专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置-CN201510018900.3在审
  • 杉山光德;井上正文 - 株式会社荏原制作所
  • 2015-01-14 - 2015-07-15 - H01L21/67
  • 本发明提供一种使基板处理装置的异常的检测精度提高的基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置。异常检测装置(520)包括数据收集部(522),数据收集部(522)收集由设于CMP装置的传感器(270-1~270-a、370-1~370-b、470-1~470-c)所检测的数据。此外,异常检测装置(520)包括判定部(524),判定部(524)从储存有规定关于CMP装置的基板处理工序或方法的选单数据的选单存储部(512)读取选单数据,比较读取的选单数据与由数据收集部(522)所收集的数据,存在差异的情况下,判定为CMP装置有异常。
  • 处理装置异常检测

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