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[发明专利]一种阵列波导光栅解调集成微系统-CN201310138646.1无效
发明人：李鸿强;董夏叶;白曜亭;李洋;刘宇;周文骞 -专利权人：天津工业大学
申请日： 2013-04-22 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列波导光栅解调集成微系统，包括C波段片上LED光源，2×2光波导耦合器，光纤布拉格光栅阵列，1×8阵列波导光栅，光电探测器阵列，该系统利用电子束曝光和反应耦合等离子工艺，在SOI晶片上制作耦合器和阵列波导光栅，将InP材料制作的LED光源发出的光通过光栅耦合至耦合器波导1，再经耦合器波导2进入光纤布拉格光栅阵列，光纤布拉格光栅阵列反射光再经耦合器波导3进入阵列波导光栅，阵列波导光栅输出波导的光也是通过光栅耦合至其上方的InGaAs光电探测器阵列。本发明公开的阵列波导光栅解调集成微系统具有结构紧凑、器件一体化、成本较低、解调精度高、速度快、提高光路稳定性和可靠性等优点。
一种阵列波导光栅解调集成系统

[发明专利]耦合器及全息波导显示器的光栅布局方法-CN202210909110.4在审
发明人：孔令胜;严树峰;郭俊达;吕宝林 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：本发明提供一种耦合器及全息波导显示器的光栅布局方法，其中耦合器包括耦入光栅、转折光栅和耦出光栅，所述耦入光栅的光栅矢量、所述转折光栅的光栅矢量和所述耦出光栅的光栅矢量依次首尾连接形成等边三角形，采用本方案的耦合器能够缩短全息光栅的生产周期，提高全息光栅生产过程中的良产率。
耦合器全息波导显示器光栅布局方法

[发明专利]一种光栅型广角耦合器-CN202110365873.2有效
发明人：何赛灵;胡治朋 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅型广角耦合器，从底层到顶层依次包括衬底层、绝缘层、波导层，其中波导层设有光栅耦合区，所述的光栅耦合区为刻深相同、宽度随机非均匀的光栅线条结构；所述光栅线条结构的优化步骤如下：１）将光栅耦合区划分为一串等高等宽的独立小方块；２）随机产生若干组初始光栅耦合器；３）计算初始光栅耦合器在空气中形成的远场场强分布；４）计算目标函数FOM；５）FOM符合要求或优化次数已到则结束；否则选取较优的解产生新的光栅耦合器，及若干组随机初始光栅耦合器进入步骤本发明具有对耦合角度不敏感的特性，可将不同传播角度的空间光信号直接耦合进平面光波导或光纤中，所优化出的结构，简单易制备。
一种光栅广角耦合器

[发明专利]自由空间光与光子芯片光栅耦合方法-CN202111090253.9在审
发明人：韩春蕊;刘思远;王宇;亓岩;周维虎;范元媛;陈卓;曲壮壮;路建明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本公开提供一种自由空间光与光子芯片光栅耦合方法，包括：将至少一个光栅耦合器设置于超透镜的焦距处；通过所述超透镜将自由空间光经汇聚到所述光栅耦合器的收光口；以及通过所述光栅耦合器将与其收光角度、方向和偏振匹配的光耦合进波导上述方法能够有效解决现有技术中自由空间光与波导的耦合受能量分散、角度失配、模场失配、光栅耦合器模斑尺寸小等影响，被芯片的耦合器件采集到的自由空间光功率非常低等技术问题。
自由空间光子芯片光栅耦合方法

[发明专利]形成于光集成电路芯片上的光器件-CN202211481192.3在审
发明人：杉山昌树 -专利权人：富士通光器件株式会社
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：该光器件包括：光电路、第一光栅耦合器、第二光栅耦合器、第一1×2耦合器和第二1×2耦合器。第一1×2耦合器配备有在单端口端处设置的第一光端口以及在双端口端处设置的第二光端口和第三光端口。第二1×2耦合器配备有在单端口端处设置的第四光端口和在双端口端处设置的第五光端口和第六光端口。第一光栅耦合器耦合到第一光端口。第二光端口耦合到光电路。第三光端口耦合到第四光端口。第五光端口耦合到第二光栅耦合器。
形成集成电路芯片器件

[发明专利]光子芯片光收发信机-CN201611271689.7在审
发明人：利芬·维尔斯莱格斯;浦田良平;刘红 -专利权人：谷歌公司
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：光栅耦合器可以用于将从光纤或激光器入射的光与光子芯片上的光组件耦合。光栅耦合器可以设计成具有宽带宽以支持诸如波分复用(WDM)的应用。宽带宽可以通过减小入射在光栅耦合器上的光束的模场直径(MFD)并且选择光耦合器的波束大小基本上等于MFD来实现。通过使用薄硅层来制造光栅耦合器的脊，可以进一步提高带宽。具有相对大的波束大小的光栅耦合器可以用于将激光器输出的光耦合到芯片上的光组件。
光子芯片收发

[发明专利]一种集成光滤波器-CN202310055583.7在审
发明人：刘维卓;付鑫;杨林 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本公开提供了一种集成光滤波器，包括：输入光波导，与滤波单元中的集成光栅辅助反向耦合器的微环光滤波器的输入弯曲光栅辅助反向耦合器的第一端口相连，用于输入待处理的光信号；滤波单元，包括集成光栅辅助反向耦合器的微环光滤波器和反向耦合器，用于对光信号进行滤波，其中微环光滤波器的输入弯曲光栅辅助反向耦合器的第二端口与第一中间光波导相连；微环光滤波器的输出弯曲光栅辅助反向耦合器的第四端口通过波导交叉和第一中间光波导相连；微环光滤波器的输出弯曲光栅辅助反向耦合器的第三端口通过第二中间光波导与反向耦合器的直输入周期性波纹波导相连
一种集成滤波器

[发明专利]一种光栅耦合器-CN201710084329.4有效
发明人：张彦峰;许鹏飞;陈钰杰;余思远 -专利权人：中山大学
申请日： 2017-02-16 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G02B6/124 文献下载
摘要：本发明涉及一种光栅耦合器及其制备方法，该光栅耦合器，包括：从下往上依次为带绝缘层和光栅层的晶片、氧化层和波导层；其中光栅层的折射率大于光波导层材料的折射率；所述光栅层、光波导层均为预设周期的光栅结构；所述绝缘层上的光栅层作为分布式布拉格光栅反射镜光耦合进入光栅耦合器的过程中，一部分光直接耦合进光波导层，另一部分光透过氧化层照射到分布式布拉格光栅反射镜，并被布拉格光栅反射镜反射回光波导层。绝缘层上的高折射率晶片作为分布式布拉格光栅反射镜，由于其高反射率，能尽可能地提升光栅耦合器向上辐射光信号的能力，大大提升光栅耦合器的耦合效率。
一种光栅耦合器及其制备方法

[发明专利]一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件-CN202210089673.3在审
发明人：李彬;李志华;谢玲;杨妍;李东浩;唐波;张鹏;刘若男 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件，涉及光器件技术领域，用于提供一种采用低压化学气相淀积法与等离子体增强化学气相沉积相结合的方式有效提升光纤与光芯片的耦合效率的技术方案。氮化硅光栅耦合器包括：衬底；形成在衬底上的包层；形成在包层中的光栅耦合器；其中，光栅耦合器包括自下而上间隔设置的第一氮化硅光栅耦合层和第二氮化硅光栅耦合层，第一氮化硅光栅耦合层与第二氮化硅光栅耦合层之间形成有包层；其中，第一氮化硅光栅耦合层采用低压化学气相淀积法形成，第二氮化硅光栅耦合层采用等离子体增强化学气相沉积法形成。
一种氮化光栅耦合器及其制备方法器件

[发明专利]头戴式显示器-CN202110801033.6有效
发明人：王世育 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本申请提供一种头戴式显示器，其包括：显示系统，用于发出图像光；液晶耦合器，用于接收所述图像光，并调节所述图像光的出射角；输入耦合光栅，所述输入耦合光栅位于所述液晶耦合器远离所述显示系统的一侧，用于接收从所述液晶耦合器发出的所述图像光，并用于衍射所述图像光后出射；波导，所述波导设于所述输入耦合光栅与所述液晶耦合器之间，用于接收并传输所述输入耦合光栅发出的所述图像光；输出耦合光栅，所述输出耦合光栅用于接收所述波导传输的所述图像光，并用于衍射所述图像光后出射，所述输出耦合光栅出射的所述图像光用于形成一近眼显示的图像。
头戴式显示器

[发明专利]发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法-CN202310625211.3在审
发明人：王金玉;蔡艳;岳文成 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法，所述测量系统包括：进光耦合器、光分束器、第一出光耦合器及第二出光耦合器；其中，进光耦合器用于接收入射光束；光分束器与所述进光耦合器连接，并具有第一分光端及第二分光端，并且第一分光端与发射光栅连接，第一出光耦合器与发射光栅连接，将经发射光栅衰减后的第一分光光束出射为第一出射光束；第二出光耦合器与第二分光端连接，出射第二出射光束。本发明提供的发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法能够解决因工艺误差导致制备得到的发射光栅的有效发射长度与仿真设计得到的光栅长度不符，不能得到准确的发射光栅有效发射长度的问题。
发射光栅有效长度测量系统测量方法

[发明专利]阵列波导光栅-CN202310140368.7有效
发明人：滕旻;郑学哲 -专利权人：苏州旭创科技有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本申请涉及一种阵列波导光栅，阵列波导光栅包括输入耦合器、波导阵列和输出耦合器；波导阵列耦接于输入耦合器和输出耦合器之间，波导阵列包括多个波导，输入耦合器用于将接收的光信号分配至多个波导，波导用于引导分配的光信号，输出耦合器用于耦合多个波导上传输的光信号。其中，输入耦合器具有第一折射率，波导具有第二折射率，输出耦合器具有第三折射率，第一折射率和第三折射率均大于第二折射率。该阵列波导光栅可以兼顾解决星型耦合器的插入损耗较高的问题和因波导的侧壁粗糙度而造成的相位误差较大的问题，且该阵列波导光栅的插入损耗较低。
阵列波导光栅

[实用新型]一种片上光偏振测试结构-CN202221166727.3有效
发明人：李军;李哲;汪巧云;杨露寒;李春生;杨凌冈 -专利权人：武汉华工正源光子技术有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01J4/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及光通信技术领域，具体涉及一种片上光偏振测试结构，包括顶层硅SOI晶圆，顶层硅SOI晶圆上制作有多模干涉耦合器、TE模式光栅耦合器和TM模式光栅耦合器；多模干涉耦合器具有入光端口、第一出光端口和第二出光端口，第一出光端口与TE模式光栅耦合器的一端连接，第二出光端口与TM模式光栅耦合器的一端连接。多模干涉耦合器的长度Lmmi、TE偏振光在多模干涉耦合器内的拍长Lpi(TE)、TM偏振光在多模干涉耦合器内的拍长Lpi(TM)满足如下关系式：Lmmi=n*Lpi(TE)=(n‑1)*Lpi(TM)。本实用新型将不同偏振状态的光栅级联在多模干涉耦合器相应的输出端口上，可以获得极高偏振相关性的测试结构，从而提取出高精度的所需偏振光，保证光纤耦合进硅光芯片的光偏振态是所需的。
一种上光偏振测试结构

[发明专利]一种具有自然渐晕补偿效果的波导显示光栅耦合器-CN201910436584.X在审
发明人：潘成;黄战华;刘泽阳;郑贤鑫;张玮茜;蔡怀宇;张尹馨 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自然渐晕补偿效果的波导显示光栅耦合器，所述光栅耦合器由像源(101)、准直透镜(102)、光栅耦合器(103)、光栅输出器(104)和波导(105)组成，其中：所述像源(101)发出的光波经过所述准直透镜(102)准直后形成入射光，进入光栅耦合器(103)的所述入射光经过振幅相位调制，在波导(105)内以全反射形式进行传播之后到达光栅输出器(104)，最终耦合出波导(105)。本发明的衍射效率分布保持高效率、大视场角耦合的同时具有很好的自然渐晕补偿效果，可用于波导显示系统中。
波导光栅耦合器补偿效果渐晕光栅准直透镜入射光输出器像源大视场角显示系统衍射效率振幅相位光波耦合高效率全反射耦合的可用调制传播

[发明专利]具有反转曲率区段的分段的光栅耦合器-CN202111636367.9在审
发明人：亚历克·哈蒙德;卞宇生;米歇尔·拉科斯基;李袁熙;阿西夫·J·乔杜里;R·A·安葛尔 -专利权人：格芯（美国）集成电路科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明涉及具有反转曲率区段的分段的光栅耦合器，揭示一种包括光栅耦合器的结构和形成包括光栅耦合器的结构的方法。光栅耦合器包括沿纵轴间隔的分段。各分段相对于纵轴倾斜。
具有反转曲率区段分段光栅耦合器