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- [发明专利]一种对准装置、对准方法及光刻系统-CN202011025740.2有效
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孙建超
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2020-09-25
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2023-04-18
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G03F9/00
- 本发明实施例公开了一种对准装置、对准方法及光刻系统。对准装置包括光源模块、光场变换模块、探测模块及处理模块；光源模块用于出射第一偏振光，第一偏振光入射至对准标记；光场变换模块用于接收对准标记衍射出的第一光束，并将第一光束沿第一方向的分割线分为第二光束和第三光束，第二光束和第三光束在光场变换模块内沿不同的传输路径传输，在光场变换模块的出射端重叠；探测模块用于接收光场变换模块出射的第二光束和第三光束的叠加光束；处理模块与探测模块连接，用于根据探测模块获取的叠加信号检测对准标记的对准状态本发明实施例的技术方案，可以实现任意方向的对准标记对准，且不会产生由于光程差导致的信号对比度下降问题。
- 一种对准装置方法光刻系统
- [发明专利]一种对准系统-CN201010286110.0有效
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杜聚有
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上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
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2010-09-17
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2012-04-04
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G03F9/00
- 一种对准系统，包括光源模块，提供对准系统所需的对准光束，所述对准光束至少具有两个传播方向；光学条纹形成装置，接收上述不同方向的对准光束，形成第一光学条纹；光学模块，接收第一光学条纹，形成具有和下述对准标记相同的周期和方向的第二光学条纹，并接收所述第二光学条纹照射到下述对准标标记后形成的衍射光束；对准标记，具有一定的周期，至少向两个方向排列，其能接收第二光学条纹，并使其发生衍射；光电探测器，设置在光学模块和光学条纹形成装置之间，接收并测量上述衍射光束的强度，利用光强变化反映的位相信息确定对准位置。
- 一种对准系统
- [发明专利]自动对准光谱系统-CN201210170077.4有效
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S.梅蒂;C.米特拉;R.沙马
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通用电气公司
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2012-05-29
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2012-12-05
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G01J3/28
- 本发明的名称为“自动对准光谱系统”。呈现自动对准系统。该自动对准系统的一个实施例包括起动装置单元，其配置成引导第一激光束和第二激光束通过腔室，其中该第一激光束与该第二激光束共线。该自动对准光谱系统进一步包括接收器单元，其配置成接收穿过腔室的第一激光束和第二激光束。该接收器单元包括第一检测器，其配置成确定第一激光束的强度。该接收器单元还包括第二检测器，其配置成确定第二激光束从确定位置的偏离。此外，该自动对准光谱系统包括机动段，其配置成基于第二激光束的确定的偏离使起动装置单元对准基线位置。
- 自动对准光谱系统
- [发明专利]一种对准系统及光刻机-CN202010225236.0有效
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高安
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2020-03-26
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2022-08-30
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G03F9/00
- 本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，对准系统包括：对准光束产生单元，用于产生对准光束；偏振分光单元，位于对准光束产生单元的出射光路上，用于将对准光束分为偏振方向相互垂直且传播方向不同的第一光束和第二光束；对准标记成像单元，位于第一光束的传播路径上，对准标记成像单元包括对准标记；对准标记成像单元用于将投射至对准标记上的第一光束转化为第一衍射光束，并将第一衍射光束投射至偏振分光单元；参考标记成像单元，位于第二光束的传播路径上本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，以实现兼容不同的对准标记，降低对准系统的成本。
- 一种对准系统光刻
- [发明专利]图像对准装置及投影设备-CN201710750281.6有效
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刘贵芹
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北京铂石空间科技有限公司
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2017-08-28
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2020-08-28
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G03B35/20
- 本公开提供了一种图像对准装置及投影设备，涉及投影显示技术领域，所述图像对准装置包括：光束分光器，用于将入射的图像光分离为透射光束和反射光束；多个偏振状态调节器，用于调节自所述光束分光器出射的所述透射光束的偏振态以及经所述光束分光器反射的所述反射光束的偏振态；两个摄像机，分别用于获取并记录自所述偏振状态调节器出射的所述透射光束和所述反射光束形成的图像的位置，以便于根据所述图像的位置对所述图像进行对准。本公开可以准确获取图像位置，以根据图像位置实现图像对准，进而提高图像显示质量。
- 图像对准装置投影设备
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