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- [发明专利]包括主动的再调整的回归干涉仪-CN201980025503.5有效
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A·肯斯
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布鲁克光学有限公司
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2019-04-18
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2021-12-03
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G01B9/02
- 中的至少一个回归反射器运动,以便改变干涉仪臂(13、14)之间的光学的光程差;用于相干的参考光的参考光源(5);用于可用光(21)的输出端;以及参考光探测器(19),其特征在于,参考光探测器(19)具有至少三个探测器面(19a‑19d),其中第一对探测器面(19a、19b)的探测器面沿第一方向(ER)排列,并且第二对探测器面(19a、19c)的探测器面沿第二方向(ZR)排列,并且第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光(17)在参考光探测器(19)上的中间的传播方向线性独立,并且干涉仪布置结构(1)此外具有:‑用于参考光(17)的会聚元件(18),所述会聚元件设置在分束器(8)和参考光探测器(19)之间,以用于对来自分束器(8)的参考光(17)聚焦;‑至少两个促动器(9、10),以用于在至少两个自由度方面改变两个由干涉仪臂(13、14)往回反射的并且在分束器(8)上再次叠加的参考光子光束(11、12)之间的横向的切变;‑以及调节电子装置(38),以用于依赖于在参考光探测器(19)的探测器面(19a‑19d)上的信号(Sa‑Sc)操控促动器(9、10)。
- 包括主动再调整回归干涉仪
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