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[发明专利]掩膜版-CN201911290041.8在审
发明人：曹杰 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜版，其包括至少一组掩膜版组，掩膜版组包括第一边缘子掩膜版、第二边缘子掩膜版和至少一个中间子掩膜版；第一边缘子掩膜版、第二边缘子掩膜版和中间子掩膜版的长相同，存在至少两组不同的倍数，使得中间子掩膜版的宽与之相乘后，与第一边缘子掩膜版的宽和第二边缘子掩膜版的宽相加之和，分别与两个不同尺寸的显示面板的长度相同；中间子掩膜版的长所对应的两条边上均设置有半掩膜区，第一边缘子掩膜版、第二边缘子掩膜版的长所对应的一条边上设置有半掩膜区本发明将掩膜版设置为多个小尺寸的子掩膜版，通过子掩膜版平移，实现大尺寸显示面板的图案化，缓解了现有技术存在制作高成本大尺寸掩膜版的问题。
掩膜版

[发明专利]一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置-CN201610590318.9有效
发明人：吴建鹏;兰兰;杨忠英;梁逸南;嵇凤丽 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2016-07-25 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种子掩膜版的张网方法及掩膜版、基板、显示装置，用以解决现有技术中存在的采用现有张网方案而导致子掩膜版出现褶皱的问题。本实施例中，张网机夹持位于待张网的子掩膜版的四个边角处的夹持区域，且在该子掩膜版所在平面以预设拉力沿与该子掩膜版的长边延伸方向具有预设夹角的方向拉伸该子掩膜版，从而，保证子掩膜版的短边延伸方向也具有分力，使得子掩膜版不仅在该子掩膜版的长边延伸方向被拉伸，还在该子掩膜版的短边延伸方向被拉伸，进而，减小子掩膜版的褶皱现象，提升子掩膜版的平坦度，且易实现。
种子掩膜版方法基板显示装置

[发明专利]一种掩膜版、曝光设备和曝光方法-CN202211203997.1在审
发明人：杨堂;叶超;魏小丹;何宝生;刘沛;邓祖文 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G03F1/42 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种掩膜版、曝光设备和曝光方法。该掩膜版包括：有多个子掩膜图形组的第一掩膜子版和有多个透光区的第二掩膜子版。第二掩膜子版设置在第一掩膜子版的一侧，且能够相对第一掩膜子版移动。移动对位结构与第二掩膜子版连接，用于根据接收到的对位信号，控制第二掩膜子版移动，以使得在不同的曝光过程中透光区分别对应不同的子掩膜图形组。本申请实施例可以将多种掩膜版图形集成在一张掩膜版中，减少掩膜版使用数量，降低生产成本，同时减少生产时掩膜版的移动风险及其造成的产品工艺不良。
一种掩膜版曝光设备方法

[发明专利]子掩膜版以及掩膜版-CN201910932119.5有效
发明人：陈腾;陈奎;孟维欣;李杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种子掩膜版以及掩膜版，该子掩膜版包括衬底以及设置在所述衬底上的掩膜图案，所述掩膜图案包括至少一个与所述子掩膜版的拉伸方向朝向不同的第一角部，以及至少一个与所述子掩膜版的拉伸方向朝向相同的第二角部，所述第一角部为圆角，所述第二角部为倒角；该子掩膜版能够降低张网过程中的褶皱高度，提高子掩膜版的蒸镀效果。
子掩膜版以及掩膜版

[实用新型]一种便于清废的交叉隔板用的模切刀版-CN202222105447.8有效
发明人：顾育成;李海洋;顾睿恺 -专利权人：苏州市胜茂包装彩印有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B26F1/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种便于清废的交叉隔板用的模切刀版，包括：并列设置的公版和母版；所述公版由若干个第一版组构成，所述母版由若干个第二版组构成；相邻第一版组之间设置有第一切断槽，相邻第二版组之间设置有第二切断槽；同一公子板组内居中设置有第三切断槽，所述第一版组由两个第一子版构成，各第一版组内的两个第一子版沿第三切断槽对称设置；同一第二版组内居中设置有第四切断槽，所述第二版组由两个第二子版构成，各第二版组内的两个第二子版对称设置第一切断槽和第三切断槽将第一子版模切出的隔板分别切断，第二切断槽和第四切断槽将第二子版模切出的隔板分别切断，可直接从各切断槽处将废料取下，不容易粘连在隔板上。
一种便于交叉隔板模切刀版

[发明专利]带编码光罩子版制造方法-CN201410648593.2在审
发明人：杜武兵;冯俊;林伟 -专利权人：深圳市路维光电股份有限公司
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种带编码光罩子版制造方法，该方法包括以下步骤：提供光罩母版，在母版上形成光罩图案；在透光片上制作条码，将透光片置于光罩母版非图案的边缘，并使条码面对光罩母版；选取具有光刻胶层的子版版材，将光罩母版置于子版版材上，并使光罩图案面对于光刻胶层；将放置好的透光片、光罩母版及子版版材进行曝光，显影，蚀刻，在子版版材上形成所需编码，制得所需光罩子版。该方法借助透光片，将透光片上的条码转移到光罩子版，对光罩子版进行编码，便于区分和管理，产品安全性和可操作性得到极大的提升。
编码罩子制造方法

[实用新型]探针卡-CN202220072804.2有效
发明人：李龙 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：公开了一种探针卡，母版和子版，子版包括第二电路板，位于第二电路板第一表面的探针框架和探针，母版包括第一电路板，其中，所述母版与所述子版可拆卸连接，连接时，第一电路板与第二电路板电连接。本申请的探针卡，将容易损坏的探针部分与其他部分分开，分别作为子版和母版，在探针损坏后更换子版实现探针卡的维修，从而降低成本。
探针

[发明专利]一种清洗装置和清洗方法-CN202010600032.0在审
发明人：袁亚鸿;杨阳;古春笑 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明实施方式涉及清洗设备技术领域，公开了一种清洗装置和清洗方法，清洗装置包括：清洗槽，位于所述清洗槽内的检测振子及清洗振子，连接所述检测振子以及所述清洗振子的控制器；所述检测振子用于检测待清洗掩膜版上残留物的位置；所述控制器用于根据所述残留物的位置控制所述清洗振子清洗所述待清洗掩膜版，在避免掩膜版过洗的同时，提升了掩膜版的清洗效率。
一种清洗装置方法

[实用新型]组合掩膜版-CN201821269953.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种组合掩膜版，该组合掩膜版包括第一子掩膜版和第二子掩膜版，第一子掩膜版上形成有第一光掩膜图形，第二子掩膜版上形成有第二光掩膜图形，第一光掩膜图形和第二光掩膜图形具有重迭在同一曝光区域内的交互插排图形本实用新型将复杂的掩膜图形分解为两个简单的子掩膜图形，在一个刻蚀制程中转印至基底上，简化了刻蚀工艺并提高了套刻精度。
光掩膜图形掩膜版组合掩膜掩膜图形本实用新型刻蚀工艺曝光区域插排基底刻蚀套刻制程重迭分解

[发明专利]掩膜版张网装置及张网方法-CN201911012810.8有效
发明人：范柳彬;李文星;张蔡星;付佳;李金库 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜版张网装置及张网方法，通过在支撑架上的沿Y轴方向延伸的两条第二边框上分别设置相对的第一磁体和第二磁体，当沿Y轴方向拉伸子掩膜版时，子掩膜版在拉力作用下磁性金属边框内缩发生形变，此时第一磁体和第二磁体可沿X轴正方向和X轴负方向上分别对磁性金属边框施加方向相反的磁力，在磁力作用下可缓解磁性金属边框的形变，缓解拉伸子掩膜版造成的形变，提高掩膜版精度，进而提高显示面板的良率。另外，将子掩膜版与支撑架固定，还可以提升子掩膜版的强度，可以提高掩膜版蒸镀及清洗过程中的稳定性。
掩膜版张网装置方法

[发明专利]一种射频子版加载的方法和装置-CN201610808560.9在审
发明人：魏烨嘉 -专利权人：中兴通讯股份有限公司
申请日： 2016-09-07 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H04L12/24 文献下载
摘要：本发明提供一种射频子版加载的方法和装置，包括，向主控板发起获取射频子版版本文件请求，其中所述版本文件预先存储在所述主控板的存储设备；接收所述主控板发送的所述版本文件；加载所述版本文件。本发明实施例可以实现射频子版存储设备不易损坏，而且还能降低射频子版的配置成本。
一种射频加载方法装置

[发明专利]一种多色印刷套印辅助对齐工艺-CN202011040800.8有效
发明人：梁家强;陆万林;周道美;梁德全;郑毅;董国忆;赵康旭;陈宝珉;陈肇坤;伍再苗;曾丽娟;冼丹丹;袁志远 -专利权人：广西真龙实业有限责任公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B41F33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多色印刷套印辅助对齐工艺，进行预印刷，让印刷纸依次经过至少两个印刷辊，其中一色印刷辊的第一图案版和母版先在印刷纸印刷出第一图案和母版图，母版图上设有至少一个子版对齐空位；然后，后续印刷辊上的后续图案版和子版在印刷纸上印刷出后续图案和子版图，如果印刷纸上的所述子版图偏离了母版图上相应的子版对齐空位，则调节相应后续印刷辊的位置再次预印刷，直至印刷纸上的子版图与相应的子版对齐空位对齐，则可开始正式印刷。
一种多色印刷套印辅助对齐工艺

[发明专利]异常处理方法、装置、服务器和存储介质-CN201910183923.8有效
发明人：戴君;朱冠军;于红建 -专利权人：北京同城必应科技有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G06F11/14 文献下载
摘要：该方法包括：获取到处理请求时，确定处理请求对应的第一版本信息；启动至少一个第一子进程，并控制各第一子进程基于第一版本信息处理该处理请求；监测到存在至少一个处理异常的第一子进程时，关闭各异常第一子进程，启动与异常第一子进程数量相同的第二子进程，并确定该处理请求对应的第二版本信息；控制各第二子进程基于第二版本信息处理该处理请求；将各第二子进程记为新的第一子进程，所述第二版本信息记为新的第一版本信息，返回执行异常监测操作，直至获得处理请求的处理结果
异常处理方法装置服务器存储介质

[发明专利]像素结构、包含所述像素结构的OLED显示屏、蒸镀掩膜版-CN201710294880.1在审
发明人：文国哲;余珺;胡小叙;叶訫;朱修剑 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种像素结构、包含所述像素结构的OLED显示屏、蒸镀掩膜版。所述像素结构中子像素的长宽比设置为小于1.5:1(即子像素的形状为正方形或接近正方形)，可以保证开口最大，相应的，为了保证子像素为正方形或接近正方形，将传统的四个像素单元(12个子像素)转化为三个像素单元(9个子像素)，并且，相邻的奇数行和偶数行中相同颜色的子像素的发光区相互错开，蒸镀掩膜版上的蒸镀开口是错开排布的，可提高蒸镀掩膜版的强度，避免蒸镀掩膜版发生翘由、断裂等问题，减少蒸镀膜层晕开、偏移等影响蒸镀品质的缺陷进一步的，第一子像素、第二子像素和第三子像素形状和尺寸均相同，蒸镀掩膜版上的间隔相同，可以进一步提高蒸镀掩膜版的强度。
蒸镀掩膜版子像素像素结构像素像素单元开口错开排布蒸镀膜层偏移长宽比传统的发光区偶数行奇数行错开掩膜断裂保证转化

[实用新型]像素结构、包含所述像素结构的OLED显示屏、蒸镀掩膜版-CN201720467270.2有效
发明人：文国哲;余珺;胡小叙;叶訫;朱修剑 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种像素结构、包含所述像素结构的OLED显示屏、蒸镀掩膜版。所述像素结构中子像素的长宽比设置为小于1.51(即子像素的形状为正方形或接近正方形)，可以保证开口最大，相应的，为了保证子像素为正方形或接近正方形，将传统的四个像素单元(12个子像素)转化为三个像素单元(9个子像素)，并且，相邻的奇数行和偶数行中相同颜色的子像素的发光区相互错开，蒸镀掩膜版上的蒸镀开口是错开排布的，可提高蒸镀掩膜版的强度，避免蒸镀掩膜版发生翘由、断裂等问题，减少蒸镀膜层晕开、偏移等影响蒸镀品质的缺陷进一步的，第一子像素、第二子像素和第三子像素形状和尺寸均相同，蒸镀掩膜版上的间隔相同，可进一步提高蒸镀掩膜版的强度。
像素结构包含 oled 显示屏蒸镀掩膜版

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