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[发明专利]乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂组合物及制备和应用-CN201310699895.8有效
发明人：李长元;谢镇宇;王亚璐;赵宗严;胡志龙 -专利权人：中山台光电子材料有限公司
申请日： 2013-12-17 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： C08L71/12 文献下载
摘要：本发明属于低介电性能树脂技术领域，公开一种乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂组合物及其制备方法和应用。该组合物包含乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂和乙烯基聚苯醚树脂。本发明通过对DOPO树脂进行乙烯苄基醚化，可得到低介电特性的乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂，其本身无羟基，交联反应过程中不会产生羟基官能基；且乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂含有磷原子，具有阻燃效果。本发明通过将制备得到的乙烯苄基醚化‑DOPO化合物树脂和无羟基、低介电的乙烯基聚苯醚树脂复合，得到低介电常数及低介电损耗的树脂组合物，应用于金属积层板及印刷电路板中可实现优异的介电特性能和阻燃效果。
乙烯苄基 dopo 化合物树脂组合制备应用

[发明专利]半导体结构的形成方法及处理方法-CN201210238582.8有效
发明人：刘焕新 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体结构的形成方法和处理方法，所述半导体结构的形成方法包括：提供半导体基底；在所述半导体基底上形成低介电材料层；刻蚀所述低介电材料层，在所述低介电材料层内形成通孔或沟槽；对所述形成有通孔或沟槽的低介电材料层进行退火与现有技术相比，本发明通过对低介电材料层形成的层间介质层在氮气为主的混合气体中进行退火，使得所述层间介质层在形成通孔或者沟槽时候升高的介电常数值得到降低。
半导体结构形成方法处理

[发明专利]改善多孔性低介电薄膜吸水性的方法-CN02140318.X有效
发明人：胡榮治;陳力俊 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2002-06-25 - 公布日： 2003-02-05 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：一种改善在内连接线结构中多孔性低介电薄膜吸水性的方法，该方法包括提供具有导体区的一底材，一蚀刻终止层在底材上；接着，一多孔性低介电材料薄膜如，多孔性氢化硅倍半氧烷(HSQ)(poroushydrosilsesquioxane)或是多孔性甲基硅倍半氧烷(MSQ)(methylsilsesquioxane)以旋涂的方式涂布在蚀刻终止层上；在经过等离子体步骤或是化学机械研磨制程之后，多孔性低介电薄膜具有多个具有吸水特性的悬键(danglingbond接着，将整个试片置放在具有疏水性反应溶液的辅助仪器进行反应，使得在多孔性低介电薄膜的表面以及侧壁上形成疏水性保护膜以改善多孔性低介电薄膜的吸水性以及降低在后续制程中漏电流的问题。
改善多孔性低介电薄膜吸水性方法

[实用新型]一种低介电液晶聚酯料粒筛分装置-CN202223090291.7有效
发明人：金东植;孟华;周小宇;刘彬 -专利权人：江苏沃特特种材料制造有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B07B1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及低介电液晶聚酯料粒筛分装置领域，具体为一种低介电液晶聚酯料粒筛分装置。固定架固定安装在支架的前侧；活动架，活动架设置在固定架的内侧上方，并与固定架可拆卸连接；有益效果是：通过卡柱的结构，在弹簧的弹力作用下，使得在支撑座上支撑预固定的活动架与固定架卡接固定，以使活动架上的筛网对低介电液晶聚酯料粒进行筛分，且通过拉动拉绳的结构，使得卡柱收缩至固定架内，以便活动架在固定架内部上方的快速拆装，以便将堆积有不同规格低介电液晶聚酯料粒的筛网从固定架上拆卸下来，以便对低介电液晶聚酯料粒进行逐级收集。
一种低介电液晶聚酯筛分装置

[发明专利]低介电LCP树脂材料及其制备方法-CN202111413235.X在审
发明人：朱怀才;罗海威;刘羽玲;刘显勇 -专利权人：广东中塑新材料有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C08L101/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种低介电LCP树脂材料及其制备方法。所述低介电LCP树脂材料由如下重量百分比的原料制备得到：空心金属氧化物2‑15％，玻璃纤维5‑30％，抗氧剂0‑2％，LCP树脂添加至100％；所述空心金属氧化物是将金属氧化物包覆在POSS表面而得。本发明的低介电LCP树脂材料可用于激光直接成型技术，具有很好的耐热性和优良的力学性能和介电性能，且环保无毒、价格便宜、加工工艺简单。
低介电 lcp 树脂材料及其制备方法

[发明专利]多孔材料-CN00131000.3有效
发明人： C·S·阿伦;N·安南;R·M·布兰肯实珀;M·K·噶拉格尔;R·H·古若;A·A·拉莫拉;尤余建 -专利权人：希普雷公司
申请日： 2000-09-30 - 公布日： 2001-06-06 - 主分类号： C08L101/12 文献下载
摘要：公开了在电子元件制造中有用的具有低介电常数的多孔介电材料,以及制备这种多孔介电材料的方法。还公开了制作含有这种多孔介电材料的集成电路的方法。
多孔材料

[发明专利]一种低介电损耗的聚酰亚胺及其制备方法-CN202211508686.6在审
发明人：邹佳伟;郭海泉;杨正华;刘冉;傅轶;栾世方 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：本发明提供了如式(Ⅰ)或如式(Ⅱ)所示的低介电损耗聚酰亚胺。本申请还提供了聚酰亚胺的制备方法，其由二胺和二酐通过化学亚胺化法制备而成。本申请提供的聚酰亚胺具有低介电常数、低介电损耗、低吸湿率、尺寸稳定性好和高粘结强度等优点。本发明的低介电损耗聚酰亚胺可满足于高频高速用通讯材料和柔性高频电路板基材等使用。
一种低介电损耗聚酰亚胺及其制备方法

[发明专利]低K介电材料的接合焊盘和用于制造半导体器件的方法-CN200510111133.7有效
发明人：宁先捷 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2005-11-30 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： H01L23/485 文献下载
摘要：该器件还具有栅极介电层和绝缘结构，例如，绝缘槽。该器件具有覆盖在栅极结构上的第一层间电介质(例如，低K，BPSG，PSG，FSG)。在优选实施方案中，第一层间介电层具有基本上平坦的表面区域。该器件具有覆盖在第一层间介电层的基本上平坦的表面区域上的第一铜互连层。该器件还具有覆盖在第一铜互连层上的第一低K介电层。第二铜互连层覆盖在低K介电层上。第一铜层和第二铜层之间的铜环结构封闭第一低K介电层的整个内区。在优选实施方案中，在第一铜互连层和第二铜互连层之间提供铜环结构以维持第一低K介电层内区。接合焊盘结构覆盖在内区的区域上。
材料接合用于制造半导体器件方法

[发明专利]一种低介电损耗无纺布及其制备方法和应用-CN202210790692.9在审
发明人：柴颂刚;刘潜发;梁伟;郝良鹏 -专利权人：广东生益科技股份有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： D21H27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种低介电损耗无纺布及其制备和应用，所述低介电损耗无纺布由无机纤维和粘结剂组成，所述的粘结剂包括含氟树脂乳液和消泡剂。本发明的无纺布介电性能好，增强效果明显，能满足高频通信领域对覆铜板材料的各项性能要求。
一种低介电损耗无纺布及其制备方法应用

[发明专利]一种短焦距双层液晶透镜阵列-CN201910282785.9在审
发明人：王琼华;李睿;储繁;田莉兰 -专利权人：北京航空航天大学;四川大学
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种短焦距双层液晶透镜阵列，其包括：上层玻璃基板、上层透明平面电极、上层顶部取向层、上层液晶层、上层透明低介电层、上层透明直角三棱柱高介电层、上层透明条形电极、上层底部取向层、中部玻璃基板、下层顶部取向层、下层透明条形电极、下层透明直角三棱柱高介电层、下层透明低介电层、下层液晶层、下层底部取向层、下层透明平面电极以及下层玻璃基板。由于上下两层均采用透明直角三棱柱高介电层与透明低介电层交替排列，有效地降低了该液晶透镜的工作电压。双层设计使液晶层内中央与边缘的相位差增大了一倍，从而减小了液晶透镜的焦距。
下层上层电极取向层液晶层透明直角三棱柱低介电层高介电层透明条形双层液晶透镜透明平面液晶透镜短焦距上层玻璃基板下层玻璃基板不均匀电场折射率分布玻璃基板工作电压交替排列上下两层双层设计焦距相位差有效地减小

[发明专利]一种多层交联介电层及其制备方法和应用-CN202211107718.1在审
发明人：王海波;胡舒航 -专利权人：吉林大学
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L51/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层交联介电层及其制备方法和应用，属于有机光电器件及其柔性光电应用的领域，该多层交联介电层的每一层采用的是旋涂交联聚合物形成的交联介电层。该多层交联介电层在较薄的厚度下具有较高的电容，同时可以减小电极表面粗糙度，减小漏电流，从而制备具有高迁移率低阈值电压的有机场效应晶体管。本发明解决了目前有机场效应晶体管工作电压过高的问题，能够获得高电容、低泄露电流、低粗糙度的介电层，此种方法制备的介电层可以应用于柔性有机场效应晶体管中，进而可以实际应用在逻辑电路中。
一种多层交联介电层及其制备方法应用

[发明专利]一种低介电损耗的改性BaTi2-CN202310337170.8在审
发明人：符小艺;马腾飞;卢振亚 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C08L27/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种低介电损耗的改性BaTi2O5/PVDF复合薄膜材料及其制备方法。陶瓷/聚合物材料拥有较大的介电常数，但通常介电损耗较大，本发明目的是为了提高复合材料的介电常数，同时降低介电损耗。该方法选用高介电常数的BaTi2O5纳米线作为填充材料，先利用具有低介电损耗的SiO2介电损耗。在室温条件下，本方法制备得到的复合薄膜材料，1000Hz时测试的介电常数最大可达到42.22，介电损耗可低至0.09。
一种低介电损耗改性 bati base sub

[发明专利]用于在多级互连结构中形成空气间隙的方法-CN200810169685.7无效
发明人：夏立群;许惠雯;米哈拉·鲍尔西努;石美仪;德里克·R·维迪;伊沙姆·迈’萨德 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-10-09 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一个实施方式提供了一种用于在半导体结构中形成导电线路的方法，包括：在第一介电层中形成多个沟槽，其中空气间隙将形成在第一介电层中；在沟槽中沉积共形介电阻挡膜，其中共形介电阻挡膜包括低k介电材料，其被构成为用作抵抗在第一介电层中形成空气间隙时使用的湿蚀刻化学试剂的阻挡层；在共形低k介电层上方沉积金属扩散阻挡膜；和沉积导电材料以填充沟槽。
用于多级互连结构形成空气间隙方法

[发明专利]一种基于逆向电润湿技术的发电车轮、应用及其发电自行车-CN201610872352.5在审
发明人：田雨农;林同福;安玉良;夏阳 -专利权人：大连楼兰科技股份有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B62J6/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于逆向电润湿技术的发电车轮、应用及其发电自行车，其中，发电车轮包括中心轮轴、转动基板(1)、固定基板(2)以及偏置电压源(3)；其中，转动基板与固定基板相对的一侧侧面上沿周向交替设置有第一电极层和第一介电层，在第一电极层和第一介电层的外表面均设置有第一低表面能介电层；固定基板与转动基板相对的一侧侧面上沿周向交替设置有第二电极层和第二介电层，第二电极层和第二介电层的外表面均设置有第二低表面能介电层，在第二低表面能介电层上固定设置有导电液滴阵列
一种基于逆向润湿技术发电车轮应用及其自行车

[发明专利]使介电膜固化的方法-CN200880107034.3有效
发明人：刘俊军;多雷尔·I·托玛;埃里克·M·李 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-09-12 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：描述了一种用于使衬底上的低介电常数(low-k)介电膜固化的方法，其中，low-k介电膜的介电常数比约4的值更低。所述方法包括将low-k介电膜暴露于紫外线(UV)辐射。在UV暴露之后，将介电膜暴露于IR辐射。
使介电膜固化方法