专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]在基材上制造图案的方法及系统-CN200510098695.2有效
  • 林进祥;林本坚 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2005-09-09 - 2006-08-02 - G03F7/20
  • 本发明是有关于一种在基材上制造图案的方法及系统,一种高解析度的微影系统与方法。在一实施例中,提供了一种在基材上制造图案的方法,包括将图案区分成至少一第一子图案以及一第二子图案,其中第一子图案包含朝第一方向的复数个线,且第二子图案包含朝第二方向的复数个线。利用第一驻波干涉图案形成朝第一方向的复数条线在基材上的第一光敏材料层上。消减所形成之线的一部分,以形成上述的第一子图案。在第一子图案形成后,提供第二光敏材料层在基材。利用第二驻波干涉图案形成朝第二方向的复数条线在第二光敏材料层上。消减形成在第二光敏层的这些线的一部分,以形成上述的第二子图案
  • 基材制造图案方法系统
  • [发明专利]全息图制作方法和制作的全息图-CN200910130713.9有效
  • 山内豪;植田健治;渡部壮周 - 大日本印刷株式会社
  • 2009-02-01 - 2009-08-19 - G03H1/04
  • 本发明涉及一种记录了10μm等级的细微的、不可目视的字符等的图案的全息图及其制作方法,在反射型的体积型全息图原版(1)的复制照明光(11)的入射侧配置体积型全息图记录材料(2),通过使射入到记录材料(2)中的复制照明光(11)与来自原版(1)的衍射光(12)在记录材料(2)中干涉,由此复制反射型的体积型全息图原版时,在原版(1)和记录材料(2)之间,插入具有细微的正反射图案(3)的图案板(5),通过使射入记录材料(2)中的复制照明光(11)和来自正反射图案(3)的正反射光(32)在记录材料(2)中干涉,由此在复制了反射型的体积型全息图原版(1)的全息图中,将正反射图案(3)作为全息图而多重地记录。
  • 全息图制作方法制作

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