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- [发明专利]晶圆上料组件及下蜡机-CN202310959698.9在审
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寇明虎;黄肖雄
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北京特思迪半导体设备有限公司
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2023-08-01
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2023-09-22
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B24B37/34
- 本申请提供一种晶圆上料组件及下蜡机，支架上设置有适于卡塞盒升降的升降通道；升降组件设置在支架上，用以带动卡塞盒在升降通道进行升降；翻转传送机构设置在支架上，其上设置有传送部，翻转传送机构具有翻转状态以及非翻转状态，在翻转状态，传送部转动至卡塞盒下方，使传送部带动卡塞盒上的陶瓷盘进行移动；在非翻转状态，传送部离开升降通道；输送机构设置在翻转传送机构的一侧，用以驱动朝向陶瓷盘烘箱部位移动。升降组件用来带动陶瓷盘在高度方向进行上升，翻转传送机构用来在水平方向将陶瓷盘从升降组件上移出，输送机构进一步将陶瓷盘在水平方向进行输送，然后转移到烘箱中。
- 晶圆上料组件下蜡机
- [实用新型]卷圆模具-CN201520835346.3有效
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王树吉;李艳菊
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亿和精密工业（苏州）有限公司
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2015-10-27
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2016-06-08
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B21D37/10
- 本实用新型公开了一种卷圆模具，包括上模装置和下模装置，所述上模装置上设有卷圆冲头，所述下模装置上设有浮升装置和与其垂直设置的定位装置，所述定位装置上设有用于放置工件的定位槽，所述浮升装置上设有卷圆针，所述下模装置上还设有卷圆下模，所述卷圆冲头设于所述卷圆针的上方，所述卷圆下模设于所述卷圆针的下方，所述卷圆冲头下压将所述工件在所述卷圆针上下弯，再使所述工件在卷圆下模上弯曲成圆。本实用新型的卷圆模具，通过在上模装置上设置卷圆冲头，下模装置上设置浮升装置，卷圆冲头下压在卷圆针上将工件下弯，卷圆冲头继续下行，工件在卷圆下模上弯曲成圆，从而通过一套模具，一步就能完成工件的卷圆，成本低
- 模具
- [发明专利]一种晶圆键合方法-CN201911345905.1有效
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叶国梁;刘天建;易洪昇;胡杏
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2019-12-23
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2022-05-27
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H01L21/603
- 本发明提供一种晶圆键合方法，根据已键合的上晶圆和下晶圆的相对形变量差值，通过向待键合的上晶圆和/或下晶圆施加应力，以在待键合的上晶圆和下晶圆上消除相对形变量差值，而后对待键合的上晶圆和下晶圆进行键合，以获得键合结构该方法根据已键合的上晶圆和下晶圆的相对形变量差值，向待键合的上晶圆和/或下晶圆施加应力，待键合的上晶圆和/或下晶圆在键合之前产生形变，该形变与已键合的上晶圆和下晶圆的相对形变量的形变方向相反、形变量差值相同，待键合晶圆键合前的形变与键合过程中产生的形变相互补偿，使得键合后的上晶圆和下晶圆相互贴合，避免键合后上、下晶圆需要对准的图形产生错位，从而避免对器件的性能产生影响。
- 一种晶圆键合方法
- [发明专利]一种六角形钛锭镦圆模具-CN201210470459.9有效
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朱小坤;徐辉霞
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江苏天工钛业科技有限公司
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2012-11-20
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2014-06-04
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B21J13/02
- 本发明是一种六角形钛锭镦圆模具，模具包括镦圆上模和镦圆下模，钛锭放置在镦圆上模和镦圆下模中间，镦圆上模连接有上凸轮机构，镦圆下模连接有下凸轮机构，在镦圆上模和镦圆下模的中间的两端分别连接有弹簧，上凸轮机构和下凸轮机构分别带动镦圆上模和镦圆下模做反向运动，钛锭的边长小于镦圆上模和镦圆下模构成的圆形的半径的长度，镦圆上模和镦圆下模分别设置为半圆形。本发明将需要镦圆的钛锭放置在模具中，两个凸轮结构同时带动上模和下模向内或者同时向外运动，对钛锭进行镦圆，将六角形的坯料锻成成品圆材。本发明结构简单，设计合理，钛锭的成圆度高，减少钛锭的损耗，提高经济效益。
- 一种六角形钛锭镦圆模具
- [实用新型]一种包子垫块-CN201220009085.6有效
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吴瑞芳
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吴瑞芳
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2012-01-05
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2012-10-17
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A47J36/20
- 本实用新型公开了一种包子垫块，它由左圆板、上圆板、右圆板、孔洞、下圆板组成，其特征在于左圆板连着上圆板，上圆板连着右圆板，右圆板连着下圆板，下圆板连着左圆板，每个圆板上留有孔洞，使用时将做好的包子分别放在左圆板、右圆板、上圆板和下圆板上，然后把本实用新型放进蒸笼去蒸，待包子蒸熟后，即可将本实用新型取出，其有益效果是设计简单，成本低廉，实用性较大。
- 一种包子垫块
- [发明专利]晶圆上料方法及晶圆上料装置-CN202210175595.9在审
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高阳;葛凡;蔡国庆;周鑫;张宁宁
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2022-02-25
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2022-04-29
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B65G49/06
- 本发明揭示了晶圆上料方法及晶圆上料装置，其中上料方法包括如下步骤，首先取料机械手及传感器同步朝料仓方向移动，传感器的安装高度位于张开状态的取料机械手的上夹嘴、下夹嘴之间，此时取料机械手与料仓中的晶圆保持预定间隙，传感器可检测到位于上、下夹嘴之间的晶圆；接着，料仓上升或下降,至传感器检测到料仓中的一晶圆时，立即停止或延时停止；然后,取料机械手朝料仓方向移动，至上、下夹嘴位于晶圆的晶圆框架的上、下两侧；最后,上、下夹嘴闭合将晶圆夹持并从料仓中取出。本方案避免了无效取料动作，提高了上料的稳定性和效率；且能够有效地满足不同层高的料仓的使用，无需人工调整料仓每次的升降行程，提高了上料的安全性。
- 晶圆上料方法装置
- [实用新型]一种六角形钛锭镦圆模具-CN201220614817.4有效
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朱小坤;徐辉霞
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江苏天工钛业科技有限公司
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2012-11-20
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2013-06-05
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B21J13/02
- 本实用新型是一种六角形钛锭镦圆模具，模具包括镦圆上模和镦圆下模，钛锭放置在镦圆上模和镦圆下模中间，镦圆上模连接有上凸轮机构，镦圆下模连接有下凸轮机构，在镦圆上模和镦圆下模的中间的两端分别连接有弹簧，上凸轮机构和下凸轮机构分别带动镦圆上模和镦圆下模做反向运动，钛锭的边长小于镦圆上模和镦圆下模构成的圆形的半径的长度，镦圆上模和镦圆下模分别设置为半圆形。本实用新型将需要镦圆的钛锭放置在模具中，两个凸轮结构同时带动上模和下模向内或者同时向外运动，对钛锭进行镦圆，将六角形的坯料锻成成品圆材。本实用新型结构简单，设计合理，钛锭的成圆度高，减少钛锭的损耗，提高经济效益。
- 一种六角形钛锭镦圆模具
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