专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种组合磁场与内衬偏压锥形管复合的真空沉积装置-CN201822213325.4有效
  • 魏永强;王好平;宗晓亚;刘源;张新国;蒋志强 - 魏永强
  • 2018-12-26 - 2021-09-03 - C23C14/32
  • 一种组合磁场与内衬偏压锥形管复合的真空沉积装置,属于表面技术领域,本发明为解决电弧离子镀中大颗粒对薄膜的污染和靶材使用限制、磁过滤电弧等离子体的损失及高功率脉冲磁控溅射放电不稳定等问题。本发明的装置包括:偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压锥形管装置及偏压电源、活动线圈装置及电源、波形匹配装置、高功率脉冲磁控溅射靶源及电源等装置;薄膜沉积:连接装置,启动系统,待真空室内的真空度小于104Pa时,通入工作气体,开启镀膜电源,偏压电源对等离子体的能量进行调节,多级磁场装置和活动线圈装置消除大颗粒缺陷和引导复合等离子体的传输
  • 一种组合磁场内衬偏压锥形复合真空沉积装置
  • [实用新型]一种组合磁场与内衬偏压直管复合的真空镀膜装置-CN201822213363.X有效
  • 魏永强;王好平;宗晓亚;张新国;侯军兴;蒋志强 - 魏永强
  • 2018-12-26 - 2021-09-03 - C23C14/32
  • 一种组合磁场与内衬偏压直管复合的真空镀膜装置,属于真空镀膜技术领域,本发明为解决电弧离子镀中大颗粒对薄膜的污染和靶材使用限制、磁过滤电弧等离子体的损失及高功率脉冲磁控溅射放电不稳定等问题。本发明的装置包括:偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压直管装置及电源、活动线圈装置及电源、波形匹配装置、孪生靶高功率脉冲磁控溅射靶源及电源等装置;薄膜沉积:连接装置,启动系统,待真空室内的真空度小于104Pa时,通入工作气体,开启镀膜电源,偏压电源对等离子体的能量进行调节,多级磁场装置和活动线圈装置消除大颗粒缺陷和引导复合等离子体的传输
  • 一种组合磁场内衬偏压复合真空镀膜装置

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