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- [发明专利]部件的安装方法-CN201180017525.0无效
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荒瀬秀和
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松下电器产业株式会社
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2011-11-04
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2012-12-26
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H01L21/52
- 本发明的方法具备以下的工序:准备基板(100)、第一液体和部件含有液的工序(a),上述基板具备憎水性区域(120)、亲水性区域(111)和亲水性线(112);在基板连续地涂敷第一液体并且将第一液体配置在亲水性区域和亲水性线的工序(b);使部件含有液接触配置在亲水性区域的第一液体的工序(c);和从基板除去第一液体和部件含有液中含有的第二液体、将部件配置在亲水性区域的工序(d)。Y方向是亲水性线的长度方向,Z方向是基板的法线的方向,+X方向是与Y方向和Z方向均正交的方向。D1表示亲水性区域和亲水性线之间的沿+X方向的间隔,D2表示亲水性区域的沿Y方向的长度,D3表示亲水性线的沿Y方向的长度,D4表示亲水性线的宽度。
- 部件安装方法
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