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[发明专利]使用相与应力控制的等离子体喷涂涂覆设计-CN202110908948.7有效
发明人： J·Y·孙;陈益凯;B·P·卡农戈 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C04B35/505 文献下载
摘要：通过一方法将陶瓷涂层施加至所述主体，所述方法包括以下步骤：提供等离子体喷涂系统，所述等离子体喷涂系统具有在约100A至约1000A之间的范围中的等离子体电流；将所述等离子体喷涂系统的喷炬支架定位在距所述主体约60mm与约250mm之间的距离；使第一气体以约30L/min与约400L/min之间的速率流过所述等离子体喷涂系统；以及对所述主体进行等离子体喷涂涂覆以形成等离子体涂层，其中，所述涂层的喷溅是非晶的并具有盘饼形状
使用相与应力控制等离子体喷涂设计

[发明专利]一种基于大气压冷等离子体的皮肤干预装置及其使用方法-CN202211700811.3在审
发明人：翟思月;蒋红利 -专利权人：西安交通大学医学院第一附属医院
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于大气压冷等离子体的皮肤干预装置及其使用方法，属于等离子体医学技术领域。该装置包括大气压冷等离子体激发装置、皮肤干预仓和孔隙控制模块；大气压冷等离子体激发装置内设有气瓶和等离子体沿面介质阻挡放电装置；孔隙控制模块包括第一气流感受器与亚克力隔板，亚克力隔板上设有若干个能够开合的孔隙该装置能解决现有等离子体装置治疗干预面积小，体积小，成本高，等离子体效应粒子阈浓度低且引起皮肤发生紫外线累积效应的问题。
一种基于大气压等离子体皮肤干预装置及其使用方法

[发明专利]一种采用大气压低温等离子体羽流制备液态纳米金颗粒的方法-CN201711397280.4有效
发明人：王瑞雪;邵涛;张珂;高远;严萍 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B22F9/14 文献下载
摘要：本发明涉及制备纳米金颗粒的方法，具体涉及一种采用大气压低温等离子体羽流制备液态纳米金颗粒的方法。一种采用大气压低温等离子体羽流制备液态纳米金颗粒的方法，包括以下步骤：将前驱物放置于培养皿；将所述培养皿放置于等离子体放电区；打开并调节气体流量计控制气瓶向等离子体装置中输出稳定且均匀的工作气体；打开高压电源激励产生大气压低温等离子体，等离子体在前驱物液面上形成等离子体羽流还原Au3+生成纳米金颗粒；收集生成的纳米金颗粒，测量粒径大小及测试稳定性。
一种采用大气压低温等离子体制备液态纳米颗粒方法

[实用新型]简易大气压冷等离子体发生器-CN201520729844.X有效
发明人：毕鲜荣 -专利权人：无锡思清源生物科技有限公司
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型属于大气压放电冷等离子体发生器技术领域，涉及一种简易大气压冷等离子体发生器。特征在于：所述发生器包括射频电极、隔板和地电极，从而构成平板型的大气压放电冷等离子体发生器。所述射频电极具有横纵交叉气体通道结构，可有效的将工作气体均匀的分配到放电室，隔板将射频电极和地电极隔开，保证电极间的放电间距，地电极与射频电源地线连接，下部具有凸起结构，凸起结构表面具有规律排列的凹槽作为等离子体出口，该等离子体发生器结构简单，可以在比较低的击穿电压下产生大面积的、均匀的辉光放电等离子体，并且发生器下部凸起结构可伸入到工件凹陷结构内部进行处理，大大扩展了其应用范围，其在等离子体薄膜沉积、刻蚀、消毒灭菌
简易大气压等离子体发生器

[发明专利]一种可调等离子体射流装置和喷涂系统-CN201911165899.1在审
发明人：刘熊;甘汶艳;王谦;李永福;彭华东;任啸;李小平 -专利权人：国网重庆市电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调等离子体射流装置和喷涂系统，由供气模块和放电模块组成，供气模块包括可控阀门和多个气流通道；放电模块包括多个放电单元，放电单元包括若干个等离子体射流管并呈环状排列；多个放电单元与多个气流通道一一对应相连通过上述公开的可调等离子体射流装置和喷涂系统，增加等离子体射流管的数量，并通过可控阀门控制等离子体射流管所需的工作气体进行等离子体射流放电，在采用等离子体射流装置对大尺寸材料表面处理时，提高对大尺寸材料表面处理效率
一种可调等离子体射流装置喷涂系统

[发明专利]提高大气压等离子体射流阵列空间均匀性的方法-CN201410113763.7无效
发明人：章程;邵涛;杨文晋;周中升 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：一种提高大气压等离子体射流阵列空间均匀性的方法，其特征在于在大气压等离子体射流阵列的工作气体纯氦气体中添加氧气，氦气流速为3L/min，氧气流速为0.003～0.007L/min。本发明可使等离子体射流阵列具有最优的空间均匀性。
提高大气压等离子体射流阵列空间均匀方法

[发明专利]等离子体喷涂设备-CN03822038.5有效
发明人：尼古拉·苏斯洛夫 -专利权人：斯马特里股份公司
申请日： 2003-09-17 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H05H1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于喷涂粉末材料的等离子体喷涂设备，包括：形成具有入口端(3)和出口端(4)的等离子体通道(2)的电极(1)；和用于将所述粉末材料提供给所述等离子体通道(2)的部件(5)。从等离子体通道(2)的等离子体流的方向看，所述粉末供应部件(5)设置在位于所述部件(5)上游的所述电极(1)的第一段(6)和位于所述部件(5)下游的所述电极(1)的第二段(7)之间。
等离子体喷涂设备

[发明专利]一种远区等离子体喷枪装置-CN201310720521.X无效
发明人：王红卫;沈文凯 -专利权人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种远区等离子体喷枪装置，包括绝缘空心套管、至少两个均匀设置的等离子体喷枪，等离子体喷枪之间设有绝缘体，等离子体喷枪和所述绝缘体的长度小于绝缘空心套管使得形成等离子体放电区，在一个绝缘空心套管中设有多个等离子体喷枪，能较大面积进行气体放电产生等离子体，多个等离子体喷枪均匀分布设置，能使放电区产生全面且均匀的等离子体，在普通的大气环境下也能工作，本装置使得待处理物料在远区也能被更好地处理材料，使得材料表面改性处理效果较好
一种等离子体喷枪装置

[实用新型]一种远区等离子体喷枪装置-CN201320856918.7有效
发明人：王红卫;沈文凯 -专利权人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
申请日： 2013-12-24 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种远区等离子体喷枪装置，包括绝缘空心套管、至少两个均匀设置的等离子体喷枪，等离子体喷枪之间设有绝缘体，等离子体喷枪和所述绝缘体的长度小于绝缘空心套管使得形成等离子体放电区，在一个绝缘空心套管中设有多个等离子体喷枪，能较大面积进行气体放电产生等离子体，多个等离子体喷枪均匀分布设置，能使放电区产生全面且均匀的等离子体，在普通的大气环境下也能工作，本装置使得待处理物料在远区也能被更好地处理材料，使得材料表面改性处理效果较好
一种等离子体喷枪装置

[发明专利]可抵抗还原等离子体的含钇陶瓷涂层-CN200980106482.6有效
发明人：詹尼弗·Y·孙;贺小明;肯尼思·S·柯林斯;托马斯·格瑞斯;赛恩·撒奇;元洁;徐理;段仁官 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2009-02-13 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： C23C4/10 文献下载
摘要：在高腐蚀性等离子体环境中进行半导体元件处理，常会出现微粒产生的问题。当上述等离子体为还原等离子体时，此问题更显严重。实验资料显示，在形成一种等离子体喷涂的含钇陶瓷(如氧化钇、Y2O3-ZrO2固溶体、YAG及YF3)时，当用于喷涂陶瓷的粉体进料的平均有效粒径范围介于约22μm至约0.1μm时，可提供一种低孔隙率的涂层这些经喷涂的材料可降低在腐蚀性还原等离子体环境中的微粒产生。
抵抗还原等离子体陶瓷涂层

[发明专利]便捷型大气等离子体灭菌设备-CN201611267446.6在审
发明人：滕海燕 -专利权人：合肥优亿科机电科技有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种便捷型大气等离子体灭菌设备，包括开放式的长方体设备本体，设备本体上设置有等离子体灭菌器，设备本体内部还设置有用于放置需要灭菌物件的置物台和用于调整置物台和离子体灭菌器相对位置的移动工作台；所述的移动工作台包括X向移动工作台、Y向移动工作台和Z向移动工作台；所述的置物台设置在Y向移动工作台的上面；所述的离子体灭菌器包括等离子体发生电源、等离子体喷射机头和安装件。本发明提供的便捷型大气等离子体灭菌设备，可以在大气状态下进行灭菌消毒，不需低气压环境，且不受形状和尺寸的限制。
便捷大气等离子体灭菌设备

[实用新型]便捷型大气等离子体灭菌设备-CN201621485703.9有效
发明人：滕海燕 -专利权人：合肥优亿科机电科技有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种便捷型大气等离子体灭菌设备，包括开放式的长方体设备本体，设备本体上设置有等离子体灭菌器，设备本体内部还设置有用于放置需要灭菌物件的置物台和用于调整置物台和离子体灭菌器相对位置的移动工作台；所述的移动工作台包括X向移动工作台、Y向移动工作台和Z向移动工作台；所述的置物台设置在Y向移动工作台的上面；所述的离子体灭菌器包括等离子体发生电源、等离子体喷射机头和安装件。本实用新型提供的便捷型大气等离子体灭菌设备，可以在大气状态下进行灭菌消毒，不需低气压环境，且不受形状和尺寸的限制。
便捷大气等离子体灭菌设备

[发明专利]一种大气压低温等离子体活化水保鲜水果的方法-CN201510478338.2无效
发明人：马若男;张茜;王国敏;张珏;方竞 -专利权人：北京大学
申请日： 2015-08-07 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： A23B7/157 文献下载
摘要：本发明提供一种大气压低温等离子体活化水保鲜水果的方法。其包括以下主要步骤：(1)新鲜水果的预处理；(2)大气压低温等离子体活化水制备；(3)大气压低温等离子体活化水浸泡水果处理；(4)常温保藏。其中所述的等离子体活化水是由大气压低温等离子体通入质量浓度为0.1％-3％过氧化氢水溶液中，作用10-30min，得到富含羟自由基的活化液。
一种大气压低温等离子体活化保鲜水果方法

[发明专利]干式蚀刻用腔内部件的制造方法-CN201480065490.1在审
发明人：峪田宜明;曾珍素;佐古纱雅香 -专利权人：仓敷博林固机工株式会社
申请日： 2014-11-06 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明提供一种干式蚀刻用腔内部件的制造方法，通过能够简便地实施的热喷涂法，能够在干式蚀刻用腔内部件上形成气孔率小且耐腐蚀性高的热喷涂涂层。利用由等离子体热喷涂在使用于干式蚀刻用腔内的部件上形成氧化钇涂层的方法解决上述技术课题。使用氢气以及氩气作为工作气体、将氩气的流量设为60～75升/分、以氩气/氢气的流量的体积比为6～8的方式向等离子体热喷涂机供给氩气以及氢气、使氩气相对于氢气的流量增加，由此使等离子体射流的速度上升且使等离子体射流的温度降低，对该等离子体射流投入作为原料粉末的粒径为10～20μm的氧化钇微粉末，向所述部件的表面热喷涂含有熔融的氧化钇微粉末的等离子体射流。
蚀刻用腔内部件制造方法

[发明专利]一种大气压直流弧放电等离子体发生装置及阴极制作方法-CN201010171594.4无效
发明人：芶富均;吕晓丹 -专利权人：贵州翔明科技有限责任公司
申请日： 2010-05-13 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气压直流弧放电等离子体发生装置及阴极制作方法，其特征在于：在制作大气压直流弧放电等离子体发生装置时，在该装置上至少制作两个阴极，将其中一个阴极采用LaB6（六硼化物）材料制作，而其它的阴极采用钨金属材料制作，并且采用直流电源作为大气压直流弧放电等离子体发生装置。本发明不仅既能降低产生等离子体的功率、同时又能保证产生高密度等离子体的优点，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护都方便、使用寿命长、设备简单等优点。本发明特别适合进行快速薄膜沉积使用。
一种大气压直流放电等离子体发生装置阴极制作方法