|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1294425个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种检测光滑导体表面缺陷的方法-CN200810207909.9无效
-
余维;王连升;黄碧雄;李思悦;陈志强;崔晓岚;吕一旻
-
余维
-
2008-12-26
-
2010-06-30
-
G01N21/88
- 一种检测光滑导体表面缺陷的方法,包含以下步骤:S1:首先设置圆偏振光源;S2:确定待测导体光滑表面的位置,使其法线与入射光的夹角为a°;S3:确定检测记录装置的位置,使其光轴位于反射光的方向;S4:检测反射光是否为线偏振光,如果反射光不是线偏振光,则返回步骤S2,调整待测导体光滑表面的位置使其法线与入射光的夹角为另一个值的a°,再重复步骤S3、S4,直至反射光为线偏振光为止,如果反射光是线偏振光,则进入步骤S5;S5:处理检测数据得到反射光光强分布图;S6:判断反射光光强分布是否均匀,如果反射光光强分布是不均匀的,说明待测表面存在缺陷,如果反射光光强分布是均匀的,说明待测表面不存在缺陷。
- 一种检测光滑导体表面缺陷方法
|