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[发明专利]原子力显微镜探针-CN201210042269.7有效
发明人：魏洋;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2012-02-23 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明提供一种原子力显微镜探针，其包括一碳纳米管微尖结构，该碳纳米管微尖结构包括：一绝缘基底，该绝缘基底具有一表面，该表面具有一边缘；一图案化碳纳米管膜结构，该图案化碳纳米管膜结构部分设置于该绝缘基底的所述表面
原子显微镜探针

[发明专利]原子力显微镜探针-CN200480023496.9有效
发明人：安德鲁·大卫·拉维尔·哈姆菲里斯;杰米·凯恩·霍博斯;默文·琼·迈尔斯 -专利权人：布里斯托尔大学
申请日： 2004-07-15 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： G12B21/08 文献下载
摘要：用于原子力显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时，它受到将探针推向样品的偏置力F_direct。这改进样品表面的探针跟踪，并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24，50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。
原子显微镜探针

[发明专利]原子力显微镜悬臂探针及其制作方法-CN202310587119.2在审
发明人：凌小伦;徐耿钊;刘争晖;张春玉;张珽 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子力显微镜悬臂探针及其制作方法，原子力显微镜悬臂探针包括：探针悬臂，探针针尖以及温敏结构。所述探针悬臂上形成有压敏结构；所述探针针尖形成于所述探针悬臂的一端；所述温敏结构形成于所述探针针尖上且延伸至所述探针悬臂上。本发明的原子力显微镜悬臂探针，是一种应用于原子力显微镜的、具备热学测量功能的新型自传感悬臂探针，在原子力显微镜技术上，利用压阻悬臂探针或压容悬臂探针结合热敏电阻或热电偶结构来研究纳米尺度温度分布。
原子显微镜悬臂探针及其制作方法

[发明专利]原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法-CN201810233689.0有效
发明人：宋一鸣;马明;郑泉水 -专利权人：深圳清力技术有限公司
申请日： 2018-03-21 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法。原子力显微镜探针包括探针本体和设置在探针本体的针尖一侧的接触体，接触体具有连接段和接触段，接触段具有接触端面；接触段为二维材料，且接触端面为原子级光滑且平整的单晶界面。本发明的原子力显微镜探针可精确地检测受测样品的各种性质。
原子显微镜探针制备方法

[发明专利]半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法-CN201510554172.8在审
发明人：樊英民;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;黄增立;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体材料表面微区光电响应测量装置及测量方法，所述装置包括样品台，用于放置待测样品；原子力显微镜导电探针，与待测样品接触，原子力显微镜导电探针、待测样品及电源形成电学回路；波长连续可调的单色光路系统，使波长连续可调的单色光照射在原子力显微镜导电探针与待测样品接触区域，在待测样品表面激发产生光生载流子；锁相放大器，信号输入端与原子力显微镜导电探针电连接，用于测量原子力显微镜导电探针获得的光电信号；电源通过原子力显微镜导电探针向待测样品表面施加偏压，待测样品表面光生载流子在偏压的影响下，形成光电信号，原子力显微镜导电探针收集光电信号并将光电信号传导至锁相放大器，以获得光电响应特性。
半导体材料表面光电响应测量装置测量方法

[发明专利]扫描探针显微镜微型镜盒-CN200410065365.9无效
发明人：陆轻锂;陆轻铱;高峰;陆轻铀 -专利权人：陆轻锂
申请日： 2004-11-29 - 公布日： 2006-06-07 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明涉及扫描探针显微镜领域的一种扫描探针显微镜微型镜盒，其结构包括电致伸缩步进器、电致伸缩扫描管、盒体、盒盖、样品座、探针、探针架、通讯接口及抽气孔，还包括有样品切断顶杆及辅助探针，所述探针和辅助探针可选用扫描隧道显微镜探针和/或原子力显微镜探针和/或磁力显微镜探针。可在盒内对样品进行真空切割和在真空中更换探针，并能一次性完成对样品进行多种不同类型探针的扫描，既适合扫描隧道显微镜、原子力显微镜、磁力显微镜单独使用，也适合扫描隧道显微镜和原子力显微镜和磁力显微镜组合使用
扫描探针显微镜微型

[实用新型]扫描探针显微镜微型镜盒-CN200420109593.7无效
发明人：陆轻锂;陆轻铱;高峰;陆轻铀 -专利权人：陆轻锂
申请日： 2004-11-29 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及扫描探针显微镜领域的一种扫描探针显微镜微型镜盒，其结构包括电致伸缩步进器、电致伸缩扫描管、盒体、盒盖、样品座、探针、探针架、通讯接口及抽气孔，还包括有样品切断顶杆及辅助探针，所述探针和辅助探针可选用扫描隧道显微镜探针和/或原子力显微镜探针和/或磁力显微镜探针。可在盒内对样品进行真空切割和在真空中更换探针，并能一次性完成对样品进行多种不同类型探针的扫描，既适合扫描隧道显微镜、原子力显微镜、磁力显微镜单独使用，也适合扫描隧道显微镜和原子力显微镜和磁力显微镜组合使用
扫描探针显微镜微型

[发明专利]一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法-CN201811435091.6在审
发明人：张丹;甘阳;刘言;张飞虎 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法，本发明涉及一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法。本发明的目的是为了解决目前原子力显微镜氮化硅探针的表面污染物难以有效去除的问题，方法为：将原子力显微镜氮化硅探针依次置于不同溶液中超声清洗，氮气吹干，再用空气等离子体清洗器进一步清洗，即得干净无损的探针本发明能有效去除探针表面的颗粒和有机污染物，重复性好，且过程安全、无污染。本发明属于原子力显微镜探针的清洗领域。
原子力显微镜探针氮化硅清洗去除原子力显微镜探针空气等离子体表面污染物有机污染物超声清洗氮气吹干过程安全探针表面清洗器无损

[发明专利]一种石墨烯包覆原子力显微镜探针及其制备方法、用途-CN201410632559.6有效
发明人：惠飞;马里奥·兰扎;石媛媛 -专利权人：苏州大学
申请日： 2014-11-12 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： G01Q60/40 文献下载
摘要：本发明属于原子力显微镜领域，涉及一种石墨烯包覆原子力显微镜探针及其制备方法、用途，所述的一种石墨烯包覆原子力显微镜探针，包括探针基底，悬臂，针尖，所述的悬臂和针尖上设有金属层，针尖上还设有石墨烯层。所述的石墨烯包覆原子力显微镜探针的制备方法，包括以下步骤：（1）石墨烯溶液的制备：将5‑10 mg石墨烯加入1mL水中，在超声波清洗仪中超声分散10 min，制备得到浓度为5‑10 mg/mL的石墨烯溶液；（2）制备石墨烯包覆原子力显微镜探针：将悬臂和针尖上设有金属层的原子力显微镜探针的针尖浸入步骤（1）的石墨烯溶液中，机械搅拌30‑60 s后取出自然晾干。
一种石墨烯包覆原子显微镜探针及其制备方法用途

[发明专利]基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统-CN202110431133.4有效
发明人：赵长颖;陈杰;王博翔;张文斌;刘旭晶;金圣皓 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统，涉及近场扫描显微成像技术领域，该方法包括：加热样品台、原子力显微镜、探测器、计算机以及多根探针，原子力显微镜设置在加热样品台上，且原子力显微镜上靠近加热样品台一侧设置有探针，多根探针与加热样品台之间存在间隔，探测器设置在原子力显微镜上，且探测器与计算机之间信号连接。本发明能够有效解决现有近场扫描显微镜对外部激光光源的依赖，很大程度上降低系统的复杂度和成本。
基于探针光源近场热辐射扫描显微镜系统

[发明专利]一种类金刚石包覆的原子力显微镜探针及其制备方法-CN202011595313.8在审
发明人：张雪峰;石振;陈迎鑫;张鉴;赵利忠 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种类金刚石包覆的原子力显微镜探针及其制备方法，涉及原子力显微镜探针技术领域，包括基底和设于基底端部的针尖，所述针尖包覆有类金刚石薄膜，本发明通过在原子力显微镜探针针尖表面包覆类金刚石薄膜，赋予了原子力显微镜探针优良的力学性能、热稳定性及化学稳定性，可显著延长AFM探针的使用寿命与性能。
种类金刚石原子显微镜探针及其制备方法

[发明专利]能够应用于近场光学的原子力显微镜激光头-CN202211574955.9在审
发明人：韩雄;钱锋 -专利权人：苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够应用于近场光学的原子力显微镜激光头，属于光学器械领域，扫描器固定盘安装于原子力头部组件，反射镜以及探针组件安装于扫描器固定盘，扫描器固定盘设有光路通道，反射镜位于光路通道中，反射镜的反射面朝向探针，原子力发射器、反射镜以及探针与光路通道位于同一直线上，原子力发射器发出的光经反射镜射至探针并被探针反射至原子力接收器，反射组件将近场光学装置的激光发射器发出的激光反射至探针，探针将激光反射并且反射激光经反射组件反射至激光接收器，通过上述设计，激光头同时具有近场光学显微镜以及原子力显微镜的功能，只需一个探针，并且近场光学显微镜的功能和原子力显微镜的功能能够单独使用。
能够应用于近场光学原子显微镜激光头

[发明专利]一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置-CN201410199399.0有效
发明人：曾华荣;徐琨淇;陈立东;赵坤宇;李国荣 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种原子力显微镜导电探针原位加热、原位表征纳米塞贝克系数的装置，该装置进一步包括：一原子力显微镜导电探针原位加温模块，用于实现原子力显微镜导电探针的原位加热以及与其相互接触的纳米热电材料微区加热；一纳米塞贝克系数原位检测模块，用于提供发展原位表征纳米塞贝克系数装置的原子力显微镜平台，并原位实现所述纳米热电材料纳米塞贝克电压信号的原位激发和原位检测，并进而获得纳米塞贝克系数的原位定量表征结果。本申请将原子力显微镜纳米检测功能、焦耳热效应、热传导效应和热电材料塞贝克物理效应相结合，建立起基于原子力显微镜导电探针原位加热、原位定量表征纳米塞贝克系数的新装置。
一种原子显微镜导电探针原位加热表征纳米贝克系数装置

[发明专利]一种液相导电原子力探针及制备方法-CN202110312704.2在审
发明人：王作斌;王睿;曲凯歌;曹亮;姜晓琳;董建军;常泽文;陈玉娟;宋正勋;翁占坤;许红梅 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01Q60/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种液相导电原子力探针及制备方法，在导电原子力探针表面制备纳米级绝缘薄膜，仅在其针尖部分暴露必要的导电面积，通过操纵导电原子力显微镜使液相导电原子力探针的导电针尖接触细胞膜，与导电原子力显微镜形成导电回路本发明能够降低导电原子力显微镜在液相下测量细胞电信号或扫描成像时受到的噪声干扰，从而实现导电原子力显微镜的液相下测量，同时得到高信噪比的细胞电信号。
一种导电原子探针制备方法

[发明专利]一种多层膜X射线微波带片的移动方法-CN201810499040.3有效
发明人：李艳丽;孔祥东;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G01Q60/26 文献下载
摘要：一种多层膜X射线微波带片的移动方法，将原子力显微镜探针安装在针架上，将针架安装在原子力显微镜上。取适量AB胶涂抹在一平整基片表面，将平整基片置于原子力显微镜样品台上。移动样品台，调整探针与AB胶的距离，使探针与AB胶不断靠近，接触后迅速分离，使探针悬臂粘有少量的AB胶。然后取下放有AB胶的平整基片，将另一放有微波带片的平整基片置于样品台上，调整探针与微波带片的距离，使探针与微波带片不断靠近，接触后迅速分离，微波带片被粘在原子力显微镜探针上。取下针架，静置使AB胶老化，微波带片牢固粘在原子力显微镜探针上。最后利用针架移动微波带片，将微波带片固定在安装位置上。操作结束后，撤下针架，去除探针基片和探针悬臂。
一种多层射线微波移动方法

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