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[发明专利]一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统及其水冷方法-CN202211673395.2在审
发明人：王光玉;孔祥玲;麻方宇;郭丽娟;刘云鹏;周亚芹;彭阳;杜添贺;于录 -专利权人：中科仪（南通）半导体设备有限责任公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F04C19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
一种多级真空泵循环水冷系统及其方法

[发明专利]PVD设备冷泵再生控制方法及装置-CN201310751078.2有效
发明人：杨洋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： F04B49/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种PVD设备冷泵再生控制方法及装置，其中方法包括如下步骤：接收冷泵申请系统干泵的使用权的请求；在检测到所述冷泵可使用系统干泵后，关闭PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀，控制所述冷泵开始再生；监测所述冷泵的再生状态；当所述冷泵的再生状态进入降温步骤时，释放所述系统干泵的使用权，并在等待再生完成后结束再生操作，打开PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀。本发明的PVD设备冷泵再生控制方法及装置改变了冷泵释放系统干泵的时间，将冷泵完成全部再生过程后再释放系统干泵改为冷泵开始降温时即释放干泵，这样提高了冷泵再生过程中系统干泵的调度效率，缩短多冷泵同时再生的时间
pvd 设备再生控制方法装置

[实用新型]一种干气密封卫生泵-CN201220127141.6有效
发明人：沈永达 -专利权人：温州市铁达泵业有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： F04D29/08 文献下载
摘要：本实用新型一种干气密封卫生泵，其包含：电动机、电机外罩、泵座、泵盖、泵轴、泵壳、叶轮、密封外罩、空气过滤器，泵脚支架和联轴器，还设有用于密封泵轴和泵盖的干气密封，所述干气密封设于泵轴的外侧，并位于泵盖与泵轴之间本实用新型一种干气密封卫生泵采用干气密封结构，由于干气密封属于非接触式机械密封，不仅使用寿命长，功耗小，而且当泵开启前，不需要对泵进行灌泵，在一旦不小心或操作失误使泵空转而缺少流体介质的情况下，也不会烧毁机械密封乃至整台泵，所以大大延长了泵的使用寿命。
一种密封卫生

[发明专利]一种真空干泵内部流场参数测试系统-CN201811600707.0有效
发明人：刘坤;关天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;毕德龙;段启惠;迟小宇;陈树雷;杜广煜;巴德纯 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
一种真空内部参数测试系统

[发明专利]干式无油双级螺杆真空泵-CN202110838355.8在审
发明人：陈勇 -专利权人：上海汉钟精机股份有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。本发明的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；同时
干式无油双级螺杆真空泵

[实用新型]干式无油双级螺杆真空泵-CN202121696080.0有效
发明人：陈勇 -专利权人：上海汉钟精机股份有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： F04C23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干式无油双级螺杆真空泵，其包括电机、一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体，所述一级干式螺杆真空泵本体的排气端与所述二级干式螺杆真空泵本体的进气端相连通，所述电机的输出齿轮均与所述一级干式螺杆真空泵本体的第一齿轮、所述二级干式螺杆真空泵本体的第二齿轮相啮合。本实用新型的干式无油双级螺杆真空泵，一级干式螺杆真空泵本体和二级干式螺杆真空泵本体都通过电机驱动，实现抽气速度快，真空度高；且无其他介质进入，无须增加更大的后处理设置，避免了因其他媒介的进入的二次污染；
干式无油双级螺杆真空泵

[发明专利]具有低功耗的泵送方法和设备-CN201080052223.2有效
发明人： T·尼尔 -专利权人：阿迪克森真空产品公司
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：泵送设备包括：干式低真空泵，它装备有连接到真空室的气体入口并且具有通向导管的气体出口；安放在该干式低真空泵的出口处的导管中的传送单向阀；以及相对于该传送单向阀平行安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：利用干式低真空泵通过气体入口泵送真空室中所含的气体；将干式低真空泵的气体出口连接到喷射器上；测量由干式低真空泵使用的电功率和该干式低真空泵出口处的管道中的气体的压力；当干式低真空泵出口处的气体的压力升高越过设定值和干式低真空泵消耗的电功率升高越过设定值时，在时间延迟之后，起动喷射器；当干式低真空泵消耗的电功率下降越过设定值和干式低真空泵出口处导管中气体的压力下降越过设定值时，使喷射器停止。
具有功耗方法设备

[发明专利]一种具备平衡装置的干泵-CN202310957735.2在审
发明人：陈刚;马学龙 -专利权人：陆芯真空技术（苏州）有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本发明涉及干泵技术领域，且公开了一种具备平衡装置的干泵，包括干泵，所述干泵的内部设置有平衡盘，用于对干泵的叶轮进行抵消轴向力，避免干泵损坏，所述干泵的左侧设置有法兰连接口，所述法兰连接口上设置有用于与设备进行连接的辅助连接组件，所述辅助连接组件上设置有用于对抽气过滤的从动过滤组件，该具备平衡装置的干泵，通过设置的从动过滤组件，当抽出气体中杂质过多，过滤板上过滤的杂质过多，导致过滤板堵塞，气体不能正常进入进气管道，进而不能继续对叶轮施加转动的力，叶轮停止转动，在弹簧三的作用下，刮板向远离转杆的一侧移动对过滤板表面附着的杂质进行清理，从而可以避免过滤板堵塞，影响干泵的正常使用。
一种具备平衡装置

[实用新型]一种用于海藻运输的干式泵结构-CN201920925141.2有效
发明人：仲鹏 -专利权人：青岛瑞顺泰合泵业有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B65G53/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于海藻运输的干式泵结构，通过在干式泵输入管道上设置固定壳，固定壳的外侧壁设置高压气泵，在干式泵停止输送物料而未停止运行时，由高压气泵向干式泵的输入管道内输送高压气体，能够将附着在输入管道、腔体、密封腔内以及连接杆上的残留物料冲掉，进而通过干式泵将残留物料运输出去，从而避免输入管道、腔体、密封腔堵塞，影响物料传输，进而避免干式泵卡死故障，导致干式泵无法正常运行。
干式泵输入管道残留物料高压气泵固定壳密封腔腔体本实用新型高压气体卡死故障输送物料停止运行影响物料海藻连接杆外侧壁附着运输传输堵塞

[实用新型]一种干式真空泵-CN202222094721.6有效
发明人：周文菊 -专利权人：世通海泰泵业（天津）股份有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干式真空泵，涉及真空泵技术领域。包括，泵体，所述泵体包括底壳、一级泵壳、二级泵壳、三级泵壳和顶壳，所述一级泵壳安装于底壳的上表面，所述二级泵壳安装于一级泵壳的上表面，所述三级泵壳安装于二级泵壳的上表面，通过设置泵体、泵腔、主动转子、从动转子、驱动齿轮、从动齿轮、齿轮箱、轴承座、滚动轴承和端盖，在将驱动电机安装到电机安装板的表面并将输出端与连接轴连接启动后，可以将气体通过吸气口吸入并通过排气口排出，通过将泵体设置为底壳、一级泵壳、二级泵壳、三级泵壳和顶壳之间依次通过螺栓连接组装的方式，可以便于对泵体进行拆卸分解，从而达到便于对真空泵进行检修维护的目的。
一种真空泵

[实用新型]无油干式真空泵组-CN202120803905.8有效
发明人：陈勇 -专利权人：深圳恒才机电设备有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： F04C19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了无油干式真空泵组，包括工艺真空抽气电动阀，所述工艺真空抽气电动阀一侧固定安装有真空前置处理器，所述真空前置处理器一侧固定安装有罗茨真空泵，所述罗茨真空泵下方固定安装有干式真空泵，所述干式真空泵一端固定安装有排气口，所述干式真空泵下方固定安装有电器控制系统。本实用新型所述的无油干式真空泵组，将无油干式真空泵泵头设计为干式旋转吸气爪，通过结构配合调整运行实现抽真空目的，多台无油干式真空泵组合拼装后增加结构设计框架，进气预处理装置来分离抽入气体的杂质，无油干式真空泵泵头工作中因没有加入任何的降温冷却
无油干式真空泵

[发明专利]一种防腐抗干磨轴密封-CN201911190534.4在审
发明人：蒋龙福;郭丹枫;王岩;夏鹏飞;蒋力峰;蒋凌超;盛振华 -专利权人：宜兴市宙斯泵业有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： F04D29/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种防腐抗干磨轴密封，轴密封安装于离心泵主轴上，轴密封包括密封盒组件、机械密封，机械密封包括静环、动环，其特征在于密封盒组件与泵壳固接，动环固定于主轴上，动环位于泵腔内与输送料液接触，密封盒组件包括密封盒、与密封盒分体或一体设置的密封盒压后盖、置于密封盒内的静环顶推弹性圈，静环顶推弹性圈两端压缩于密封盒压后盖、静环之间，静环顶推弹性圈处于弹性压紧状态，使静环摩擦幅与动环摩擦幅接触密封，在密封盒与泵壳的密封端面上固结有刚性隔板，刚性隔板内孔周面与静环外周面接触密封，静环顶推弹性圈外周面、密封盒压后盖、刚性隔板以及静环合围成存液腔体。
一种防腐抗干磨轴密封

[实用新型]一种防腐抗干磨轴密封-CN201922089317.8有效
发明人：蒋龙福;郭丹枫;王岩;夏鹏飞;蒋力峰;蒋凌超;盛振华 -专利权人：宜兴市宙斯泵业有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： F04D29/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防腐抗干磨轴密封，轴密封安装于离心泵主轴上，轴密封包括密封盒组件、机械密封，机械密封包括静环、动环，其特征在于密封盒组件与泵壳固接，动环固定于主轴上，动环位于泵腔内与输送料液接触，密封盒组件包括密封盒、与密封盒分体或一体设置的密封盒压后盖、置于密封盒内的静环顶推弹性圈，静环顶推弹性圈两端压缩于密封盒压后盖、静环之间，静环顶推弹性圈处于弹性压紧状态，使静环摩擦幅与动环摩擦幅接触密封，在密封盒与泵壳的密封端面上固结有刚性隔板，刚性隔板内孔周面与静环外周面接触密封，静环顶推弹性圈外周面、密封盒压后盖、刚性隔板以及静环合围成存液腔体。
一种防腐抗干磨轴密封

[实用新型]一种用于干式螺杆真空泵不停机维修的冷却装置-CN202220147546.X有效
发明人：杨仁成 -专利权人：威鹏晟(山东)机械有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： F04C29/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及干式螺杆真空泵维修技术领域，且公开了一种用于干式螺杆真空泵不停机维修的冷却装置，包括机体，所述机体的底部滑动连接有支撑板，所述支撑板的外侧活动连接有容纳箱，所述容纳箱的外侧固定连接有进料口该用于干式螺杆真空泵不停机维修的冷却装置，通过设置的柴油泵，以及配合设置的导热管，使用时通过柴油泵泵送冷却液，实现了对干式螺杆真空泵进行不停机冷却，使得干式螺杆真空泵维修起来更方便，省时省力，不需要长时间等待干式螺杆真空泵的冷却，提高了干式螺杆真空泵的工作效率，提高了干式螺杆真空泵维修的效率，避免干式螺杆真空泵的再次启动时出现数据误差的现象。
一种用于螺杆真空泵停机维修冷却装置

[实用新型]一种立式干泵顶轴承自润滑系统-CN201720918314.9有效
发明人：徐曦;朱红梅 -专利权人：北京朗禾科技有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型为一种立式干泵顶轴承自润滑系统，它包括：传动轴、轴承、轴承定位甩油环、轴承油盒；传动轴顶端支撑在所述轴承上；轴承油盒设有的储油槽位于在轴承下端并与所述轴承棍子槽相对；轴承定位甩油环设有的轴承座定位轴承内环或外环提高了设备的可靠性，解决了转速提升困难、及由于温度过高顶轴承损坏造成的成本高及其局限性的技术问题。
一种立式干泵顶轴承润滑系统