制部(200)，控制部用于执行：判断处理，用于判断在深度测量范围外是否存在具有高度信息的未测量区域，其中该深度测量范围是从光投射部可照射图案光的高度范围；焦点位置改变处理，用于在判断处理判断为存在未测量区域的情况下，控制光轴方向驱动部改变光接收部的焦点位置；以及合成处理，用于生成通过合成多个立体形状数据所获得的合成立体形状数据，这多个立体形状数据是通过以下方式生成的：自动重复立体形状数据获取处理、判断处理和焦点位置改变处理，直到判断处理判断为不存在未测量区域或者满足预定结束条件为止。
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量方法和形状测量装置-CN201280072658.2有效
发明人：太田佳孝 -专利权人：株式会社尼利可
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于，缩短在光切断法中光切断线的检测所需的时间，进而，使目标物的形状测量的精度提高。在本发明的形状测量方法中，在包含所抽出的光切断线(160)的区域内描绘小区分割线(150)，在分割成小区(151)后，设定以位于各小区(151)内的光切断线(160)的位置为中心，沿上下方向扩展了多个像素的量的纵向区域
形状测量切断线纵向区域形状测量装置上下方向图像处理目标物总区域小区割线像素抽出描绘分割检测

[发明专利]形状测量装置以及形状测量方法-CN201580052827.X有效
发明人：高桥裕树;关博之;上原正广 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：提供形状测量装置等，能够在利用光以非接触的方式测量呈球面状的被测量面的形状时，减小与测长距离对应的误差而进行高精度的形状测量。形状测量装置(1)具有：保持件(12)，其保持测量对象物(20)；传感器(7)，其对被测量面(21)照射光并以非接触的方式测量与该被测量面(21)之间的距离；编码器(5)，其使传感器(7)绕中心轴(R1它们是使传感器(7)在与中心轴(R1)垂直的轴(R2)上移动的传感器移动机构，且能够使传感器(7)跨越与中心轴(R1)的交点的两侧而移动；XYZ载物台，其使保持件(12)沿着Z轴移动并在XY面内移动；以及控制装置(14)，其根据从传感器(7)输出的测量值来计算被测量面(21)的球心的位置，并进行使该球心的位置与传感器(7)的旋转中心(C)一致的控制。
形状测量装置以及测量方法

[发明专利]形状测量装置及形状测量方法-CN201080049318.9无效
发明人：井尻良 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2010-12-03 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明的MOCVD装置(形状测量装置)利用使作为被测定物的基板移动的移动平台(旋转台)、利用由激光光线所产生的多普勒效应的速度测量单元(21)、被测定物检测单元(25)、运算处理单元(24)、以及记录单元，来测定被测定物的形状。
形状测量装置测量方法

[发明专利]形状测量方法、形状测量装置、及程序-CN202111464059.2在审
发明人：萩原一希 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明的实施方式涉及一种形状测量方法、形状测量装置、及程序。实施方式的形状测量方法中，通过第1拟合处理来计算第1参数群中所包含的参数的收敛值，所述第1拟合处理使用了散射强度曲线及第1推想散射强度曲线，所述散射强度曲线与照射在具有特定图案的衬底上的电磁波的散射强度有关
形状测量方法测量装置程序

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