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- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201110125636.5有效
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天野嘉文
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东京毅力科创株式会社
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2011-05-12
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2011-11-16
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H01L21/67
- 本发明提供一种能够使基板的中心与旋转中心对齐、对基板进行处理的基板处理装置及基板处理方法。通过提供如下基板处理装置来解决上述课题:该基板处理装置的特征在于,具有:用于向被处理基板供给处理流体来进行基板处理的基板处理部;用于与上述被处理基板的侧面接触来对上述被处理基板的位置进行定位的定位机构部;用于驱动上述定位机构部的定位驱动部;用于检测上述定位机构部的位置的检测部;用于将上述定位机构部相对于作为上述被处理基板的基准的基准基板的位置作为基准位置信息进行存储的存储部;用于计算上述检测部所检测出的上述定位机构部的位置信息同上述基准位置信息之差、根据上述差计算出上述被处理基板的实测信息的运算部。
- 处理装置方法
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