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[发明专利]一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法-CN201910041191.9在审
发明人：肖世洪;雷雨;周志宏;肖世文;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提出了一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属选择靶材的制备包括：S1、在冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至800‑2000℃待稀土金属完全熔化至液态；S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型；S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；S4对得到的靶材毛坯进行机加工；S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产，制备得到的稀土旋转靶材质量好，具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低，提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。本发明制备得到的稀土金属旋转靶材的利用率高大80％以上。
稀土金属旋转靶材制备靶材熔化高利用率毛坯钕铁硼永磁材料冶炼炉制备方法工艺规模化生产管状模具浇铸成型金属圆管冷却固化机加工矫顽力良品率绑定放入耗能加热脱模坩埚模具稀土加工

[实用新型]一种旋转靶材转运机构-CN201520153613.9有效
发明人：王志强;曾墩风;罗文富;曾青云 -专利权人：厦门映日新材料科技有限公司
申请日： 2015-03-18 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： B65G63/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种旋转靶材转运机构，该转运机构包括承载靶材的转运装置，及转运小车；所述转运装置在真空罐内，该转运装置定位在靶材喷涂工作台上并位于喷枪下方，进而形成靶材的喷涂定位结构；而转运小车则移动至真空罐开口处，形成承载转运装置的移动式推车结构，进而所述转运装置与转运小车配合形成靶材转运机构。本实用新型所述转运装置将靶材移动至转运小车上，从而实现对旋转靶材的转运，转运小车可将旋转靶材移动至其他地方。进而令工作人员无需进去真空罐体内作业就能实现转运效果，令作业便捷，工作效率提高。
一种旋转转运机构

[实用新型]一种旋转靶材吊装装置-CN202023319862.0有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B66C1/62 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转靶材吊装装置，包括，腔盖体；吊板；固定环板；限位环；旋转靶材；固定板；所述旋转靶材内侧固设有内衬管，所述内衬管延伸至所述旋转靶材端部外侧；所述内衬管外侧配置有固定环板；所述固定板内置于所述内衬管内部且被配置为与内衬管相互固定本实用新型可以对在对旋转靶材加工过程中，一些尺寸规格较大的旋转靶材、工人进行搬运较为困难的旋转靶材进行有限稳定的吊起和搬运。
一种旋转吊装装置

[实用新型]一种旋转靶材工件的工装及机床-CN201920339169.8有效
发明人：黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于旋转靶材工件的工装及机床。该工装包括定位装置、支撑装置、张紧装置以及锁定支撑装置的夹紧装置；定位装置包括可安装于机加工设备上的芯轴；支撑装置包括可轴向活动地安装于芯轴上的第一支撑件和第二支撑件；张紧装置设置于第一支撑件与第二支撑件之间，旋转靶材工件套设于张紧装置外围；其中，第一支撑件、第二支撑件分别与张紧装置之间设有配合斜面，并在第一支撑件与第二支撑件轴向相对运动下通过配合斜面带动张紧装置作径向活动以胀紧或松开旋转靶材工件。本实用新型通过张紧装置胀紧或松开来完成旋转靶材工件的装夹，从而克服了因旋转靶材受热变形而造成装夹困难的缺陷，从而提高生产效率，降低劳动成本。
张紧装置旋转靶材第二支撑件支撑件本实用新型定位装置配合斜面支撑装置工装芯轴胀紧装夹锁定支撑装置机加工设备夹紧装置径向活动劳动成本生产效率受热变形轴向活动可安装松开轴向机床外围

[实用新型]一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座-CN201420237880.X有效
发明人：赵宏清;刘晓文 -专利权人：山东禹城汉能光伏有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板、磁钢组件、靶材和对磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，磁钢组件外围设有U型冷却基座，U型冷却基座内嵌入U型冷却水管，U型冷却基座底部安装靶材；微调装置包括定位左档、可滑动中档、定位右档，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档通过螺母连接微调丝杆，微调丝杆左、右端部均通过支撑轴承固定于定位左、右档上，微调丝杆端部边缘设有旋转手柄，可滑动中档通过连接座与磁钢组件相连。本实用新型使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。
一种具有独立冷却水系统磁场移动靶

[发明专利]ITiO旋转靶材及其制备方法-CN202010116105.9在审
发明人：甘志俭;庄志杰;诸斌;庄猛;杨斌 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种ITiO旋转靶材及其制备方法。ITiO旋转靶材的制备方法包括如下步骤：按照质量份数，将90份～99.5份的In2O3纳米粉体、0.5份～10份的TiO；以及将旋转靶材素坯进行烧结，退火之后得到ITiO旋转靶材。经试验证明，本发明的上述ITiO旋转靶材的制备方法制备得到ITiO旋转靶材的相对密度≥98％，ITiO旋转靶材的电阻率≤4.0×10‑4Ω·cm，因此，通过上述ITiO旋转靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ITiO旋转靶材。
itio 旋转及其制备方法

[实用新型]一种旋转靶材的立式展呈装置-CN202222361581.4有效
发明人：姚力军;潘杰;张林;沈莉佳;冯超;黄引驰 -专利权人：宁波阳明工业技术研究院有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： A47F5/025 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种旋转靶材的立式展呈装置，所述旋转靶材的立式展呈装置包括立式框架和设置于所述立式框架底部的靶材驱动组件；所述靶材驱动组件包括至少2套传动单元，所述立式框架顶部对应于传动单元的垂直投影处开设有通槽本实用新型提供的立式展呈装置特别适用于旋转靶材的展呈，将传统的静止展呈改为动态展呈，便于观众充分了解靶材的整体外观质量，同时保证了靶材在运动过程中的稳定性和安全性。
一种旋转立式装置

[发明专利]溅射装置及使用其形成半导体结构的方法-CN202310720707.9有效
发明人：王晋;黄峰;高晋文;郭佳惠 -专利权人：润芯感知科技（南昌）有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射装置及使用其形成半导体结构的方法，所述溅射装置包括至少一个溅射腔室，且每个溅射腔室包括承载台和靶材结构。承载台被配置为承载待镀膜的基板，且可绕沿第一方向的旋转轴旋转，第一方向垂直于承载台配置为承载基板的主表面，其中承载台包括被配置为安装基板的基板安装区；靶材结构在第一方向上与承载台相对设置，且包括靶材溅射区，靶材溅射区是被配置为在溅射工艺中向位于承载台上的基板提供靶材粒子的区域，其中靶材溅射区与基板安装区在第一方向上交叠，且在平行于承载台的主表面的第二方向上延伸超出基板安装区的边缘。本公开实施例的溅射装置可提高溅射工艺在深孔侧壁镀膜的能力。
溅射装置使用形成半导体结构方法

[实用新型]旋转阴极机构-CN201220096370.6有效
发明人：朱殿荣;曹俊 -专利权人：无锡康力电子有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种旋转阴极机构，它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。本实用新型为一种新型机构，通过在溅射过程中旋转靶材，使得靶材在整区域的消耗能够均匀的进行刻蚀，将靶材一次利用率提高到≥80%以上；同时可以有效减少打弧和靶面掉渣，工艺稳定性好。
旋转阴极机构

[发明专利]难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法-CN201510234932.7有效
发明人：曹兴民;庄志杰;贾泽夏 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%‑80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，通过采用相对较为简单的等温挤压生产流程获得高密度和低氧含量的难熔金属旋转靶材，而且不受材料限制，可使整个靶材几何尺寸、表面质量和内部组织及物理性能等都达到最佳效果，极大的提高生产率降低生产成本，尤其是可以生产多种其他工艺难于生产的难熔金属合金旋转靶材
金属旋转等温挤压生产方法

[实用新型]旋转靶材-CN201420525878.2有效
发明人：张凤戈;穆健刚;马志伟;李建奎;杨本润;刘健;陈鹏 -专利权人：安泰科技股份有限公司
申请日： 2014-09-12 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种旋转靶材，该旋转靶材包括管状结构的管体和环状结构的端头，所述端头的内径固定地套设于所述管体的端部。本实用新型通过连接的办法增加靶材端头的厚度，使端头和管体能够同时被溅射完，提高靶材的利用率，同时具有工艺简单、生产成本低、连接处结合紧密、导热效果好的优点。
旋转

[发明专利]一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法-CN201910732234.8在审
发明人：胡强楠;征卫星;马文卫;张帅;赵志勇;刘秉宁;孟将;李正飞;饶晓方 -专利权人：宁夏中色新材料有限公司;西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： C04B35/495 文献下载
摘要：一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法，该靶材密度≥4.5g/cm³，电阻率≤1.4×10^‑3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。制备方法包括以下步骤：1）粉末混合：将氧化铌粉末与金属铌粉进行机械混合均匀；2）粉末预烧：对步骤1）中混合后粉末进行真空预烧；3）粉末处理：对预烧粉末进行球磨处理；4）冷等静压成型：对处理粉末装入模具中冷等静压预压成型旋转靶材坯体；5）坯体车削加工：对靶材坯体进行车削加工；6）真空热压烧结：对加工坯体置入石墨模具中进行热压真空烧结；7）靶坯加工：对烧结旋转靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低电阻旋转氧化铌靶材。该靶材导电性较好，具有较好的物理和化学性能，有效提高靶材产品质量。
旋转靶材靶材坯体预烧车削加工低电阻高致密制备冷等静压成型真空热压烧结导电性氧化铌靶材氧化铌粉末粉末处理粉末混合化学性能机械混合加工坯体冷等静压石墨模具预压成型真空烧结烧结电阻率金属铌氧化铌壁厚对靶球磨热压置入模具装入加工

[发明专利]一种原子尺度超多层结构薄膜及其制备方法与应用-CN202310338458.7在审
发明人：刘江文;刘天奇;覃甲尧;王辉;欧阳柳章;曾美琴;朱敏 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子尺度超多层结构薄膜及其制备方法与应用；本发明将两种靶材分别安装在超高真空磁控溅射系统的不同溅射靶位上，将清洗后的基底安装在溅射腔室的旋转底座上；所述靶材为Mg靶材和Cr靶材；对超高真空磁控溅射系统的溅射腔抽真空后，通入工作气体；工作气压稳定后，对每个靶材进行预溅射，清除靶材表面污染层；进行基底旋转溅射：控制不同靶材的溅射功率和基底转速，使得基底在旋转过程中依次通过不同靶材的上方，旋转溅射后得到原子尺度超多层结构薄膜本发明的制备方法工艺简单，原料价格低廉，通过调控靶材溅射功率与基底转速，实现原子尺度上的结构控制，得到20nm厚度以下级别的超多层膜结构，具有优异的储氢性能。
一种原子尺度多层结构薄膜及其制备方法应用

[发明专利]一种提高旋转靶材利用率的溅射方法及溅射设备-CN202210506190.9在审
发明人：张永胜;解传佳;武瑞军;莫超超;杨肸曦;彭孝龙;周振国 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明属于溅射镀膜技术领域，公开了一种提高旋转靶材利用率的溅射方法及溅射设备。该提高旋转靶材利用率的溅射方法中，在线获取位于真空室内的所述靶材的形貌信息；根据所述靶材的形貌信息自动生成所述靶材的外径形貌拟合图；根据所述外径形貌拟合图，自动控制所述靶材轴向各处的磁场强度，以使所述靶材均匀消耗在线获取靶材刻蚀情况并自动调整磁场强度，不需要对真空室破除真空后取出靶材调整更方便，且有利于提高调整频率，从而能够及时调整靶材轴向各处的磁场强度，有利于增大靶材利用率的调整幅度。本发明提供的溅射设备能够在线获取靶材表面刻蚀情况并调整对应位置磁场强度，不需人工操作，效率高，调整及时，能明显改善靶材的利用率。
一种提高旋转利用率溅射方法设备

[发明专利]一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法-CN201811294930.7在审
发明人：陆映东;张倍维;梁盈祥;莫斌;覃当凤 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法，包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。本发明适用于对采用铟金属绑定的靶材进行解绑，可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑温度均匀，解绑后靶材完好，解绑效率高。
旋转靶材油浴槽托架加热组件解绑定多块隔板放置凹槽平面靶材连接杆靶材栅格隔板间隔滑动安装均匀安装两根导轨倾斜排列倾斜设置温度均匀加热棒上连杆下连杆绑定导轨底面小孔金属