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- [发明专利]边缘位置检测装置和边缘位置检测方法-CN202110614095.6在审
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小松淳
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株式会社迪思科
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2021-06-02
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2021-12-07
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B28D5/00
- 本发明提供边缘位置检测装置和边缘位置检测方法,提高被加工物的边缘的位置的检测精度。对圆盘状的被加工物的边缘的位置进行检测的边缘位置检测装置具有:卡盘工作台,其具有对被加工物进行保持的保持面;激光位移计,其具有照射单元和受光单元,该照射单元包含配置在卡盘工作台上方的光源,以横贯被加工物的边缘的方式照射线状激光束该受光单元包含沿着线状激光束的照射区域的长度方向以规定的间隔排列并分别接受线状激光束的反射光的多个光电转换元件;移动机构,其使激光位移计和卡盘工作台沿着照射区域的长度方向相对地移动;和计算单元,其具有处理器,根据由受光单元取得的受光量的变化的信息计算被加工物的边缘的位置
- 边缘位置检测装置方法
- [发明专利]指示体、位置检测装置和位置检测方法-CN201010593023.X有效
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小田康雄;山本定雄;杉山义久
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株式会社和冠
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2010-12-14
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2011-08-10
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G06F3/041
- 一种指示体、位置检测装置和位置检测方法。在静电耦合方式的位置检测装置中,使用多个代码检测指示体的指示位置,还能够检测笔压、侧键信息等信息。在指示体侧,将两个代码间的时间差与施加在笔尖上的压力相对应地发送所述两个代码,位置检测器具有笔压计算电路,对接收导体上产生的信号和与两个代码对应的相关运算用代码进行相关运算,通过根据至少一个代码得到的相关运算结果检测指示体所指示的传感器部上的位置,通过由相关运算计算出的根据两个代码得到的相关运算结果,与两个代码间的时间差相对应地检测指示体上的压力。接收在接收时代码的有无信息或从指示体内所具备的多个电极片分别发送的代码,比较信号电平,从而检测位置信息以外的信息。
- 指示位置检测装置方法
- [发明专利]位置检测装置、印刷装置以及位置检测方法-CN202010111113.4有效
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三浦伸介
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卡西欧计算机株式会社
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2020-02-24
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2021-11-02
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B41J2/045
- 不高精度地调整线性编码器及原点传感器的组装位置也能够在没有偏移的适当的位置设定原点的位置检测装置、印刷装置以及位置检测方法。在将检测标尺传感器(72)的输出从低向高切换的点设为透光定时(Ta),将检测从高向低切换的点设为遮光定时(Tb)、将原点传感器(71)检测的输出变化点设为检测定时,根据从检测定时到最靠近其的第一透光定时(Ta1)为止的时间(D1)和从检测定时到最靠近其的第一遮光定时(Tb1)为止的时间(D2),如时间(D1)>时间(D2),将第二透光定时(Ta2)处的移动体位置设为原点(Op),如时间(D1)<时间(D2),将第二遮光定时(第一遮光定时)(Tb1)处的移动体位置设为原点。
- 位置检测装置印刷以及方法
- [发明专利]标记位置检测装置和标记位置检测方法-CN03142539.9无效
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福井达雄;山田智明;有马洋文
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株式会社尼康
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2003-06-17
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2004-01-21
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H01L21/66
- 本发明的课题是,不限于被检测标记在装置的视野区域内的定位地点,能够相对于基板上的原点高再现性地检测出被检测标记的位置,具有:照明对象基板的照明装置(13~19);摄像装置(19~24),根据来自对象基板的反射光进行摄像,输出图像信号;测定装置25,当使用反射特性已知的标准基板作为对象基板时,根据从上述摄像装置获得的第一图像信号测定所述装置的固定图形噪声;存储装置26,存储上述固定图形的噪声;计算装置,在使用形成有被检测标记的被检测基板11作为上述对象基板时,根据从上述摄像装置获得的第二图像信号和上述存储装置中存储的上述固定图形噪声,计算上述被检测标记的位置。
- 标记位置检测装置方法
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