[发明专利]原子力显微镜探针有效
| 申请号： | 200480023496.9 | 申请日： | 2004-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1836290A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 安德鲁·大卫·拉维尔·哈姆菲里斯;杰米·凯恩·霍博斯;默文·琼·迈尔斯 | 申请（专利权）人： | 布里斯托尔大学 |
| 主分类号： | G12B21/08 | 分类号： | G12B21/08;G12B21/02;G12B21/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 英国布*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 用于原子力显微镜的探针(22)适合于使得当扫描样品(14)时，它受到将探针推向样品的偏置力Fdirect。这改进样品表面的探针跟踪，并且更快扫描成为可能。通过在探针(22)上包括响应于外加力的偏置元件(24，50)和/或减小支撑梁的品质因子实现这点。偏置元件可以是例如磁体(24)或导电元件(50)。可以通过用机械能消散材料涂敷梁来减小品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 | ||
【主权项】：
1.一种供原子力显微镜或纳米光刻术中使用的探针(22)，该探针包括连接到具有100nm或更小针尖半径的探针尖端(4)的力感测元件(3)，其特征在于该探针包括偏置元件(24，50)，偏置元件响应于基本上与偏转无关的用于将探针尖端(4)和样品的任一个或两者推向彼此的外加力。
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