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- [发明专利]连续片状构件的复合体用的制造装置-CN201180014371.X有效
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山本广喜;合田英史
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尤妮佳股份有限公司
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2011-03-11
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2012-12-26
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B65H37/04
- 一种在通过工件交接位置将被保持的工件贴附并且交接至连续片状构件来制造连续片状构件的复合体用的装置，其包括：转动体，其绕转轴转动；工件保持部，其在保持工件的保持面面朝转动体的旋转半径方向外侧的状态下由转动体支撑；工件交接机构，其根据转动体的转动方向上的工件交接位置进行定位，并且当保持面经过工件交接位置时，工件交接机构将工件从保持面交接至连续片状构件，其中，工件交接构件具有：辊，其与连续片状构件接触以输送连续片状构件；以及推压机构，其能够沿着旋转半径方向向内推出辊的外周面，以将连续片状构件推靠于工件，推压机构与位于工件交接位置的保持面的在旋转半径方向上的位置连动地改变外周面被推出的量。
- 连续片状构件复合体用制造装置
- [发明专利]工件自动输送机-CN201680089117.9有效
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伊藤贵史;中根尚;岛田淳
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株式会社富士
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2016-09-16
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2022-05-03
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B25J5/02
- 本发明提供一种在输送机器人(15A、15B)间高效地进行工件(W)的交接的工件自动输送机(50)，该工件自动输送机(50)具有：多个输送机器人(15A、15B)，向多个加工部输送工件；及控制装置(16)，控制该输送机器人的驱动，输送机器人(15A、A5B)具备：交接装置(17)，在交接装置(17)与加工部之间进行工件的交接；行进装置(19)，使搭载于行进台的交接装置与加工部对应地移动；及工件保持装置(18)，搭载于该行进台，保持从交接装置(17)接收的工件，控制装置(16)具有工件交接控制部，上述工件交接控制部使相邻的两台输送机器人(15A、15B)在一台输送机器人的交接装置(17)与另一台输送机器人的工件保持装置(18)之间进行工件的交接。
- 工件自动输送
- [发明专利]姿势变更单元-CN201110221890.5有效
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冈岛康智;池田健一郎
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三星钻石工业股份有限公司
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2011-07-29
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2012-05-02
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C03B33/02
- 本发明提供一种可以良好地对搬送单元交接立起姿势的工件的姿势变更单元。交接部(20)保持呈水平姿势的工件(3)，并且与搬送单元之间交接呈立起姿势的工件(3)。摆动部(30)通过使交接部(20)摆动来将由交接部(20)保持的工件(3)的姿势在水平姿势与立起姿势之间进行变更。按压部(35)对从搬送单元的固定机构赋予至工件(3)的负载进行调整。由此，搬送单元的固定机构利用从姿势变更单元(10)的按压部(35)赋予的负载来执行工件(3)的固定、及工件(3)的固定解除。也就是说，搬送单元(50)中不需要用以执行工件(3)的固定、及工件(3)的固定解除的要素。
- 姿势变更单元
- [发明专利]光刻机动态调平调焦方法-CN201610498133.5有效
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许伍;廖飞红;季采云
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
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2016-06-29
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2019-10-25
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G03F7/20
- 本发明公开了一种光刻机动态调平调焦方法，工件台在交接位承载工件，并向对准位开始步进；在工件台匀速运动过程中，采用动态调平调焦装置对工件的垂向高度进行扫描测量，所述动态调平调焦装置安置于工件台交接位与对准位之间的直线匀速段；通过信号处理器处理上述扫描信息，同时获得工件的表面水平信息和焦面信息；对工件台上的工件进行调平调焦。本发明中，所述工件从交接位运动至动态调平调焦装置，再运动至对准位，其中动态调平调焦装置安置于交接位到对准位的直线位置上，减小了运动台从交接位到对准位的移动距离，并在运动台运动过程中的匀速段进行多次位置测量并最终实现工件位置调平
- 光刻机动平调方法
- [实用新型]工件的交接装置-CN201120104456.4有效
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山口登志树
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昆山恩斯克有限公司
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2011-04-11
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2012-01-11
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B23Q41/02
- 本实用新型提供一种工件的交接装置，即使来自前一工序的工件的供给暂时受到阻滞，其也能够稳定地为下一工序提供工件。具有：工件储存部11，其将作为工件的内轮坯料W码放成多列并储存；保持机构12，其具有多个保持部20，该保持部用于将工件储存部11的各列内轮坯料W逐一收纳并保持；以及驱动装置13，其使保持机构12在能够收纳内轮坯料W的收纳位置RP、将步进移动并在以端列的保持部20进行保持的内轮坯料W向工件搬出通路14搬出的搬出位置TP、和使多个保持部20退出避的退避位置WP之间进行循环移动；工件搬出通路14，用于搬出内轮坯料W。
- 工件交接装置
- [实用新型]工件输送装置-CN201120565802.9有效
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筱原章
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尤妮佳股份有限公司
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2011-12-30
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2012-10-17
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B65G47/84
- 本实用新型的目的在于提供一种工件输送装置，该工件输送装置到工件的交接完成为止，能够沿着保持部的一部分外周面一直按压工件，由此，能够将工件切实地保持在保持部上，防止在交接工序中工件发生错位。该工件输送装置，包括在外周部设置有多个保持部(21)的转鼓(2)、和向该转鼓(2)输送工件(M)的输送部(3)，其中，输送部(3)具有交接输送带(31)，该交接输送带(31)至少从该输送部送出工件的工件送出位置(B)延伸出，并覆盖正在接收工件的保持部的工件接收位置(A)及该工件接收位置(A)下游侧的至少一部分外周面，从工件送出位置(B)到工件接收位置(A)的距离(W)小于工件(M)的输送方向的尺寸(D)。
- 工件输送装置
- [发明专利]贴合器件的制造装置-CN201380070869.7在审
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大谷义和
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信越工程株式会社
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2013-12-04
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2015-09-23
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G09F9/00
- 本发明提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构。本发明中，向变压室(1)搬入工件时，通过控制部(7)使闭锁部件(6)进行打开移动，从而使变压室(1)的贯穿孔(12)开口，由此交接部件(5)变得能够移动，以交接部件(5)接收第一工件(W1)或第二工件(W2)中的任意一方或双方，并且从交接部件(5)交接到第一保持部件(2)或第二保持部件(3)中的任意一方或双方。之后，通过控制部(7)从变压室(1)的贯穿孔(12)拔出交接部件(5)之后，闭锁部件(6)进行关闭移动而使贯穿孔(12)以气密状闭锁，由此能够将变压室(1)减压至成为高度真空状态，第一工件(W1)与第二工件
- 贴合器件制造装置
- [发明专利]向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法-CN200580049621.8无效
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松村和幸
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平田机工株式会社
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2005-04-27
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2008-04-23
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H01L21/68
- 提供一种廉价、能够短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法。在可动侧的机器人手(2)与固定侧的工件安放台(8)之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移的向机器人指示工件交接位置的指示装置，具有第1夹具(6)、第2夹具(13)和指示单元，所述第1夹具(6)安装在机器人手(2)上，表示可动侧的工件保持机构保持工件时工件的中心位置；所述第2夹具(13)安装在工件安放台(8)上，表示固定侧的工件保持机构在工件安放台(8)上握持工件时工件的中心位置；所述指示单元向机器人控制装置指示第1夹具(6)所表示的工件中心位置与第2夹具(13)所表示的工件中心位置一致时机器人手(2)的位置。
- 机器人指示工件交接位置装置方法
- [发明专利]玻璃基板等的输送系统-CN200510070295.0无效
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降幡昌昭;高桥贡;岩濑惠一;蔡明哲
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满留安机械株式会社
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2005-05-16
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2006-08-02
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B65G49/06
- 本发明的目的在于提供一种输送系统，该输送系统在交换装置与生产线之间的单张输送中可同时进行玻璃基板的交接(供给)和接受(回收)。玻璃基板等的输送系统在收容多层玻璃基板等工件的盒的存储部与交换装置之间按盒单位进行输送，在交换装置与生产线之间对上述工件进行单张输送；其中：在该交换装置的装载/卸载工件侧，分上下二层配置多台将工件交接到生产线侧的交接专用输送机和接受从生产线侧排出的工件的接受专用输送机，而且沿上述交换装置的并排设置方向可依次进行工件的交接地并排配置，另外，配置于上述交换装置内的输送机相应于上述交接专用输送机和接受专用输送机的高度可上下自由升降。
- 玻璃输送系统
- [发明专利]工件传输定位系统及方法-CN201910936790.7有效
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王刚;夏海;杨金国
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2019-09-29
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2022-01-04
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B65G49/06
- 一种工件传输定位系统及方法，该工件传输定位系统包括：标定环、第一图像采集装置和控制器，标定环用于标定机械手片叉与预对准机构及工件台沿X/Y向的交接工位，第一图像采集装置用于在机械手片叉携带工件在预对准机构上方、片槽中及工件台上方沿Z向运动的过程中采集工件的图像；控制器用于控制机械手片叉运动、分析第一图像采集装置采集到的图像、确定机械手片叉与预对准机构、片槽及工件台沿Z向的交接工位，并存储标定得到的机械手片叉与预对准机构沿X/Y/Z向的交接工位、机械手片叉与工件台沿X/Y/Z向的交接工位、及机械手片叉与片槽沿Z向的交接工位。上述工件传输定位系统及方法能够提高机械手片叉工位标定的准确性。
- 工件传输定位系统方法
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