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- [实用新型]差压式容积检测装置-CN201420525015.5有效
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刘德亮;张伟明
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天津博益气动股份有限公司
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2014-09-12
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2014-12-24
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G01F17/00
- 本实用新型提供差压式容积检测装置,其包括一泄漏检测单元、标准漏孔组以及控制单元,所述泄漏检测单元包括一进气管路、被测管路、基准管路以及差压传感器,该进气管路通过一阀体组与差压传感器的两端分别连接,且其一端还与被测管路连通,另一端与基准管路连通;所述标准漏孔组包括数个不同漏率的标准漏孔,每个标准漏孔均与被测管路可开闭连通;所述控制单元分别与阀体组、差压传感器以及标准漏孔组电连接。本专利可以高精度的检测到不同规格的容积值,气路连接可以允许有小泄漏,且检测容积时的被测物可以为普通小泄漏的工件。
- 差压式容积检测装置
- [发明专利]多个腔室压力传感器的校准方法-CN202110275286.4在审
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松田梨沙子;庄司庆太
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东京毅力科创株式会社
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2021-03-15
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2021-10-01
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G01L27/00
- 本发明提供一种多个腔室压力传感器的校准方法。在基板处理系统的多个腔室压力传感器的校准方法中,基板处理系统具备多个腔室和多个腔室压力传感器,所述多个腔室压力传感器以分别测定多个腔室内的压力的方式设置。通过针对全部的腔室压力传感器将通过腔室压力传感器测定出的关于通过使预先设定的流量的气体流动到腔室而产生的腔室的压力变化率的测定值与将该流量的气体视作理想气体而计算出的腔室的压力变化率的计算值进行比较,来对全部的腔室压力传感器进行校准在计算腔室的压力变化率的时,计算使用基板处理系统的多个气体流路的容积,通过使用气体流路的压力测定值并且将气体视作理想气体来预先计算出气体流路的容积。
- 多个腔室压力传感器校准方法
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