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[发明专利]纯相位液晶空间光调制器校准平台及方法-CN202110078542.0有效
发明人：侯煜;李曼;王然;岳嵩;张昆鹏;石海燕;张喆;薛美;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种纯相位液晶空间光调制器校准平台，包括：激光发生模块，用于产生原始激光束；分光镜，设置在原始激光束的光路上，分光镜用于将激光发生模块发射的激光分为第一激光束和第二激光束；反射镜，设置在第一激光束的光路上，反射镜用于将第一激光束反射为第一反射激光束；摆台，设置在第二激光束的光路上，摆台用于承载纯相位液晶空间光调制器，纯相位液晶空间光调制器用于对第二激光束调制为第二反射激光束；成像模块，设置在第一反射激光束和第二反射激光束相交的位置，成像模块用于采集第一反射激光束和第二反射激光束的干涉图像。本发明能够得到调制后的激光束与调制前的激光束的差异，得到准确的纯相位液晶空间光调制器的调制特性。
相位液晶空间调制器校准平台方法

[发明专利]一种半导体焊接方法-CN201911139250.2在审
发明人：郎鑫涛 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体焊接方法，所述方法包括以下步骤：(1)将待焊接的半导体固定；(2)将焊球置于半导体的焊接位置；(3)将原始激光束进行分束形成6～8束分束激光加热焊球进行焊接，其中，所述原始激光束的脉宽为80fs～100ns，所述原始激光束的直径为0.1μm～2μm，所述原始激光束的功率为0.5～1W。本发明的半导体焊接方法采用激光法进行焊接，采用了特定的原始激光束的脉宽、直径和功率，并且将原始激光束进行分束形成6～8束分束激光同时分别进行不同的部位焊接，焊接的有效率高，焊接的时间短，节约了时间成本和人力成本
一种半导体焊接方法

[发明专利]显示装置的制造装置及制造方法-CN202110056085.5在审
发明人：林东彦;具光骏;金桢穆;金泳植;金泂允;朴原雄 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：为了提高显示装置的制造品质及产量，显示装置的制造装置，包括：工作台，支承基板；移动部，使工作台沿着第一方向移动；激光束源，射出原始激光束；光学单元，配置在原始激光束的行进路径上，并将原始激光束加工成在与第一方向交叉的第二方向上延伸的线激光束(line laser beam)；光束阻断单元，能够沿着第二方向移动，并且能够阻断线激光束中的一部分；以及光束消除单元，消除被光束阻断单元阻断的线激光束的一部分。
显示装置制造装置方法

[发明专利]一种激光折射率调谐方法、系统、装置及激光器-CN202310542982.6在审
发明人：崔晓敏;肖旭辉;王瑶 -专利权人：深圳英谷激光有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光折射率调谐方法、系统、装置及激光器，包括对原始激光源进行预处理，获得待调谐激光束；沿待调谐激光束的光学路径设置光学调谐腔，在光学调谐腔内插入调谐单元，让待调谐激光束穿过调谐单元，调谐单元利用电流对待调谐激光束调谐，进行输出调谐激光束；在待调谐激光束穿过调谐单元的输出端处设置重滤波单元和检测单元。本发明通过对原始激光源进行预处理后，得到规整好的激光束，将规整好的激光束通入至光学调谐腔内通过调谐单元进行电流调谐，让电流改变调谐单元中的折射率，继而实现对激光束进行调谐，让激光折射率根据电流大小而进行发生变化
一种激光折射率调谐方法系统装置激光器

[发明专利]一种前端扩束的臭氧激光雷达发射系统及激光发射方法-CN202210445854.5在审
发明人：杨少辰;刘冬晴;张鹭;王克满;龚海滨;冼锦洪 -专利权人：深圳大舜激光技术有限公司;南京市气象台
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本发明涉及大气臭氧探测领域，尤其是一种前端扩束的臭氧激光雷达发射系统及激光发射方法。该系统主要包括激光发射器，所述激光发射器用于发射原始波长的激光束；波长转换器，所述波长转换器用于将所述原始波长的激光束转化为目标波长的激光束；第一光学透镜组，所述第一光学透镜组设置于所述激光发射器与所述波长转换器之间；第一扩束装置，所述第一扩束装置的一端位于所述激光发射器的出光侧，所述第一扩束装置的另一端位于所述第一光学透镜组的入光侧，所述第一扩束装置用于将所述原始波长的激光束进行扩束，避免所述原始波长的激光束对所述第一光学透镜组造成损伤
一种前端臭氧激光雷达发射系统激光方法

[实用新型]一种前端扩束的臭氧激光雷达发射系统-CN202220988235.6有效
发明人：杨少辰;刘冬晴;张鹭;王克满;龚海滨;冼锦洪 -专利权人：深圳大舜激光技术有限公司;南京市气象台
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及大气臭氧探测领域，尤其是一种前端扩束的臭氧激光雷达发射系统。该系统主要包括激光发射器，所述激光发射器用于发射原始波长的激光束；波长转换器，所述波长转换器用于将所述原始波长的激光束转化为目标波长的激光束；第一光学透镜组，所述第一光学透镜组设置于所述激光发射器与所述波长转换器之间；第一扩束装置，所述第一扩束装置的一端位于所述激光发射器的出光侧，所述第一扩束装置的另一端位于所述第一光学透镜组的入光侧，所述第一扩束装置用于将所述原始波长的激光束进行扩束，避免所述原始波长的激光束对所述第一光学透镜组造成损伤
一种前端臭氧激光雷达发射系统

[发明专利]用于切割不同厚度的工件的激光切割机和方法-CN201911375048.X在审
发明人： T·黑塞;T·凯泽 -专利权人：通快机床两合公司
申请日： 2013-10-15 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： B23K26/062 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光切割机(1)，用于借助于带有第一激光束特征的第一加工激光束(3a)切割具有第一厚度(D1)的工件(2a)和借助于至少一个带有另外的第二激光束特征的第二加工激光束(3b)切割具有另外的第二厚度(D2)的工件(2b)，具有：激光源(4)、尤其是固体激光器，用于产生具有小于4μm的激光波长的原始激光束(5)；加工头(6)和装置(7)，所述装置由原始激光束(5)形成具有第一和第二激光束特征的加工激光束本发明还涉及一种用于借助于加工激光束(3a,3b)切割不同厚度(D1,D2)的工件(2a,2b)的方法，其中选择性地借助于具有第一激光束特征的第一加工激光束(3a)加工具有第一厚度(D1)的工件(2a)，并且借助于至少一个具有另外的第二激光束特征的第二加工激光束(3b)加工具有另外的厚度(D2)的工件(2b)。
用于切割不同厚度工件激光切割机方法

[发明专利]用于切割不同厚度的工件的激光切割机和方法-CN201380059732.1在审
发明人： T·黑塞;T·凯泽 -专利权人：通快机床两合公司
申请日： 2013-10-15 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光切割机(1)，用于借助于带有第一激光束特征的第一加工激光束(3a)切割具有第一厚度(D1)的工件(2a)和借助于至少一个带有另外的第二激光束特征的第二加工激光束(3b)切割具有另外的第二厚度(D2)的工件(2b)，具有：激光源(4)、尤其是固体激光器，用于产生具有小于4μm的激光波长的原始激光束(5)；加工头(6)和装置(7)，所述装置由原始激光束(5)形成具有第一和第二激光束特征的加工激光束本发明还涉及一种用于借助于加工激光束(3a,3b)切割不同厚度(D1,D2)的工件(2a,2b)的方法，其中选择性地借助于具有第一激光束特征的第一加工激光束(3a)加工具有第一厚度(D1)的工件(2a)，并且借助于至少一个具有另外的第二激光束特征的第二加工激光束(3b)加工具有另外的厚度(D2)的工件(2b)。
用于切割不同厚度工件激光切割机方法

[发明专利]双参数激光光学反馈-CN200410089901.9有效
发明人：史考特·卡德威尔 -专利权人：美商布朗森超音速公司
申请日： 2004-10-29 - 公布日： 2005-08-17 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：一种反馈控制激光的方法及装置，其包括自该激光输出激光束至光束，在该激光及该光束间的一点测量该激光束的强度并响应该强度输出一原始反馈信号。将该原始反馈信号与一激光校正因子及一光束校正因子相乘并输出做为一调整反馈信号。接着使用一控制器以响应该调整反馈信号而控制该激光强度。
参数激光光学反馈

[发明专利]碳化硅的激光切割方法-CN202211322469.8在审
发明人：张紫辰;侯煜;石海燕;文志东;张昆鹏;李曼;张喆 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅的激光切割方法，包括：在加工点位到达第一预定点位之前，在LCOS中逐个点位加载对应的相位图，使原始激光束分束形成的子激光束数量递增；其中，一个以上的子激光束线性排列，排列顺序为第一的子激光束为第一子激光束，排列顺序为第二以后的子激光束为第二激光束；所述第一子激光束聚焦于目标深度，以在对应点位的目标深度之上由下向上依次形成空洞区域和裂纹区域；一个以上的第二子激光束依次聚焦于已经加工完成的各点位裂纹区域，以使当前点位之前的各点位裂纹区域的裂纹延伸本发明提供的碳化硅的激光切割方法，能够实现单次激光扫描完成碳化硅的激光切割，能够有效的提高加工效率。
碳化硅激光切割方法

[发明专利]激光合束方法-CN201810279736.5有效
发明人：额尔德尼毕利格 -专利权人：深圳市星汉激光科技股份有限公司
申请日： 2018-04-01 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光合束方法，包括倍增步骤：对一个发光点提供的原始激光束进行倍增，并且生成散开的激光束；匀化步骤：对散开的所述激光束进行匀化，并且生成准平行光束；准直步骤：对所述准平行光束进行准直，并且生成平行光束；聚焦步骤：对多个发光点各自分别经过倍增、匀化、准直的所述平行光束进行合束，并且在慢轴方向上形成光斑。
激光方法

[发明专利]碳化硅激光切割方法-CN202211322430.6在审
发明人：张紫辰;侯煜;文志东;石海燕;张喆;张昆鹏;李曼 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化硅激光切割方法，所述方法包括：采用声光调制器或硅基空间光调制器对第一激光束进行选频形成第二激光束，采用第二激光束对当前加工路径中每个点位的目标深度进行扫描，以使每个点位的目标深度上方形成由下向上排列的空洞区域和裂纹区域；依据载物平台的移动速度、每个点位裂纹区域的尺寸以及单个裂纹区域加工所需要的激光束数量，确定第三激光束选频时所需的频率；采用声光调制器或硅基空间光调制器对第一激光束进行选频形成第三激光束，采用第三激光束对每个点位的裂纹区域进行扫描，以使每个裂纹区域被选频形成的多个第三激光束扫描。本发明能够采用同一个原始的第一激光束经过选频实现两个阶段的加工，并在单次扫描过程中，实现对每个裂纹区域的多次裂纹延伸。
碳化硅激光切割方法

[发明专利]一种丝网印刷版的制版装置及制版方法-CN201910615198.7有效
发明人：蔡志国;谢荣先 -专利权人：苏州微影激光技术有限公司
申请日： 2019-07-09 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B41C1/14 文献下载
摘要：该丝网印刷版的制版装置中上位机用于将预设丝网印刷版图形的图形数据的原始数据格式转换为数据处理板可识别的数据格式；数据处理板与上位机连接，数据处理板用于对接收到的图形数据进行数据处理；激光发射器用于发射激光束；激光准直仪和成像模块依次排列于激光束的传输路径上；激光准直仪用于对激光束进行整形；成像模块与数据处理板连接，成像模块用于根据处理后的图形数据对整形后的激光束进行调节，以使调节后的激光束在丝网印刷版原始基板上的成像为预设丝网印刷版图形
一种丝网印刷制版装置方法

[发明专利]用于在工作平面上生成限定的激光照射的设备-CN202180076987.3在审
发明人： C·蒂尔科恩;A·海梅斯 -专利权人：通快激光与系统工程有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：一种用于在工作平面(14)上生成限定的激光照射(12)的设备，该设备具有激光光源(20)，该激光光源生成原始激光束(22)。光学组件(24)接收原始激光束(22)并沿光轴(40)将该原始激光束整形成照射射束(26)。照射射束(26)限定与工作平面(14)相交的射束方向(28)。束变换器(30)在长轴上扩宽原始激光束(22)，以便生成经扩宽的原始激光束。第一组光学元件(56，60，62，64)包括均化器(56)，该均化器在长轴上对经扩宽的原始激光束进行均化。
用于工作平面生成限定激光照射设备

[发明专利]一种强光吸收光谱测试系统及方法-CN201911276817.0在审
发明人：李立旭;于虹;严军;胡黎明;李强;姜永亮;武春风;姜正;张慧媛;宋祥;雷敏 -专利权人：湖北航天技术研究院总体设计所
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：本发明公开了一种强光吸收光谱测试系统及方法，涉及光谱测试技术领域，该系统包括激光发生单元；吸收单元，其设置于激光发生单元的激光束射出方向，吸收单元用于提供激光束需要经过的测试用大气，并对大气参数进行调整；辅助测试单元，其包括两个分光测试组件，两个分光测试组件分别用于测量经过吸收单元前后的激光束的功率；衰减聚焦单元，其用于衰减经第二分光测试组件透射的激光束，并将衰减后的激光束进行聚焦；测量分析单元，其用于对聚焦后的激光束进行测量分析本发明，可在实验室环境下简单快速地模拟真实海洋大气环境状态的关键参数，并对大气参数进行调整，进而模拟激光装备的实际应用，以获取近原始试验数据。
一种强光吸收光谱测试系统方法

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