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[发明专利]一种基板检测方法-CN201510856436.5有效
发明人：郑伟;李路;刘健让 -专利权人：天津津亚新科技有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： H05K13/08 文献下载
摘要：一种基板检测方法，该方法包括：确定待检测的基板的实际位置与检测系统预设的标准位置的坐标偏差值；采用该坐标偏差值对检测系统预设的基板检测的起始点和结束点的标准位置的坐标进行校准，确定基板检测的起始点和结束点的实际位置；从基板检测的起始点的实际位置开始对该基板进行三维扫描，并采用坐标偏差值将三维扫描所得的图像的位置校准到标准位置；将校准后的图像的位置坐标与检测系统预设的标准位置坐标进行匹配，根据匹配的结果确定该基板的目标检测位置的三维信息；根据三维信息确定该基板的目标检测位置是否存在不良。该方法针对基板的每个目标检测位置进行三维特性的分析，准确的判断出目标检测位置是否存在不良，使得检测更加精确。
一种检测方法

[发明专利]接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置-CN202111541285.6在审
发明人：方镐千 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供能够有效地充分利用空间的基板接合设备中的基板保管及对准装置。根据本发明的实施例的接合基板和基板的基板接合设备中的基板保管及对准装置，包括：前端缓冲器，包括用于临时保管基板的前端保管插槽以及从所述前端保管插槽输送所述基板的输送机械手能够移动的前端开口部；以及前端校准器，形成为层叠于所述前端缓冲器的上方而通过旋转所述基板来对准所述基板。
接合设备中的保管对准装置

[实用新型]一种主轴专用碟簧组测量工装-CN202220751067.9有效
发明人：荆立萍;周吉贞;董万智;刘贤民;那艳会;郭雨欣 -专利权人：通用技术集团大连机床有限责任公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种主轴专用碟簧组测量工装，其特征在于：所述的工装由校准机构和测量机构两部分组成，所述校准机构包括基板（1），基板（1）上设置有校准导柱（2）和高度校准块（3），所述高度校准块（3）的侧壁上设置有刻度线，同时与所述的校准导柱（2）还相配有碟簧压套（4），所述测量机构包括壳体（5），所述壳体（5）内设置有测量导柱（6），与测量导柱（6）相配的设置有碟簧压套（4）和测量压套（7），所述壳体（5）的顶部设置有气缸
一种主轴专用碟簧组测量工装

[发明专利]一种具有超声清洗功能的半导体校准装置-CN202310261700.5在审
发明人：张亚飞;刘胜芳;刘晓佳 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有超声清洗功能的半导体校准装置，包括半导体前端设备模块，所述半导体前端设备模块内设有用于对晶圆校准的校准结构，还包括用于清除晶圆表面尘粒的超声波清洗器，所述超声波清洗器设在校准结构的上方，超声波清洗器包括可升降的超声清洗头，超声清洗头对应校准结构设置。该具有超声清洗功能的半导体校准装置结构设计合理，将晶圆校准器/寻边器和干式超声波清洗器组合使用在半导体前端技术模块内，同时具备晶圆、玻璃基板校准/寻边功能和表面颗粒去除功能；集成设置，设备体积相对较小，
一种具有超声清洗功能半导体校准装置

[发明专利]一种扫描电子显微镜标准物质及其制作方法-CN03116182.0无效
发明人：盛克平;丁听生;陆国辉 -专利权人：上海市计量测试技术研究院
申请日： 2003-04-04 - 公布日： 2004-10-13 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及计量测试标准量值传递技术领域，尤其是涉及一种用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准物质及其制作方法。它的基板上镀有测量膜，测量膜上镀有导电层，测量膜为六角紧密排列的单分散相聚苯乙烯标准粒子列阵，a.选取单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液、选取基板；b.清洗基板；c.将单分散相聚苯乙烯标准粒子水溶液滴洒在基板上；d.将基板与水平面呈0°～5°放入净化室中自然干燥。本发明扩大了扫描电子显微镜的校准范围(1000倍～200000倍)，并能在其校准范围内给出溯源值并附有给定置信区间的不确定度，使得扫描电子显微镜在被校准范围内使用中符合ISO9000质量保证体系的要求。
一种扫描电子显微镜标准物质及其制作方法

[发明专利]高能束增材制造有限元热力耦合模型的校验方法及其数据测量装置-CN201711124385.2有效
发明人：林鑫;鹿旭飞;马良;杨海欧;谭华;胡云龙 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明展示高能束增材制造有限元热力耦合模型的校验方法及其数据测量装置，其装置，包括工作台，以及安装在工作台上的夹具系统和数据采集系统；其校验方法，如下，1，对高能束增材制造加工中的熔覆过程及热‑变形‑应变实时实验测量；2，建立模型框架，输入材料属性并划分网格；完成了有限元温度场的校准；3，设置力场边界条件并将校准的温度场结果作为力场计算的初始条件，得到基板变形及应变场结果；完成有限元力场的校准；即完成了高能束增材制造有限元热力耦合模型的校准本发明既能为高能束增材制造的模拟仿真提供可靠的实验数据，有能为建立有效控制基板和成形件变形的工艺方法提供科学指导，促进增材制造技术获得更广泛的应用。
高能束校准热力耦合校验制造力场数据测量装置温度场初始条件数据采集系统边界条件基板变形技术获得夹具系统建立模型科学指导模拟仿真熔覆过程实时实验实验数据输入材料有效控制变形的成形件应变场工作台网格基板变形测量加工应用展示

[实用新型]一种剑杆机筘座直线度校准装置-CN202123408002.9有效
发明人：沈占兴;晁圣双 -专利权人：浙江尤夫科技工业有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： D03D49/60 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种剑杆机筘座直线度校准装置，剑杆机包括托布台，托布台上设有筘座，所述校准装置包括：校准基板，包括基座和面板，所述面板竖向设置于所述基座上，所述基座用于贴合在托布台的侧面上，并使得所述面板距所述托布台的侧面预定距离；校准滑板，包括第一滑板部和第二滑板部，所述第二滑板部与所述第一滑板部垂直连接，所述第一滑板部用于搭靠在筘座上，所述第二滑板部的厚度与所述预定距离相同。本装置结构简单，校准方便，实用性强，能够快速实现筘座的校准。
一种剑杆机筘座直线校准装置

[发明专利]传感器校准调节装置及方法-CN201810562995.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：北京钛方科技有限责任公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：一种传感器校准调节装置，具体包含压电传感模块、环境检测模块和控制模块；压电传感模块包含压电传感器，压电传感器用于根据控制信号输出一激励信号，或接收激励信号于基板上产生的弹性波信号，根据弹性波信号生成电压信号；环境检测模块用于根据控制信号获取压电传感模块与基板所处的环境数据；控制模块分别与压电传感模块和环境检测模块相连，用于根据外部输入指令输出控制信号；以及根据环境数据获得校准系数，根据校准系数放大或缩小电压信号；控制模块还包含放大单元，放大单元通过热敏电阻根据环境温度变化与校准系数放大或缩小压电传感器接收到的弹性波信号。
传感器校准调节装置方法

[实用新型]一种天线对准检测系统-CN201721038794.6有效
发明人：吴东;黄国鹏;张国良 -专利权人：武汉辰龙精密仪器有限公司;中国人民解放军火箭军驻装备修理厂军事代表室
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种天线对准检测系统，基板和底板为水平板且基板和底板上对应的位置分别都安装第一测量座和第二测量座；基板上的第一测量座和第二测量座上分别固定光电自准直仪和CCD测微准直望远镜，底板上的第一测量座和第二测量座上分别固定反射镜和标靶；基板和底板的对应位置上还垂直设置相互平行的固定校准天线固定工装和产品安装固定工装，校准天线固定工装侧面固定校准天线，产品安装固定工装的侧面与被测产品的端面固定。本实用新型在天线对准过程中，通过光电自准直仪、CCD测微准直望远镜的测量，准确获取校准天线与被测产品之间平行和对中的形位公差。
一种天线对准检测系统

[实用新型]天线组件和基站天线-CN202020346283.6有效
发明人：王小拓;邵曙光 -专利权人：康普技术有限责任公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种天线组件，所述天线组件包括馈电板、基板和校准板，其中，在所述馈电板上安装有多个辐射元件，所述多个辐射元件从所述馈电板向前延伸，其中，所述馈电板安装在基板的第一主表面上，校准板安装在基板的与第一主表面对置的第二主表面上，其中，所述天线组件还包括导电结构，所述导电结构延伸穿过馈电板、基板和校准板的至少两个中的开口，以用于将校准板上的第一传输线路与馈电板上的第二传输线路电连接。
天线组件基站

[发明专利]校准装置、对准系统及对准方法-CN202110140423.3在审
发明人：温海涛;陈兴隆;王绍勇;王丽鹤;王若愚 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种校准装置，包括导向部、驱动部和支撑部。所述校准装置中，所述导向部使所述两个基板的中心和特征标记结构分别实现对准，所述驱动部中的旋转驱动部和运动转换部通过将旋转运动转化为直线运动来驱动所述置物部朝向或远离所述相对置物部运动，从而实现了对准。本发明还提供了包含所述校准装置的对准系统及其对准方法。
校准装置对准系统方法

[发明专利]一种高效、精确的在线质量校准系统-CN200910062634.9无效
发明人：江征风;赵光明;李玉琳;徐劲力;徐汉斌;周斌 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2009-06-09 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明提供的高效、精确的在线质量校准系统，主要由在线质量校准控制器(5)、位置检测装置和两套质量检测装置组成，在线质量校准控制器由定位控制模块(15)、开关量输入模块(16)、模拟量输入模块(6)和CPU组成，各模块接口均通过基板与CPU连接；每套质量检测装置设有称重传感器、质量检测台，以及由伺服运动控制器控制的取瓶夹钳、取瓶旋转主轴和主轴升降机构；位置检测装置和两套质量检测装置中称重传感器的电信号，经在线质量校准控制器处理后输出实测质量信号及误差信号，并对定量填充系统的填充量进行在线质量校准。本系统解决了液体状态产品填充的在线质量校准问题，具有高效性和精确性，校准精度可达0.01g。
一种高效精确在线质量校准系统

[实用新型]雨刷大臂多功能检具-CN201720480682.X有效
发明人：徐明生 -专利权人：镇江泛美汽车零部件有限公司
申请日： 2017-05-03 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：它包括基板以及雨刷大臂前端的基准点“A”和后端的基准点”O”，基板的前端设置有斜圆孔，斜圆孔内设置有支承销；基板的后部设置有支承块，支承块上设置有用于插入后插销的插孔，基板的中后端设置有插销孔，中插销具有三种不同的直径段；中插销的前端为通规尺寸，后端为止规尺寸，还有一段尺寸与基板上的插销孔尺寸精密滑动配合；基板上设置有位于支承销后方的斜方孔，所述斜方孔内设置有能够在斜方孔内滑动的前插销，基板的前端侧边还设置有一块用于对角度测量仪校准的校准块，基板的前端还设置有位于校准块前方的靠山。
雨刷多功能

[实用新型]一种钢丝帘布检测校准装置-CN202123103203.8有效
发明人：戚务昌;林永辉;姜利;张凯 -专利权人：威海华菱光电股份有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01N27/85 文献下载
摘要：本申请提供一种钢丝帘布检测校准装置，用于获取对钢丝帘布的检测信号并通过校准信号进行校准，所述钢丝帘布检测校准装置包括检测组件、滑轨组件和支架，所述检测组件包括磁传感器模块，所述磁传感器模块与所述钢丝帘布不在同一平面内，包括：基板、多个磁敏元件、处理单元和背向磁单元，所述滑轨组件包括沿预设方向延伸的第一滑轨，所述磁传感器模块搭接于所述第一滑轨并能够沿所述第一滑轨往复地滑动；所述支架用于支撑并固定所述滑轨组件。本申请提供的钢丝帘布检测校准装置能够有效避免钢丝帘布中磁化的钢丝帘线对检测装置的影响，且操作方便，易于实现，校准精度高。
一种钢丝帘布检测校准装置

[发明专利]具有双缓冲器和校准器的负载固定室-CN200410088936.0有效
发明人：许光虎;崔浚泳;李哲源 -专利权人：爱德牌工程有限公司
申请日： 2004-11-09 - 公布日： 2005-06-08 - 主分类号： C03B35/00 文献下载
摘要：本发明公开一种用于平板显示器制造装置的负载固定室。该负载固定室包括一个在其上可同时支承两个基板的双缓冲装置，和一个用于校正支承在所述双缓冲装置上的基板的位置的校准器。
具有缓冲器校准负载固定