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- [发明专利]模拟正交调制器误差补偿装置及方法-CN02122146.4无效
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金王来
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LG电子株式会社
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2002-05-31
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2003-01-08
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H04B1/62
- 一种AQM误差补偿装置,包括预失真器,用于使信号失真,从而具有和数字输入信号的非线性失真特性相反的特性;误差补偿单元,用于根据误差校正信号来补偿从预失真器输出的I/Q数字信号;数/模转换器,用于把误差补偿单元的I/Q数字信号转换为I/Q模拟信号;调制器,用于对从数/模转换器输出的I/Q模拟信号进行频率调制;功率放大器,用于放大调制器的输出信号,并提供给定向耦合器;下变频器,用于对从定向耦合器输入的反馈信号进行下变频;模/数转换器,用于把下变频器的输出信号转换为数字信号;以及控制器,用于对模/数转换器的输出信号和从预失真器输入的I/Q数字信号进行比较,并向误差补偿单元施加所提取的误差校正信号。
- 模拟正交调制器误差补偿装置方法
- [发明专利]像差测量装置及方法-CN201810577981.4有效
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韩春燕;单世宝
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2018-06-05
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2021-07-09
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G03F7/20
- 本发明提供了一种像差测量装置及方法,所述像差测量的方法包括:掩模标记单元移动至待测投影物镜单元的视场中心位置;掩模对准单元测量掩模标记单元的预定向上所有标记在预定向位置和Z向位置,并计算预定向上相邻两个标记的预定向位置差值和Z向位置差值,所述预定向为X向和/或Y向;根据预定向上所有相邻两个标记的预定向位置差值和Z向位置差值得到物镜视场预定向V线条或H线条的畸变和场曲。测量时两个相同的预定向探测器同时对标记进行测量,计算时基于预定向上相邻两个标记的预定向位置差值和Z向位置差值,因此本测量不受工件台漂移和工件台运动误差的影响,从而大幅度提高物镜低阶像差的测量精度。
- 测量装置方法
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