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[实用新型]单晶炉主炉室炉盖-CN201220119359.7有效
发明人：林希宪 -专利权人：常州拜尔光电设备有限公司
申请日： 2012-03-26 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种单晶炉主炉室炉盖，具有主体和颈部，主体和颈部上设有通向主炉室内腔的拉晶孔，颈部顶面连接有法兰，颈部周围的主体上表面上设有观察窗和测试孔，主体为碟形，主体和颈部之间设有加强筋和提板，所述加强筋的底侧焊接在主体上表面上本实用新型的结构适宜降低炉盖高度，使反射光尽可能的集中在硅液的液面上，不但能够能降低单晶炉的能耗，延长了钢丝绳的使用寿命。设置加强筋，可以减轻炉盖的自身重量，节省了材料，也加强了炉盖的结构强度。
单晶炉主炉室炉盖

[发明专利]一种新型油墨结晶生长炉-CN201110258542.5无效
发明人：周小燕 -专利权人：周小燕
申请日： 2011-09-03 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：一种新型油墨结晶生长炉，它涉及机械加工制造领域；它包含主炉室（1）、主炉室提升架（2）、油缸轴端盖（3）、主炉室提升座（4）和主炉室油缸（5）；主炉室（1）的一侧安装有主炉室提升架（2），主炉室提升架（2）与主炉室提升座（4）相连，主炉室提升座（4）的上端设有油缸轴端盖（3），主炉室油缸（5）安装在主炉室提升座（4）的下端；它结构简单，操作方便，机械传动稳定可靠，使用寿命大大提高，且改造费用低廉，易于推广
一种新型油墨结晶生长

[实用新型]一种新型油墨结晶生长炉-CN201120328331.X有效
发明人：周小燕 -专利权人：周小燕
申请日： 2011-09-03 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：一种新型油墨结晶生长炉，它涉及机械加工制造领域；它包含主炉室（1）、主炉室提升架（2）、油缸轴端盖（3）、主炉室提升座（4）和主炉室油缸（5）；主炉室（1）的一侧安装有主炉室提升架（2），主炉室提升架（2）与主炉室提升座（4）相连，主炉室提升座（4）的上端设有油缸轴端盖（3），主炉室油缸（5）安装在主炉室提升座（4）的下端；它结构简单，操作方便，机械传动稳定可靠，使用寿命大大提高，且改造费用低廉，易于推广
一种新型油墨结晶生长

[发明专利]上提拉开放式单晶炉-CN202210175772.3有效
发明人：李方;王建波;尹嘉琦;江佳飞 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本发明公开了上提拉开放式单晶炉，炉体包括主炉室和副炉室，主炉室内部设有与籽晶配合的坩埚，主炉室的顶部设有炉盖，炉盖设有通孔；副炉室设于主炉室的上方，副炉室内设有绳体，绳体的底部末端与籽晶相配合；热场组件与坩埚相配合；坩埚驱动组件能够驱动坩埚在主炉室内转动或升降；提升驱动组件能够驱动绳体在副炉室内转动或升降；炉盖与副炉室之间设有缓冲组件；炉盖上设检测窗，能够与视觉检测组件配合。
上提拉开放式单晶炉

[实用新型]一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉-CN202221161349.X有效
发明人：毛勤虎 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉，所述隔离阀设置在所述拉晶炉的主炉室和副炉室之间，所述隔离阀包括：阀座，所述阀座形成有用于将所述主炉室和所述副炉室连通的通道；阀盖，所述阀盖用于封闭所述通道；供气装置，所述供气装置用于将保护性气体供应至所述阀盖的在所述阀盖将所述通道封闭时面向所述主炉室的内表面。
一种用于拉晶炉隔离

[发明专利]一种单晶炉热场升级的装置及方法-CN202210408510.7在审
发明人：王燕飞;王军磊;王艺澄 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉热场升级的装置，包括同轴的炉盖（1）、大直径主炉室（2）、大直径下炉体（3）和炉底盘（4），炉盖（1）和大直径主炉室（2）之间连有过渡法兰（5），大直径下炉体（3）和炉底盘（4）之间连有法兰缩颈（6）；过渡法兰（5）的内径与炉盖（1）的内腔直径相同、其外径与大直径主炉室（2）的外径相同，大直径主炉室（2）内径大于炉盖（1）的内腔直径；法兰缩颈（6）的外径与大直径下炉体（3）的外径相同、其内径小于炉底盘（4）的外径，炉底盘（4）的外径小于大直径下炉体（3）内腔直径。本发明的优点是满足36吋或更大的热场安装和生产需求，提高单晶炉日单产量和单晶硅品质，降低设备投资成本。
一种单晶炉热场升级装置方法

[实用新型]一种单晶炉热场升级的装置-CN202220900902.0有效
发明人：王燕飞;王军磊;王艺澄 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉热场升级的装置，包括同轴的炉盖（1）、大直径主炉室（2）、大直径下炉体（3）和炉底盘（4），炉盖（1）和大直径主炉室（2）之间连有过渡法兰（5），大直径下炉体（3）和炉底盘（4）之间连有法兰缩颈（6）；过渡法兰（5）的内径与炉盖（1）的内腔直径相同、其外径与大直径主炉室（2）的外径相同，大直径主炉室（2）内径大于炉盖（1）的内腔直径；法兰缩颈（6）的外径与大直径下炉体（3）的外径相同、其内径小于炉底盘（4）的外径，炉底盘（4）的外径小于大直径下炉体（3）内腔直径。本实用新型的优点是满足36吋或更大的热场安装和生产需求，提高单晶炉日单产量和单晶硅品质，降低设备投资成本。
一种单晶炉热场升级装置

[发明专利]一种提效降本的单晶炉自动化逻辑工艺方法-CN202310233206.8在审
发明人：董帅;王军磊;王艺澄 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种提效降本的单晶炉自动化逻辑工艺方法，依次包括基于PLC控制的拆清、炉盖旋开、主室旋开、主室旋回、装料、合炉盖、主室提升、主室下降、主室爪抓取和副室下降一系列步骤。本发明的优点在于可以更迅速地落实自动化系统，减少单晶炉在机械运动过程中的人员操作时间，提升单晶炉运行过程中的工作效率，有效节省人力成本，促进产业升级。
一种提效降单晶炉自动化逻辑工艺方法

[发明专利]一种从单晶炉中取出单晶棒的方法-CN201110134324.0无效
发明人：牛小群 -专利权人：浙江星宇能源科技有限公司
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种从单晶炉中取出单晶棒的方法，该方法是通过提拉头将拉好的单晶棒升至副炉室、观察室及炉盖以上后，再将提拉头及单晶棒随副炉室、观察室、炉盖一起向侧边移至主炉室外，并对准在侧边的主炉室的地下开有的槽孔，然后降下单晶棒，把单晶棒放入槽孔至炉盖以下部位，即可取出单晶棒。采用本发明，可以通过增加直拉单晶棒的有效行程，将每炉的硅料加满，并一次性制成单晶棒，达到提高生产效率，降低生产成本的目的。
一种单晶炉中取出单晶棒方法

[实用新型]一种稀土合金生产用真空感应炉辅助抽真空系统-CN202120363544.X有效
发明人：张军 -专利权人：大连中航钢研特种材料有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空熔炼领域，特别涉及一种稀土合金生产用真空感应炉辅助抽真空系统。包括分别与铸锭室、主真空室炉盖、主加料仓和合金加料仓相连的真空管道，铸锭室与主真空室炉盖的真空管道相交并连通后通过集尘器与泵组进气管道相连，主加料仓与合金加料仓的真空管道相交并连通后通过集尘器与泵组进气管道相连；铸锭室与主真空室之间设置有第一均压管道；主加料仓与主真空室炉盖之间设置有第二均压管道；合金加料仓与主真空室炉盖之间设置有第三均压管道。本实用新型铸锭室、主加料仓和合金加料仓配置一套抽真空系统，能够快速得到铸锭室、主加料仓和合金加料仓所需的真空环境，能够保证真空度，提高生产效率，减低设备故障率，延长了抽真空设备的使用寿命。
一种稀土合金生产真空感应炉辅助系统

[实用新型]一种高体密硼化锆合成装置-CN202021986155.4有效
发明人：范广宁;齐国超;杨占鑫;詹睿涵;吴琼 -专利权人：辽宁工业大学;锦州中维粉体材料有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高体密硼化锆合成装置，包括主炉室，主炉室的底部固定安装有底座，底座的顶部通过底部支撑组件固定装配有大坩埚、小坩埚和石墨棒，主炉室的侧壁通过伸缩机构固定装配有炉盖，炉盖的中心处插接有液压机输出端，液压机输出端的底部固定连接有挡板，挡板的底部通过连接杆固定连接有上压头，主炉室的内腔固定装配有保温组件。设置有大坩埚、小坩埚和石墨棒，通过大坩埚与小坩埚的配合，使在合成过程中粉体均匀受热，并通过设置保温组件减少在合成过程中热量的散失，提高了生产效率，炉盖通过伸缩机构进行装配，更加方便拆卸，方便对主炉室内进行清洁
一种高体密硼化锆合成装置

[实用新型]一种碳化硅晶体炉-CN202221506155.9有效
发明人：李晓萍;张子轩;刘洋;薛飞 -专利权人：北京精仪天和智能装备有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型适用于三代半导体原料制备装置领域，提供了一种碳化硅晶体炉，包括主炉室、炉盖以及底座，所述炉盖盖合在主炉室上，且所述主炉室放置在底座上，还包括：炉盖提升系统，与炉盖连接，所述炉盖提升系统用于实现炉盖的升降包括滚柱丝杠传动机构以及坩埚轴中空水冷结构；隔热系统，包括上隔热板、隔热腔以及下隔热板，且上隔热板、隔热腔以及下隔热板共同组成一个中空的圆柱腔；加热系统，包括加热电极、电极连接板以及分体式加热器；本实用新型实施例提供的一种碳化硅晶体炉，
一种碳化硅晶体

[实用新型]一种单晶炉的炉盖及单晶炉-CN202123095843.9有效
发明人：杨西虎;杨超;武绚丽 -专利权人：曲靖晶龙电子材料有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉的炉盖及单晶炉，包括：炉盖主体，上端中心形成圆形通孔，下端覆盖单晶炉的主室体；炉盖小副室筒，竖直延伸并连通在炉盖主体的圆形通孔处；分流环，设置在炉盖小副室筒的顶端，具有输送惰性气体的进气口和出气口，进气口与外部惰性气体源连通，出气口位于炉盖小副室筒的内壁处；导气管，沿炉盖小副室筒的内壁从出气口延伸至炉盖主体的圆形通孔处。本实用新型的单晶炉的炉盖及单晶炉，通过将导气管延伸至炉盖小副室筒的底端，使得惰性气体可以直接进入单晶炉，杜绝了惰性气体与炉盖小副室筒筒壁干扰产生涡流后在筒壁上沉积氧化物的问题，从而也避免了氧化物掉入单晶炉内
一种单晶炉

[实用新型]一种具有调节内部高度的单晶炉主室-CN201922071784.8有效
发明人：杨昊 -专利权人：弘元新材料（包头）有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有调节内部高度的单晶炉主室，包括单晶炉主体、第一炉盖、第二炉盖和安装架，所述单晶炉主体上设置有上炉体，且上炉体的顶部通过锁扣与第一炉盖相连接，并且第一炉盖的中部开设有放料口，同时放料口的上固定有第二炉盖该具有调节内部高度的单晶炉主室，在直拉式单晶炉底加装主室增高环，增高单晶炉热场高度，将石英坩埚高度增加，增大投料量。
一种具有调节内部高度单晶炉主室

[实用新型]一种单晶炉系统-CN201520270350.X有效
发明人：苏金玉;战永强;陈洁;肖慧转 -专利权人：特变电工新疆新能源股份有限公司
申请日： 2015-04-29 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉系统，其包括副炉室、炉盖及主炉室，该单晶炉系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括法兰和中空的筒体，所述筒体设于炉盖内部，晶棒能够从筒体中穿过，所述法兰设于主炉室与炉盖结合的位置，该单晶炉系统中的冷却装置的安装方式不受单晶炉脖口的限制，且所述冷却装置的冷却效果好，能够加快热场上部及晶棒表面热量的散失。
一种单晶炉系统

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