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- [发明专利]一种水基微电子剥离清洗组合剂-CN201810771473.X有效
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郑长勇;吴东升;陈杰
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安徽建筑大学
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2018-07-13
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2021-07-13
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H01L21/02
- 本发明公开一种水基微电子剥离清洗组合剂,包括去离子水、杜邦EKC剥离液、亚仕兰ACT940剥离液、STRIPPER N311剥离液、安集idealclean960清洗液、过氧化氢、过硫酸钠、极性溶剂、腐蚀抑制剂,该组合剂各组分的重量份数为:去离子水75‑85重量份、杜邦EKC剥离液8‑12份、亚仕兰ACT940剥离液6‑10重量份、STRIPPER N311剥离液2‑6重量份、安集idealclean960清洗液3‑6重量份、过氧化氢5‑9重量份、过硫酸钠4‑7重量份、极性溶剂5‑10重量份、腐蚀抑制剂2‑5重量份。本发明具有操作温度低,有效剥离,不会对基底造成腐蚀,可用水直接漂洗,安全环保,降低清洗成本的特点。
- 一种微电子剥离清洗组合
- [发明专利]抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法-CN201710610215.9有效
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向喜广
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长濑化成株式会社
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2017-07-25
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2019-07-09
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G03F7/42
- 本发明的课题在于提供一种抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法,所述抗蚀剂剥离液为用于将抗蚀剂从具备金属配线和/或金属氧化物膜的基材剥离的抗蚀剂剥离液,该抗蚀剂剥离液的剥离性优异,所剥离的抗蚀剂的再附着量少,消泡性也优异一种抗蚀剂剥离液,其特征在于,其含有(A)胺、(B)有机溶剂和(C)重均分子量为5000~1000000的磺酸或羧酸或者它们的盐,(C)成分的含量为5.0重量%以下,不含有(D)水,或者含有(D)水且(D)成分的含量为60重量%以下。
- 抗蚀剂剥离方法
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