专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果6371810个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]用于制造隔膜组件的方法-CN202310632992.9在审
  • J·H·克洛特韦克;W·T·A·J·范登艾登 - ASML荷兰有限公司
  • 2016-07-04 - 2023-09-29 - G03F1/62
  • 一种制造用于EUV光刻术的隔膜组件的方法,所述方法包括:提供包括平坦衬底和至少一个隔膜层的叠层,其中所述平坦衬底包括内部区域和围绕所述内部区域的边界区域;以及选择性地移除所述平坦衬底的所述内部区域。所述隔膜组件包括:由所述至少一个隔膜层形成的隔膜;和保持所述隔膜的边界,所述边界由所述平坦衬底的所述边界区域形成。所述叠层设置有机械保护材料,所述机械保护材料被配置成在选择性地移除所述平坦衬底的所述内部区域的步骤期间以机械的方式保护所述边界区域
  • 用于制造隔膜组件方法
  • [实用新型]工程车辆-CN202020692410.8有效
  • A·奥伊尔;H·德里尤斯;M·埃德曼 - 约瑟夫福格勒公司
  • 2020-04-29 - 2021-06-29 - E01C19/48
  • 工程车辆(1)包括工程车辆(1)的内部网络区域(21)和工程车辆(1)的外部网络区域(41),内部网络区域(21)包括用于控制工程车辆(1)的操作的计算单元(19),外部网络区域(41)与内部网络区域(防火墙(53)被配置为监视从工程车辆(1)的外部网络区域(41)到工程车辆(1)的内部网络区域(21)的数据通信,其中,防火墙(53)具有其自身的处理器(55)和操作系统。
  • 工程车辆
  • [发明专利]用于制造隔膜组件的方法-CN201680042163.3在审
  • J·H·克洛特韦克;W·T·A·J·范登艾登 - ASML荷兰有限公司
  • 2016-07-04 - 2018-03-27 - G03F1/62
  • 一种制造用于EUV光刻术的隔膜组件的方法,所述方法包括提供包括平坦衬底和至少一个隔膜层的叠层,其中所述平坦衬底包括内部区域和围绕所述内部区域的边界区域;以及选择性地移除所述平坦衬底的所述内部区域。所述隔膜组件包括由所述至少一个隔膜层形成的隔膜;和保持所述隔膜的边界,所述边界由所述平坦衬底的所述边界区域形成。所述叠层设置有机械保护材料,所述机械保护材料被配置成在选择性地移除所述平坦衬底的所述内部区域的步骤期间以机械的方式保护所述边界区域
  • 用于制造隔膜组件方法
  • [发明专利]监测光发射-CN201980070983.7在审
  • D·J·W·布朗;R·J·拉法克;陶业争;I·V·福门科夫;J·T·斯特瓦特四世 - ASML荷兰有限公司
  • 2019-10-24 - 2021-06-08 - H05G2/00
  • 提供一种系统,该系统包括具有内部区域的真空腔室,该内部区域被配置为接收目标和光束。目标材料当处于等离子体状态时,发出极紫外(EUV)光。该系统还包括检测系统,该检测系统被配置为通过检测来自内部区域中的原子、离子或分子的光发射并且产生内部区域中的光发射的空间分布的表示来对内部区域进行成像。控制系统耦合到检测系统。控制系统被配置为分析空间分布的表示,以确定来自内部区域中的原子、离子或分子的光发射的空间分布,并且基于光发射的空间分布来确定是否调整光束的特性和/或真空腔室的特性。
  • 监测发射

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top