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- [发明专利]成膜方法-CN201310713574.9有效
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小川淳
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东京毅力科创株式会社
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2013-12-20
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2014-06-25
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C23C16/458
- 该成膜方法所使用的成膜装置包括:旋转台;第1处理区域;第2处理区域;以及分离区域。该成膜方法包括以下工序:第1工序:在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第2气体供给部供给氧化气体的状态下,使旋转台旋转至少一周;第2工序:在自第1气体供给部供给含有规定的元素的反应气体、自第2气体供给部供给氧化气体、自分离气体供给部供给分离气体的状态下,使旋转台旋转规定周数,从而在基板上形成含有规定的元素的氧化膜;第3工序:在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第2气体供给部供给氧化气体的状态下,使旋转台旋转至少一周。
- 方法
- [实用新型]一种污水处理设备-CN201921309127.6有效
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钟建华;张文英
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广东上智环保科技有限公司
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2019-08-13
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2020-07-03
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C02F9/06
- 一种污水处理设备,包括分离装置、电解反应装置、微米过滤器和超级过滤器;分离装置用于将污水中的油和不溶于污水中的杂质从污水中分离出来;电解反应装置用于对经过分离处理的污水进行电解处理;微米过滤器用于对电解后的污水进行过滤;超级过滤器用于为利用氧化剂对经过过滤后的污水进行再次氧化提供氧化空间,并对经过再次氧化的污水进行过滤。本实用新型利用电解污水制得的系列强氧化基团,再利用氧化剂对污水中的还原性物质进行持续降解,直至其符合排放标准,从而实现对污水中杂质高效降解,整个过程污泥产生量较小。
- 一种污水处理设备
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