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- [发明专利]聚季铵盐及其制备方法和应用-CN202210323368.6在审
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任长友;肖斐;程元荣;鲁冠斌;陈俊叶
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华为技术有限公司;复旦大学
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2022-03-29
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2023-10-24
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C08G73/02
- 本申请公开了聚季铵盐及其制备方法和应用,属于电镀技术领域。该聚季铵盐包括多个重复单元,重复单元包括:相连接的双酯基基团和双季铵盐基团,双酯基基团包括连接基团和两个酯基;连接基团为烷基、芳基、芳烷基、含醚键的烷基、含醚键的芳基或者含醚键的芳烷基,连接基团的两个端基分别与两个酯基的氧基相连,两个酯基的R基与相应的双季铵盐基团的N原子相连;双季铵盐基团基于双叔胺化合物得到。基于该聚季铵盐的整平剂利于获得高共面性的镀层,并且基于该聚季铵盐的整平剂操作窗口宽,所适用的沟槽或孔的宽度范围为10nm~1.2μm,能够有效降低密集图形区域的镀层和稀疏图形区域的镀层之间的厚度差别。
- 铵盐及其制备方法应用
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