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[发明专利]一种多合一智能传感器模组制备方法及系统-CN202310261441.6在审
发明人：何凯;汪民;许玉方 -专利权人：广州德芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01K13/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种多合一智能传感器模组制备方法及系统，包括：制备湿度传感器组，通过湿度传感器组检测腋窝湿度；湿度传感器组设置于智能传感器模组的传感探测端几何中心；制备压力传感器组，通过压力传感器组检测腋窝肌肉夹持压力；压力传感器组设置在湿度传感器组的外围，处于湿度传感器组与温度传感器组之间；制备温度传感器组，通过温度传感器组检测腋窝温度；温度传感器组设置在压力传感器组外围；制备智能处理控制器组，通过智能处理控制器组，智能分析腋窝出汗程度，智能判定腋窝肌肉夹持传感器检测探头与腋窝贴合程度及夹持位置，控制精确检测腋窝实际温度。
一种合一智能传感器模组制备方法系统

[发明专利]应变、温度及湿度互不敏感的可延展传感器的制备方法-CN202210514136.9在审
发明人：高立波;徐洪成;王月皎;袁炀博;王卫东 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了应变、温度及湿度互不敏感的可延展传感器的制备方法，具体包括以下步骤：步骤1：制备湿度传感器；步骤2：制备温度传感器；步骤3：制备双轴应变传感器。步骤4：将上述步骤制备的湿度传感器、温度传感器以及应变传感器依次自上而下对准，在湿度传感器的顶部覆盖一层雕刻有镂空的TPU薄膜，处理后得到封装集成的应变、温度及湿度互不敏感的可延展传感器。本发明所制备的传感器实现每个传感器只对各自的物理刺激敏感，对其他测试干扰刺激进行抑制；在一定程度上够降低外置匹配电路的复杂性。基于其互耦抑制方法能够启发传感器集成设计，使得本方法有益于柔性集成传感部件在柔性表皮电子领域的应用。
应变温度湿度互不敏感延展传感器制备方法

[发明专利]用于颅内生理生化信息获取的多模态传感器制备方法-CN202110470690.7有效
发明人：薛宁;刘春秀;赵明;姚镭;周军;刘铁柱;姚盼;尹思远;尤昌华 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于颅内生理生化信息获取的多模态传感器制备方法，包括如下步骤：制备柔性基底；在所述柔性基底上制备金属或聚合物的导联线；在所述导联线的节点处制备或放置柔性传感器；其中，所述柔性传感器包括柔性压力传感器、柔性剪切力传感器、柔性温度传感器、柔性氧分压传感器、柔性钾钠离子传感器和柔性电极；在所述导联线和所述柔性传感器上方覆盖一层柔性聚合物，至此完成植入式柔性多生理传感器的制备。
用于生理生化信息获取多模态传感器制备方法

[发明专利]传感器组件的制备方法-CN202110814702.3有效
发明人：赵振元;高营 -专利权人：联想（北京）有限公司
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本申请公开了一种传感器组件的制备方法，其包括如下步骤提供第一基材；于所述第一基材上制备第一传感器；制备第二传感器；其中，所述制备第一传感器包括提供第一金属走线和第二金属走线；所述制备第二传感器后还包括连接所述第二传感器与所述第二金属走线通过在制备第一传感器的同时将第二传感器的走线制备出来，并且第二感器能够直接连接第二金属走线，提高第二传感器检测性能的同时，省去了设置第二传感器走线需要进行额外印刷电路板的问题，进而能够有效降低触控显示模组的制作成本
传感器组件制备方法

[发明专利]一种快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法-CN201510716680.1有效
发明人：徐洪波;李垚;赵九蓬;杨昊巍 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：一种快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备方法，本发明涉及一种湿度传感器的制备方法。本发明的目的是为了解决湿度传感器成本昂贵、平行稳定性差、传感器器件力学性能差以及操作繁琐的问题。本发明的快速高灵敏的光子晶体湿度传感器是将胶状的组装溶液固定在基底材料上。本发明的湿度传感器的制备方法按以下方法制备：一、基底材料的处理；二、制备组装溶液；三、快速高灵敏的光子晶体湿度传感器的制备。本发明制得的湿度传感器解决了传统湿度传感器成本昂贵的问题，同时本发明制得的湿度传感器具有极高的平行稳定性和很高的力学性能。本发明的湿度传感器用于灵敏度高的传感器领域。
湿度传感器制备光子晶体灵敏基底材料力学性能平行组装传感器领域传感器器件灵敏度胶状

[发明专利]传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法-CN202310151925.5在审
发明人：吴黎明;张梦婷;舒峻峰;沈欣;张学红;王春赟;田珂珂;刘慧芳 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法，属于传感检测技术领域，包括：经一体成型制备的线型的芯体、设置在芯体上的音叉振梁；芯体包括传感检测部、第一隔离部、第二隔离部；传感检测部包括挠性梁；本发明通过一体成型制备材质为硅化合物的芯体，能够有效克服当采用多种材料制备时存在的热膨胀系数无法完全匹配的缺陷，且通过隔离部实现有效隔离热应力，从而提高传感器的敏感结构的全温稳定性，提高测量精度。
传感器敏感结构制备方法

[发明专利]传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法-CN202310151944.8在审
发明人：吴黎明;张梦婷;舒峻峰;沈欣;张学红;王春赟;田珂珂;刘慧芳 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种传感器的敏感结构、传感器、传感器制备方法，属于传感检测技术领域，包括：经一体成型制备的线型的芯体、设置在芯体上的音叉振梁、设置在芯体上的上阻尼板及下阻尼板；芯体包括传感检测部、第二隔离部；传感检测部包括位于刚性件和摆件之间的挠性梁；第二隔离部与摆件背离挠性梁的另一端相邻接；音叉振梁搭设在挠性梁的两侧；上阻尼板的固定部和下阻尼板的固定部对设于第二隔离部的两侧；上阻尼板的悬空部和下阻尼板的悬空部向摆件一侧延伸
传感器敏感结构制备方法

[发明专利]一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法-CN201810520398.X有效
发明人：朱祥义;马雪梅;吴钊锋;段海明;张秉志 -专利权人：新疆大学
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明为一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法。一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法，包括：(1)制备改性剂溶液；(2)制备碳纳米管分散液；(3)将碳纳米管分散液静置、离心，得沉淀物；(4)将沉淀物与水混合后，涂覆到叉指电极上并干燥，得传感芯片；将传感芯片制作成传感器，得传感器1；(5)重复步骤(1)‑(4)5次，得传感器2‑6；(6)将传感器1‑6通电老化后，组成传感器阵列，得所述臭氧气敏传感器阵列。本发明所述的一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法，利用多种小分子改性剂对羰基多壁碳纳米管进行物理修饰，进而制备出了碳纳米管基的传感器阵列，实现了在室温下对臭氧及其常见干扰物的高灵敏度、识别检测。
一种臭氧传感器阵列制备方法

[发明专利]一种基于拉压转换和梯度刚度设计策略的压力传感器的制备方法-CN202210910898.0在审
发明人：彭庆宇;赫晓东;李朋阳 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：一种基于拉压转换和梯度刚度设计策略的压力传感器的制备方法，属于传感器制备技术领域。所述的方法步骤如下：制备传感单元；设计并制备拉压转换结构，建立拉压转换关系；对可拉伸应变传感器和拉压转换结构进行组装，制备压力传感器。本发明中以可拉伸应二维薄膜为传感单元，通过拉压转换结构和刚度梯度设计策略，选取不同的组装方式制备压力传感器。这种基于拉压转换和梯度刚度设计策略的压力传感器具有较宽的压力范围，并且在整个检测范围都具有线性相应。开放式结构使传感器能在水下环境稳定工作。本发明设计的结构可以应用于多种可拉伸应变传感器，经过组装制备的压力传感器可以通过建立的拉压转换关系对其性能进行调控。
一种基于转换梯度刚度设计策略压力传感器制备方法

[发明专利]一种基于纳米软印刷技术批量制备石墨烯气体传感器的方法-CN201210161361.5无效
发明人：胡平安;张荣福;文振忠;张甲;王小娜;王立锋;李俊杰;李晓超 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2012-05-23 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种基于纳米软印刷技术批量制备石墨烯气体传感器的方法，属于石墨烯传感器的制备领域。为了解决现有技术制备的石墨烯传感器制备技术存在石墨烯形状与尺寸难以控制、制成的石墨烯传感器性能不一致，且不利于微纳米级石墨烯传感器集成的问题，本发明的操作步骤如下：一、石墨烯薄膜的制备；二、制备规则形状的石墨烯（包括还原氧化石墨烯和CVD石墨烯两种不同方法制备的石墨烯）；三、石墨烯的改性；四、批量石墨烯气体传感器的制备。本发明主要用于批量制备石墨烯气体传感器。该方法充分发挥了纳米软光刻技术与二维材料石墨烯的二者的优点，并且制备出的带状石墨烯传感器具有相同的性质，这为石墨烯做传感器的广泛应用与工业化奠定了基础。
一种基于纳米印刷技术批量制备石墨气体传感器方法

[发明专利]基于同种导电材料的柔性应变传感器及其制备方法-CN202110300119.0有效
发明人：舒琳;陈晓斌;徐向民 -专利权人：华南理工大学;中山市华南理工大学现代产业技术研究院
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明公开了基于同种导电材料的柔性应变传感器及其制备方法，该传感器包括传感区、连接区、封装层以及柔性基底。相比于现有的同类型传感器，本发明的传感器的特点在于传感区和连接区使用同种导电材料制备，并通过调节不同区域的尺寸结构满足基于同种导电材料的传感器的传感区和连接区的设计规则。所述传感器基于丝网印刷工艺，将炭黑‑硅橡胶复合导电浆料在织物基材上一步印刷完成传感器的制备。该方法操作简便、制作成本低、适合大规模生产，所制备的传感器具有高灵敏度(≈10)、大应变范围(～100％)、低滞后性和良好的稳定性，可应用于人体运动检测、智能医疗服务等领域。本发明的传感器制备方法对柔性应变传感器的工业生产具有重要的参考价值。
基于同种导电材料柔性应变传感器及其制备方法

[发明专利]一种电传感器-CN201611020898.4有效
发明人：许美凤 -专利权人：许美凤
申请日： 2016-11-15 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：一种电传感器，该传感器的制备方法包括以下步骤：制备铁酸镍石墨烯复合材料，Cu‑TiO2的制备和最终传感器的制备，通过该方法制得的传感器灵敏度高，稳定性好，检测线宽的特性。
一种传感器

[发明专利]一种硫化物-氧化物复合纳米压力传感器的制备方法-CN201810982411.3在审
发明人：叶美丹;游兴艳;刘群;张鑫;赵鑫;刘向阳 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种硫化物‑氧化物复合纳米压力传感器的制备方法，涉及压力传感器。；制备硫化物‑氧化物复合纳米压力传感器。制备好的柔性压力传感器用微小拉力仪测试受压时电容参数的变化。制备简单，反应灵敏，为柔性压力传感器在碳布上制备Co₉S₈‑NiCo₂O₄三维棒针结构，然后将长有Co₉S₈‑NiCo₂O₄三维棒针结构的碳布用PDMS封装制备压力传感器，该压力传感器制备简单，反应灵敏，为柔性压力传感器的制备提供了一种新型的方法
制备纳米压力传感器柔性压力传感器压力传感器氧化物复合三维硫化物棒针碳布灵敏纳米复合结构制备硫化物电容参数针状拉力仪受压时封装测试

[发明专利]一种基于黑磷量子点的电阻型气敏传感器的制备方法-CN202010496940.X有效
发明人：唐博伦;刘合欢;施云波 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种基于黑磷量子点的电阻型气敏传感器的制备方法，它属于气体敏感型传感器领域。它要解决现有含磷有机毒气的检测存在自动化程度低、成本高、设备体积大的问题。方法：一、黑磷量子点的制备；二、传感器中底板的制备；三、传感器中铜加热电极的制备；四、传感器中绝缘导热膜的制备；五、传感器中银叉指电极的制备；六、将黑磷量子点溶液滴涂在银叉指电极上并形成黑磷薄膜，然后在黑磷薄膜的一侧贴上聚酰亚胺薄膜胶带本发明制备的传感器对DMMP蒸汽有显著反应，灵敏度高，具备作为检测DMMP蒸汽传感器的能力。本发明传感器具有体积小，自动化程度高，可以长时间使用，重复性好，灵敏度高等优点。
一种基于黑磷量子电阻型气敏传感器制备方法

[发明专利]一种牛瘤胃pH传感器及其制备方法-CN202011451648.2有效
发明人：王辉;熊本海;南雪梅;杨亮;罗清尧;郑姗姗 -专利权人：中国农业科学院北京畜牧兽医研究所
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本说明书一个或多个实施例提供一种牛瘤胃pH传感器及其制备方法，将pH传感器、温度传感器、湿度传感器三个传感器联用，通过湿度传感器实时判断整个检测探头是否完全浸入液体；通过使用高斯过程回归处理温度传感器和瘤胃pH传感器的检测值，实现高精度检测；且制备的牛瘤胃pH传感器无毒性、低功耗、抗腐蚀。
种牛瘤胃 ph 传感器及其制备方法

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