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[发明专利]用于联合改变材料、单元工艺和工艺顺序的方法和装置-CN200780012793.7无效
发明人：托尼·P·江;戴维·E·拉佐夫斯凯;库尔特·魏纳;格斯·平托;托马斯·布西埃;萨莎·格雷尔 -专利权人：分子间公司
申请日： 2007-02-12 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：提供一种利用材料、单元工艺、和工艺顺序的改变分析和优化半导体制造技术的方法。在该方法中，分析半导体制造工艺顺和构造的子集用于优化。在执行制造工艺顺序子集期间，改变用于创建某种结构的材料、单元工艺、和工艺顺序。在联合处理期间，在半导体衬底的离散区域之间改变材料、单元工艺或工艺顺序，其中在每一区域内，该工艺产生基本均匀或一致的结果，该结果代表商品半导体制造过程的结果。还提供一种用于优化工艺顺序的设备。
用于联合改变材料单元工艺顺序方法装置

[实用新型]一种用于特殊气体输送的钢瓶架-CN201921508178.1有效
发明人：甘万;杨欣;江福荣 -专利权人：上海盛韬半导体科技有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： F17C13/00 文献下载
摘要：一种用于特殊气体输送的钢瓶架，包括：架子和工艺气体供应单元，工艺气体供应单元与架子上部连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口阀、高压隔离阀、调压阀、高压端过滤器、低压端过滤器、高压出口隔离阀、低压出口隔离阀、管路和压力表。本实用新型与传统技术相比，通过增设新型的工艺气体供应单元结构，实现手动惰性气体的快速运输，操作方便，节约成本。
一种用于特殊气体输送钢瓶

[实用新型]一种异形电路板印制拼版-CN202022920491.5有效
发明人：吴民 -专利权人：杭州天锋电子有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：它包括方形工艺条和若干单元板，圆形单元板在工艺条的内侧均匀排列分布，每一行上相邻的两个单元板之间固定连接，每一列上相邻的两个单元板之间固定连接，每一行行首的单元板和每一行行尾的单元板均与工艺条固定连接，每一列列首的单元板和每一列列尾的单元板均与工艺条固定连接。本实用新型的有益效果是：圆形单元板在工艺条内侧均匀排列分布，设置筋板，筋板与单元板连接处设置若干通孔，通孔直径小且紧密而且每行及每列上的相邻单元板之间距离足够，保证单元板能从有通孔的连接处断开分离，达到了针对圆形电路板排版的效果
一种异形电路板印制拼版

[发明专利]一种贴料机及其贴料方法-CN201811406947.7有效
发明人：彭育文 -专利权人：深圳市鑫格美科技有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B65C9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种贴料机及其贴料方法，贴料机包括送件单元、脱料单元、贴料单元、检测单元和控制单元，送件单元将待贴料工件输送至贴辅料工位，贴料单元从脱料单元上依次吸取辅料，并完成对待贴料工件上所有的待贴料区域的贴辅料工作；检测单元用于检测送件单元、脱料单元、贴料单元的运行状态并向控制单元发送送件贴料脱料工艺控制信号；控制单元接收检测单元发送的送件贴料脱料工艺控制信号和人为设定控制参数，完成对待贴料工件的送件、贴料以及离型纸脱料的工艺过程控制；此贴料机及其贴料方法，实现单台贴料机对待贴料工件上所有的待贴料区域依次贴料，提高贴料精度，简化贴料工艺流程，方便操作者控制，解决贴料单元闲置、资源浪费的问题。
一种贴料机及其方法

[发明专利]板坯连铸二次冷却及动态轻压下离线仿真系统-CN200610117522.5有效
发明人：江中块;朱苗勇;郭振和;祭程;汪洪峰;赵琦 -专利权人：上海梅山钢铁股份有限公司;东北大学
申请日： 2006-10-25 - 公布日： 2008-04-30 - 主分类号： G05B17/02 文献下载
摘要：仿真系统的计算机内包含有：模拟器内核单元，实现主要浇注条件过程参数的模拟仿真；工艺模型参数设定单元，用于对模型中的工艺及控制参数进行设定；模型计算内核单元，结合模拟浇注条件参数进行工艺模型计算；监控显示单元，主要完成对仿真结果的界面显示；模拟器内核单元和模型计算内核单元通过共享内存实现过程参数数据的交互，模型计算内核单元和监控显示单元通过Ethernet局域网络交互仿真结果数据，模型计算内核单元和工艺模型参数设定单元通过模型参数数据库实现工艺模型参数的交互
板坯连铸二次冷却动态压下离线仿真系统

[实用新型]一种新型电镀生产线-CN201820438780.1有效
发明人：沈新宇 -专利权人：苏州钜峰华冠环保科技有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C25D19/00 文献下载
摘要：本实用新型的技术方案是：一种新型电镀生产线，包括依次连接的半亮镍工艺模块、第一转移单元、第二转移单元、第三转移单元以及干燥模块，所述第一转移单元与第二转移单元之间并排设置有高硫镍工艺模块以及珍珠镍工艺模块，所述第二转移单元与第三转移单元之间并排设置有装饰铬工艺模块以及三价铬工艺模块，所述第一转移单元、第二转移单元以及第三转移单元均包括移动车以及喷淋水洗装置。
转移单元工艺模块本实用新型电镀生产线并排设置喷淋水洗装置厂房空间干燥模块交叉污染依次连接电镀液高硫镍三价铬移动车珍珠镍装饰铬精益亮镍压缩生产

[实用新型]一种用于甲醇制丙烯工艺的油-水-气分离系统-CN201820539581.X有效
发明人：焦洪桥;郭中山;王峰;魏旭礼 -专利权人：国家能源投资集团有限责任公司;神华宁夏煤业集团有限责任公司
申请日： 2018-04-16 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： C07C1/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于甲醇制丙烯工艺的油‑水‑气分离系统，所述油‑水‑气分离系统，包括烃‑水分离单元、油‑气分离单元、工艺蒸汽生产单元和甲醇回收单元；烃‑水分离单元用于对含MTP反应产物和稀释蒸汽的物流进行分离；油‑气分离单元用于对烃‑水分离单元分离所得的气态烃和重烃组分中所夹带的水进行分离；工艺蒸汽生产单元用于对至少部分所述分离了重烃组分的冷凝水进行抽提，还用于将抽提了烃类组分的水进行处理以获得分离了含盐类液滴的工艺蒸汽；甲醇回收单元用于对烃‑水分离单元分离所得的至少部分分离了重烃组分的冷凝水进行处理。本实用新型的分离系统，可将MTP反应产物与反应水和工艺蒸汽更完全的分离，保证装置的长周期平稳运行。
水分离单元分离系统工艺蒸汽重烃甲醇回收单元本实用新型分离单元生产单元丙烯冷凝水抽提甲醇保证装置平稳运行长周期反应水气态烃夹带烃类物流稀释液滴蒸汽

[实用新型]一种抢电印制电路板-CN201120393049.X有效
发明人：叶洪发 -专利权人：深圳市兴达线路板有限公司
申请日： 2011-10-14 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抢电印制电路板，包括双面金属单元和工艺边，双面金属单元上设有铜皮和通孔，工艺边设于双面金属单元四周，铜皮为网格状铜皮，工艺边设有铜点，结构简单，利用单元内网格状铜皮保护板内线路和孔径，并且在单元四周的工艺边添加铜点，这样可分散板内电流，使得电流分部均匀，可分散在电镀过程中的形成的中间高电流、四周低电流现象，节约生产成本。
一种印制电路板

[实用新型]一种渗透率测试平台-CN202223026741.6有效
发明人：王哲;陈志平;孙杰;岳伟 -专利权人：长三角先进材料研究院
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种渗透率测试平台，包括模具、测试溶液、真空单元、注胶单元、荧光信息采集单元、真空密封单元和控制单元，模具内内放置待测纤维织物，模具通过注胶口连接注胶单元注入添加荧光剂的测试溶液，通过抽气口连接真空单元，利用荧光信息采集单元获得测试溶液流经相应观察口的时间；本申请针对不同的成型工艺设计了不同的真空密封单元，因此本测试平台可以同时适用于VARI成型工艺和RTM成型工艺关于纤维渗透率，压实特性的检测。
一种渗透测试平台

[发明专利]涂胶显影设备和方法-CN202310681480.1在审
发明人：张建;程虎;陈兴隆 -专利权人：上海芯源微企业发展有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供一种涂胶显影设备和方法，该设备包括片盒模块、层间工艺模块、层内工艺模块和穿墙单元组；片盒模块和层内工艺模块分别设于层间工艺模块的两侧；片盒模块用于装载和传输晶圆传送盒，晶圆传送盒用于装载晶圆；层间工艺模块内设有层间机械手组，层间机械手组用于在层间工艺模块内传输晶圆；层内工艺模块内设有L层工艺层；每层工艺层均包括层内机械手和层内工艺组，层内机械手用于在工艺层内传输晶圆；穿墙单元组设于层内工艺模块和层间工艺模块之间；L个穿墙单元组与L层工艺层一一对应设置；每个穿墙单元组用于将晶圆从层间工艺模块传输向工艺层，或/和将晶圆从工艺层传输向层间工艺模块。
涂胶显影设备方法

[发明专利]一种甲醇脱水制取二甲醚工艺废水的处理方法-CN200710121191.7有效
发明人：李本高;秦冰 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油化工科学研究院
申请日： 2007-08-31 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： C02F9/14 文献下载
摘要：本发明提供的甲醇脱水制取二甲醚工艺废水处理方法，至少包括以下三个工艺单元：第一工艺单元，把工艺废水通过蒸发过程分成富含有机物和贫含有机物的两股水流；第二工艺单元，对富含有机物的水流进行膜分离，对浓缩液中的有机物回收，水相回用；第三工艺单元，对贫含有机物的废水进行生化处理，使水质达到回用循环水的要求；按照本发明提供的方法，还可以包括第四工艺单元，即采用水质稳定技术对回用循环水进行处理，使其满足生产装置对循环水处理效果的要求本发明提供的方法使处理后的废水全部回用，废水中的有机物得到回收，实现工艺废水及废水中有机物的资源化利用。
一种甲醇脱水制取甲醚工艺废水处理方法

[实用新型]一种用于特殊气体超高流量输送的设备-CN202120268808.3有效
发明人：甘万;杨欣;江福荣 -专利权人：上海盛韬半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：一种用于特殊气体超高流量输送的设备，包括：主柜体、工艺气体供应单元、吹扫单元、排放单元、深度吹扫箱、控制显示操作单元和报警单元，工艺气体供应单元、吹扫单元和排放单元设置于主柜体内部，深度吹扫箱和控制显示操作单元与主柜体外部连接，报警单元与主柜体连接。其中，工艺气体供应单元包括：入口隔离阀、缓冲套管、支路隔离阀、支路气动隔离阀、加热模块、过流量开关、调压阀、过滤器、第一气动隔离阀、手动隔离阀、出口隔离阀和第一压力传感器。本实用新型与传统技术相比，通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。
一种用于特殊气体超高流量输送设备

[发明专利]工艺设备及其工作方法-CN201711227760.6在审
发明人：王大为;吴孝哲;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种工艺设备及其工作方法，工艺设备包括：传送腔，所述传送腔的侧壁中具有若干第一阀门；位于传送腔周围的若干工艺腔组，各工艺腔组分别包括一个或多个工艺腔，各工艺腔的侧壁中分别具有第二阀门，不同工艺腔组中第二阀门的中心具有高度差，当工艺腔组包括多个工艺腔时，同一工艺腔组中第二阀门的中心的高度相同，第二阀门分别和第一阀门相对设置；位于传送腔中的传送臂组；传送臂组包括若干传送臂单元，各传送臂单元沿着垂直于旋转工作平面的方向上排布，所述旋转工作平面垂直于工艺腔侧壁，传送臂单元的数量和工艺腔组的数量相同，每个传送臂单元通过相对设置的第一阀门和第二阀门对工艺腔取放晶圆。所述工艺设备的工作效率提高。
工艺设备及其工作方法

[实用新型]气体分析系统-CN202223450171.3有效
发明人：孙琦 -专利权人：中碳实测（北京）科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：气体分析系统包括取样点工艺检测单元、第一过滤装置、取样单元、第一样品预处理单元、第二样品预处理单元、第一流量检测结构、分析单元、记录单元和控制单元；取样点工艺检测单元对工艺管道内气体进行检测；第一过滤装置对进入取样管的气体进行过滤；第一除水装置与取样管连通；第一输送管分别与第一除水装置和分析单元连接，沿第一输送管内气流方向，第二除水装置、第二过滤装置和第一流量检测结构依次设置；记录单元与取样点工艺检测单元、取样单元、第一样品预处理单元、第二样品预处理单元、第一流量检测结构和分析单元六个中的至少一个连接。
气体分析系统

[发明专利]一种半导体工艺设备、压力调控方法和装置-CN202211039829.3在审
发明人：张鹏飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种半导体工艺设备、压力调控方法和装置，半导体工艺设备包括多个工艺模块，工艺模块内设置有压力控制装置，压力调控装置包括风机过滤单元、排气装置和控制器；风机过滤单元，调节进入工艺模块内部的气体流量；排气装置，调节从工艺模块内部排出的气体流量；控制器，获取工艺模块的内外压差；根据内外压差控制风机过滤单元调节进入工艺模块内部的气体流量和/或控制排气装置调节从工艺模块内部排出的气体流量。通过实时监测机台内外压差，当机台内外压差变化时，可以在控制系统判定后，向风机过滤单元与排气装置发送指令，自动反馈调节，避免了人为参与引起的误差，保证了机台内部微环境的稳定。
一种半导体工艺设备压力调控方法装置