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[发明专利]晶圆冷却器、晶圆冷却方法及晶圆冷却装置-CN202211225445.0在审
发明人：鄢林升 -专利权人：杭州富芯半导体有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆冷却器、晶圆冷却方法及晶圆冷却装置，其用于冷却晶圆，包括：腔体、抽气装置和冷却媒介输入装置。腔体用于存放晶圆。抽气装置和腔体连通，其中，腔体包括封闭状态，抽气装置用于将处于封闭状态的腔体抽成真空腔。冷却媒介输入装置和腔体连通，冷却媒介输入装置用于输入冷却媒介到真空腔中以冷却晶圆。本申请解决了在冷却晶圆及清除晶圆上的腐蚀性气体时，现有晶圆冷却器存在微尘容易进入造成晶圆缺陷的问题。
冷却器冷却方法装置

[实用新型]一种具有外置开放式冷却结构的电机壳体及水冷电机-CN202221306104.1有效
发明人：王浩 -专利权人：德能电驱技术（苏州）有限公司
申请日： 2022-05-28 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H02K5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有外置开放式冷却结构的电机壳体以及水冷电机，包括电机壳体和开放式冷却腔体，所述电机壳体的外壁的四面上均设有开放式冷却腔体，所述电机壳体外壁四面上的开放式冷却腔体连通，所述开放式冷却腔体为敞开的开口结构，并且开放式冷却腔体的开口位置处罩设有密封盖，所述密封盖罩设的开放式冷却腔体内充有冷却水。本实用新型的具有外置开放式冷却结构的电机壳体，不增加电机冷却流体流量、不改变电机冷却壳体、不影响电机压损等情况下，使得电机壳体依然具有冷却效果，并且增强电机冷却性能、降低电机温升，通过打开密封盖，使得开放式冷却腔体为外漏的结构，方便对开放式冷却腔体内部进行清理，保持冷却效果。
一种具有外置开放式冷却结构电机壳体水冷

[发明专利]一种冷凝模具系统-CN201611092849.1在审
发明人：吴佩芳;党一纵 -专利权人：北京天宜上佳新材料股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本发明提供的冷凝模具系统，包括设置在所述真空室内的中空冷却腔体，所述冷却腔体内用于放置冷却介质。通过本发明提供的冷凝模具系统，将冷却介质放置在中空冷却腔体中，通过中空冷却腔体，冷却介质不会与真空环境相接触，有效避免了超低温冷却介质。如液氮、液氦等在真空环境下发生升华，导致真空室超压导致炸裂容易造成冷却腔体炸裂，冷却介质汽化外泄等危险情况发生。
一种冷凝模具系统

[实用新型]一种冷凝模具系统-CN201621314024.5有效
发明人：吴佩芳;党一纵 -专利权人：北京天宜上佳新材料股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本实用新型提供的冷凝模具系统，包括设置在所述真空室内的中空冷却腔体，所述冷却腔体内用于放置冷却介质。通过本实用新型提供的冷凝模具系统，将冷却介质放置在中空冷却腔体中，通过中空冷却腔体，冷却介质不会与真空环境相接触，有效避免了超低温冷却介质。如液氮、液氦等在真空环境下发生升华，导致真空室超压导致炸裂容易造成冷却腔体炸裂，冷却介质汽化外泄等危险情况发生。
一种冷凝模具系统

[实用新型]一种冷凝气态冷媒的装置-CN201020544399.7有效
发明人：杨忠源 -专利权人：上海富田空调冷冻设备有限公司
申请日： 2010-09-27 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： F25B39/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种冷凝气态冷媒的装置，包括冷却液管道、冷却腔体、冷却液出口、冷却液入口、气态冷媒入口、液态冷媒出口，所述的冷却液管道设置冷却腔体内，该冷凝器还包括挡板和隔板，所述的挡板横向设置在冷却腔体内，将腔体分隔成上、下两个腔体，所述的第一腔体内间隔设置有多个隔板，该隔板间隔连接在上腔体的内壁的上下，交错排列，所述的冷却液管道贯通两个腔体，并与第一腔体内的隔板连接。
一种冷凝气态冷媒装置

[实用新型]基于冷却液循环的腔体零件清洁装置-CN201720073825.5有效
发明人：陈来富 -专利权人：富曜精密组件（昆山）有限公司
申请日： 2017-01-21 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，包括冷却液循环系统和密封板，通过若干密封板密封腔体零件的腔体并且只留有供冷却液通过的进口孔和出口孔，冷却液循环系统的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的腔体构成冷却液循环路径的一部分,冷却液循环系统中设有过滤装置。本实用新型利用经过过滤的冷却液流经腔体,从而避免加工中产生的各种杂质颗粒等进入腔体零件的腔体，进而降低颗粒污染的风险。
基于冷却液循环零件清洁装置

[实用新型]一种新型仪器离子源降温冷却结构-CN202222496641.3有效
发明人：付鸿艺;杨占国;李勇;徐青春 -专利权人：北京三维博艺机械制造有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本申请涉及机械物理的领域，公开了一种新型仪器离子源降温冷却结构，其包括离子源，其特征在于：在所述离子源周围设置有冷却体，在所述冷却腔体内开设有截面呈蛇形的冷却腔体；所述冷却腔体沿所述离子源的周向开设。本申请具有有效改善呈环形的冷却腔体内的水易积蓄在腔体内部，导致腔体内冷水流速较慢，冷却效果不佳的问题的效果。
一种新型仪器离子源降温冷却结构

[实用新型]一种凝点、倾点测定仪-CN202020771294.9有效
发明人：邓小兵;邓世阳 -专利权人：长沙思辰仪器科技有限公司
申请日： 2020-05-11 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： G01N25/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种凝点、倾点测定仪，包括冷却腔体、套管、试管、驱动装置以及制冷装置，冷却腔体可转动设置，套管密封连接于冷却腔体的上端，套管底端延伸于所述冷却腔体内，顶端开口设置，试管设置于所述套管内并能够从所述套管的顶端取出，驱动装置用于控制所述冷却腔体转动，而使所述试管处于竖直状态或者倾斜状态，制冷装置用于为所述冷却腔体制冷。根据本实用新型实施例的凝点、倾点测定仪，不仅测定过程更加简单和方便，而且试管不容易损坏，此外冷却腔体的冷却效果好。
一种测定

[实用新型]一种用于冷却腔体内表面的冷却装置-CN201621095075.3有效
发明人：敬清海;黄伟;程宏伟;童聪 -专利权人：成都建筑材料工业设计研究院有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： F25D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于冷却腔体内表面的冷却装置，可广泛应用于建材、化工、电器等行业，在腔体内设置至少一个冷却孔板，冷却孔板边沿与腔体内表面连接，冷却孔板边沿开设有若干贴合腔体的内表面的通气孔。本实用新型为解决传统冷却方法中，采用百叶窗式的散热片其造价高；采用列管式换热方法其结构复杂且冷却效率低的缺陷，本实用新型提出一种可以有效冷却腔体，特别是密闭腔体内表面的冷却孔板装置。该装置能够对腔体内表面以及腔体内部进行有效冷却和降温，同时具有结构简单，成本较低和实施方便等优点。
一种用于冷却体内表面装置

[实用新型]一种新型栅板式物料冷却机-CN202123446748.9有效
发明人：褚洪俊;王国栋;黄永娜;吕勇;宋宇;赵树超;程杰 -专利权人：山东凯斯达机械制造有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种新型栅板式物料冷却机，属于粮油加工技术领域，包括冷却机腔体、传动装置、高压压缩空气反冲装置和进风口；所述冷却机腔体分为上下两个腔体，上下两个腔体通过栅板将其隔开；所述传动装置设置于所述冷却机腔体的内部并输送物料，所述高压压缩空气反冲装置设置于所述冷却机腔体的一侧并将所述栅板缝隙间的杂料清除；所述进风口设置于所述冷却机腔体的上并连接鼓风机保持冷却机腔体的微负压状态；本实用新型处理量较传统的物料冷却设备处理量大幅度提升，解决了产量低、冷却速度不匀、冷却效果差的问题。
一种新型板式物料冷却

[发明专利]全自动化5G滤波器腔体生产装置-CN202111667518.7有效
发明人：苏英;虞福平;朱萍 -专利权人：苏州宝罗机械工程有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01P11/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种全自动化5G滤波器腔体生产装置，属于滤波器腔体加工技术领域，其包括冷却箱，所述冷却箱内设有可上下运动的冷却模，所述冷却模内呈中空设置，所述冷却模内设有制冷剂，所述冷却模用于在对腔体进行降温时插入腔体内与腔体的内表面贴合本申请有助于提高腔体的生产效率。
自动化滤波器生产装置

[实用新型]液冷式散热装置-CN201520054636.4有效
发明人：张弘;陈敏郎;郑学隆 -专利权人：恩斯迈电子(深圳)有限公司
申请日： 2015-01-26 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：一种液冷式散热装置，包含热交换模块及冷却模块；热交换模块具有进液口及出液口；冷却模块包含第一腔体、第二腔体、第一散热结构以及冷却导管；第一腔体连接出液口；第二腔体连接进液口，且第一腔体设置于第二腔体之上；第一散热结构设置于第一腔体及第二腔体之间；冷却导管连接第一腔体及第二腔体，且冷却导管热接触第一散热结构。
液冷式散热装置

[实用新型]一种生产塑料助剂用冷却设备-CN201920322692.X有效
发明人：张国发;桂鹏;代灵峰;代丽雯 -专利权人：合肥琦鸿高分子材料有限公司
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生产塑料助剂用冷却设备，属于塑料助剂冷却技术领域。包括物料腔体以及设置在物料腔体外部的冷却腔体，所述物料腔体与冷却腔体之间固定连接，所述物料腔体内壁上设置有内冷却管，所述物料腔体外壁上设置有外冷却管，所述内冷却管与外冷却管均呈螺旋状设置，所述内冷却管上设置散热管，且散热管与内冷却管相互连通，所述散热管上设置有搅拌叶片，所述内冷却管与所述外冷却管一端通过进液口连接，另一端通过出液口连接，所述出液口通过导管连接抽液泵，且抽液泵一端通过导管与进液口连接，所述冷却腔体侧壁上设置有散热机构，且散热机构环设于冷却腔体侧壁上。
内冷却管冷却腔体物料腔体外冷却管散热管本实用新型散热机构抽液泵进液口侧壁出液口通过导管呈螺旋状搅拌叶片冷却技术冷却设备生产塑料塑料助剂出液口物料腔导管环设外壁连通体内外部

[实用新型]一种晶圆冷却腔-CN201420340679.4有效
发明人：吴新江;曹涯路;桂鹏 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆冷却腔，所述晶圆冷却腔体结构至少包括：腔体，所述腔体包括上腔体及下腔体，所述上腔体设置有多个用于晶圆冷却的冷却盘，所述下腔体设置有多个放置盘状工作件的支架，所述上腔体与下腔体之间通过阻挡板隔断本实用新型的晶圆冷却腔设计有多个晶圆冷却盘，能同时对多片晶圆进行冷却处理，提高了HDP制程的产能。
一种冷却

[实用新型]一种防水卷材生产线用的封闭式冷却辊-CN201822153013.9有效
发明人：徐伟;闵建彬;朱朝旻;张军;肖成龙;李卫南 -专利权人：中国建筑材料科学研究总院苏州防水研究院
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： B29C35/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防水卷材生产线用的封闭式冷却辊，其包括辊本体、辊轴，辊本体与辊轴固定设置，其中辊本体包括形成有夹层的内、外筒体，内、外筒体之间形成两端封闭的冷却腔体，该冷却腔体包括位于两端部的第一腔体和第二腔体、以及沿着内筒体和外筒体长度方向延伸的第三腔体，其中第一、二、三腔体相连通设置，冷却介质自第一腔体进入、自第二腔体排出，冷却辊还包括设置在第三腔体内用于将第一腔体内冷却介质导向第二腔体的导流组件。本实用新型通过夹套式内外筒结构并加入螺旋导流板的设计，提高冷却水的流动性来提高其冷却效果，进而将刚成型的高温改性沥青防水卷材进行快速冷却，以达到产品的工艺性能要求。
第二腔体辊本体外筒体防水卷材生产线本实用新型封闭式冷却第一腔体冷却介质冷却腔体辊轴体内长度方向延伸沥青防水卷材螺旋导流板内外筒结构导流组件高温改性固定设置快速冷却冷却效果两端封闭性能要求夹套式冷却辊冷却水两端部内筒体三腔体夹层排出腔体成型