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[实用新型]均匀镀膜装置-CN202021755515.X有效
发明人：王正云;刘贺威 -专利权人：苏州众智泽智能科技有限公司
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机械领域，尤其涉及一种结构简单、方便均匀镀膜的均匀镀膜装置。顶板上设置有动力电机，该动力电机的转轴自由伸出顶板的底部，在转轴的末端设置有第一锥齿轮；还包括有横向轴，该横向轴通过第一轴承与竖板配合，横向轴的一端设置有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，另一端设置有用于夹持镀膜工件的工件夹持组件本实用新型的均匀镀膜装置，使用时将镀膜工件安装在工件夹持组件上，动力电机转动的时候带动转轴转动，从而带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，进而带动横向轴、工件夹持组件以及镀膜工件转动，能够方便镀膜工件受到均匀的镀膜作业
均匀镀膜装置

[发明专利]一种光栅膜层的制备方法-CN201910887816.3有效
发明人：糜小涛;张善文;齐向东;周敬萱;江思博;于宏柱;于海利 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种光栅膜层的制备方法，包括：预先获取镀膜机的镀膜均匀性轮廓图，镀膜均匀性轮廓图为在理论镀膜厚度下，镀膜机镀膜区域内各位置与各位置对应的实际镀膜厚度之间的关系图；根据镀膜均匀性轮廓图对光栅基底的第一表面进行加工，以使第一表面的轮廓形状与镀膜均匀性轮廓图的轮廓形状相反；将光栅基底放置在镀膜机的镀膜区域中，利用镀膜机在光栅基底的第一表面镀制膜层。本申请公开的上述技术方案，让光栅基底第一表面的轮廓形状与镀膜机镀膜均匀性轮廓图的轮廓形状相反，通过光栅基底对镀膜机的镀膜均匀性进行校正，以降低对镀膜机镀膜均匀性的要求，从而降低镀膜的成本。
一种光栅制备方法

[实用新型]一种可改善磁控溅射镀膜均匀性的镀膜装置-CN201120282981.5有效
发明人：班超;程春生;张钦廉;曹嘉寰;符东浩;李传文;刘毅楠;赵浩 -专利权人：平湖中天合波通信科技有限公司
申请日： 2011-08-05 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种可改善磁控溅射镀膜均匀性的镀膜装置，该镀膜装置包括有靶仓（1）、靶材（2）和均匀镀膜构件，所述的靶材（2）为位于靶仓（1）内部的一对平行设置的圆柱靶，靶仓（1）的底部开口正对待镀膜的基片（3），在所述的靶材（2）和基片（3）之间设有均匀镀膜构件，该均匀镀膜构件固定于所述的靶仓（1）上。本实用新型的镀膜装置在镀膜时能够改善镀膜均匀性，使其满足实际工作需要。
一种改善磁控溅射镀膜均匀装置

[发明专利]一种谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法-CN202011172175.2有效
发明人：徐梁格;杨磊;张智博;王鹏;高岗;孙春强;杨锦业;滕详青;朱嘉琦 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法和半球谐振子制造方法，该谐振子膜层厚度分布及均匀程度修正方法包括：获取镀膜设备和镀膜工件的三维数据；根据获取的三维数据建立镀膜工件及有效镀膜区域的三维模型，对镀膜工件待镀膜的镀膜面沿径向分布划分网格；利用有限元仿真获得不同工艺参数对应的镀膜工件即半球谐振子在镀膜表面的膜层厚度分布及均匀程度数据；在镀膜过程中，采集镀膜厚度参数，动态分析膜层的厚度分布及均匀程度，依据已获得的膜层厚度及均匀程度结果修正镀膜的工艺参数，使膜层厚度分布均匀程度不断提高。采用本发明能够快速实现半球谐振子所需的均匀镀膜，并提高实际镀膜过程中产品的质量。
一种谐振子厚度分布均匀程度修正方法

[发明专利]一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法-CN202211146558.1在审
发明人：白峻杰;李钱陶;赵明强 -专利权人：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及异形工件镀膜领域，具体涉及一种半球形工件高均匀性镀膜装置及方法。本发明创新性的采用在镀膜过程中驱动镀膜机靶枪的方式，使靶枪在镀膜过程中调整倾斜角度，进而提高半球形工件表面镀膜均匀性；另外通过一种半球形镀膜均匀性测试工装，完成多个不同倾斜角度下靶枪镀膜厚度和均匀性的标定，从而确定不同倾斜角度下靶枪对半球形工件各点的镀膜厚度，进而计算靶枪在整个半球形工件镀膜过程中各个角度下的时间占比，从而达到大幅度优化半球形工件镀膜均匀性的目的。该种方法经实测，半球形工件镀膜均匀性优于±2％。
一种半球形工件均匀镀膜装置方法

[发明专利]一种溅镀装置及溅镀方法-CN201410309202.4在审
发明人：刘兵 -专利权人：宇龙计算机通信科技(深圳)有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：所述一种溅镀装置，其包括：溅射源，溅射源包括激发单元及溅射靶，激发单元用于形成第一撞击粒子来撞击溅射靶以形成镀膜粒子，镀膜粒子用于在待镀膜基板上形成镀膜层；以及离子源，其朝向待镀膜基板设置以用于形成第二撞击粒子来在镀膜粒子在待镀膜基板上形成镀膜层的过程中对镀膜粒子进行撞击以使镀膜粒子分布均匀化本发明具有提高了镀膜粒子在待镀膜基板沉积成膜的均匀性、提高的膜层的致密性及均匀性，以及不需要额外的能量来使待镀膜基板表面的膜层保持活化状态，就可以得到结构均匀、致密的膜层结构，从而在保证了膜层均匀、致密的同时，还能够大大降低镀膜的能耗。
一种装置方法

[实用新型]一种新型高效真空镀膜装置-CN202123336945.5有效
发明人：邓梦园 -专利权人：四川海格锐特科技有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜装置技术领域，具体为一种新型高效真空镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱的两侧均开设有一个第一插接孔，所述镀膜箱的底部开设有第二插接孔，所述镀膜箱的一侧通过合页转动连接有镀膜箱门，所述镀膜箱门的一侧开设有两个第一固定孔本实用新型的优点在于：该新型高效真空镀膜装置，使工件能够进行旋转，使其镀膜效率更高，镀膜更加的均匀，解决了现有的真空镀膜装置离子分布不均匀，极大的影响了对应基片的镀膜均匀度，进而降低成品的质量的问题，通过设置的多个喷头，使得在转动盘上的工件镀膜的更加均匀，本实用新型，结构简单，操作方便，镀膜速度快，效率高，同时有效的提高了镀膜的均匀度。
一种新型高效真空镀膜装置

[发明专利]镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备-CN201811224583.0在审
发明人：黄传虎;王建新 -专利权人：东泰高科装备科技有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，其中该检测装置包括载具本体、距离检测机构和控制装置，其中，距离检测机构设置在镀膜设备上，用于依据预设的检测周期检测载具本体在设定方向上的距离值；控制装置用于根据距离值和预设的检测周期计算获得设定方向上的加速度波动值，并根据加速度波动值确定产品在设定方向上的镀膜均匀性。本发明提供的镀膜均匀性在线检测装置、检测方法及镀膜设备，实现了基材在镀膜过程中对镀膜均匀性的检测，从而提高了生产效率，节约了投入成本，同时可以确定在镀膜过程中，载具本体移动时加速度的变化对镀膜均匀性造成的影响，从而可以确定造成镀膜均匀性不良的原因和机理。
镀膜均匀在线检测装置方法设备

[发明专利]柔性基材卷绕镀膜机-CN202310326167.6在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明属于镀膜设备技术领域，尤其涉及柔性基材卷绕镀膜机，包括真空室和设置在真空室内的卷绕组件、镀膜组件；所述镀膜组件包括蒸发舟和送丝机构；所述蒸发舟包括舟体；所述舟体上设置有蒸发槽和熔融槽；所述熔融槽为多个，且多个所述熔融槽环绕蒸发槽设置；所述熔融槽和蒸发槽连通，使所述熔融槽内熔融的镀膜液流入蒸发槽。本发明的柔性基材卷绕镀膜机，熔融的镀膜液可以快速均匀的分布于蒸发槽，提高蒸发舟表面腐蚀反应均匀性和镀膜液蒸发均匀性，同时，避免了高速导入的镀膜材料的机械冲击，进一步提升蒸发舟表面腐蚀反应均匀性，进而进一步提升镀膜液蒸发均匀性，提升镀膜质量；且很大程度上降低了镀膜材料的导入速度，使进料更平缓。
柔性基材卷绕镀膜

[实用新型]镀膜均匀的真空镀膜装置-CN201820443695.4有效
发明人：傅志坚;苏良民;李峰 -专利权人：青岛华磊真空镀膜有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜均匀的真空镀膜装置，属于真空镀膜领域，其技术方案要点是包括主壳体和左壳体，左壳体能够扣合于主壳体上形成圆柱形的密封壳体，在主壳体上固定连接有抽真空设备，在左壳体内固定连接有中心立柱在左壳体底面固定连接有中心齿轮，在从动齿轮上转动连接有多个连接杆，在每个连接杆上均固定连接有转动齿轮，每个转动齿轮均啮合于中心齿轮上，在每个连接杆上均连接有连接组件，在从动齿轮上连接有动力组件，解决了真空镀膜过程中工件镀膜不均匀的问题，达到了使工件镀膜均匀，提高产品质量的效果。
镀膜从动齿轮中心立柱连接杆主壳体左壳体底盘真空镀膜装置真空镀膜中心齿轮转动齿轮转动连接啮合技术方案要点本实用新型抽真空设备动力组件加热组件连接组件密封壳体不均匀同心的底面左壳体内

[实用新型]一种提高镀膜表面均匀性的镀膜治具-CN202122101252.1有效
发明人：乔晓东 -专利权人：浙江依缘纳米科技有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜治具技术领域，具体是涉及一种提高镀膜表面均匀性的镀膜治具。包括，镀膜箱；镀膜治具，固定安装在镀膜箱上，镀膜治具的固定端设置在镀膜箱的内部；镀膜治具包括；同步旋转驱动装置，固定安装在镀膜箱上，同步旋转驱动装置的输出端设置在镀膜治具内部；固定夹持装置，设有数个均匀分布在同步旋转驱动装置的输出端本申请可有效提高镀膜的均匀性，保证产品生产质量。
一种提高镀膜表面均匀

[发明专利]改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统-CN202210039033.1在审
发明人：高玉龙 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本公开提供了一种改善晶圆镀膜均匀性的方法及系统，所述改善晶圆镀膜均匀性的方法包括：提供镀膜设备；提供晶圆，所述镀膜设备用于向所述晶圆镀膜；在镀膜过程中，监测所述晶圆表面不同区域的电流；当所述晶圆表面不同区域的电流的差值大于预设差值时，检查所述镀膜设备；当所述镀膜设备上有附着物时，对所述镀膜设备进行清洗。上述技术方案，通过在镀膜过程中，监测所述晶圆表面不同区域的电流，能够及时发现镀膜过程中晶圆表面存在的镀膜不均匀的区域；当所述晶圆表面不同区域的电流的差值大于预设差值时，检查所述镀膜设备，以确定所述镀膜设备中需要维护的零部件；当所述镀膜设备上有附着物时，清洗所述镀膜设备，改善晶圆镀膜的均匀性。
改善镀膜均匀方法系统

[实用新型]一种可提高工件镀膜均匀度的派瑞林镀膜设备-CN202222389124.6有效
发明人：彭杰真 -专利权人：深圳市山禾乐科技开发有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种镀膜设备，尤其涉及一种可提高工件镀膜均匀度的派瑞林镀膜设备。本实用新型提供一种可提高工件镀膜均匀度的派瑞林镀膜设备。一种可提高工件镀膜均匀度的派瑞林镀膜设备，包括有真空气镀膜机本体、进料管、输送管、盖板和镀膜保护壳等，真空气镀膜机本体右侧的位置放置有镀膜保护壳，镀膜保护壳顶部连通有方便输送物料的进料管，镀膜保护壳顶部前侧转动式设有盖板，镀膜保护壳顶部与真空气镀膜机本体顶部之间连通有输送管。驱动电机运转带着工件与转盘转动，能够使连接轴沿着波纹管转动，进而因波纹管形状的原因，而带着工件反复的上下移动，使工件在镀膜时转动并上下移动，提高工件镀膜的均匀度。
一种提高工件镀膜均匀派瑞林设备

[实用新型]太阳能电池硅片快速复合镀膜设备-CN202120028721.9有效
发明人：王泉龙;李琪;孙珠珠;周国栋 -专利权人：徐州中辉光伏科技有限公司
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，属于太阳能电池片生产设备技术领域，太阳能电池硅片快速复合镀膜设备，包括机体，机体的内顶部固定有进气罩，进气罩为伞形结构，机体的顶端连接有进气管，进气管与外置镀膜材料供气源相连接，机体的内部还设有均匀布气箱，均匀布气箱顶端与进气罩底端相连接，均匀布气箱的顶端开设有多个呈环形排布的进气孔，可以实现利用设置的均匀布气箱对镀膜所用的混合气体和镀膜材料进行均匀分布和充分混合，有效提升镀膜质量，且有效避免了因混合气体和镀膜材料分布不均匀影响镀膜效果的问题，同时可加速混合气体和镀膜材料由均匀布气箱吹出的速度，有效提升镀膜效率。
太阳能电池硅片快速复合镀膜设备

[实用新型]一种镀膜均匀的镀膜装置-CN202320983509.7有效
发明人：蔡沐之;秦城 -专利权人：江苏东方硕华光学材料有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C03C17/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域，且公开了一种镀膜均匀的镀膜装置，包括底座，底座内部固定连接有固定机构，底座顶部固定连接有镀膜机构，底座顶部中间设置有凸台，凸台顶部固定连接有电动吸盘,电动吸盘顶部设置有镀膜玻璃板；镀膜机构包括N形框，N形框固定连接于底座顶部，N形框有两个，左边N形框左侧固定连接有第三电机，第三电机右端固定连接有移动丝杆，移动丝杆表面螺纹连接有第二螺纹块，第二螺纹块有两个，两个第二螺纹块之间固定连接有工形条该镀膜均匀的镀膜装置，通过设置的镀膜机构，让镀膜玻璃板表面上的镀膜因受热软化并便于让刮条进行均匀镀膜，尽可能让镀膜玻璃板表面在镀膜时由于镀膜不均匀而出现有气泡的现象。
一种镀膜均匀装置

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