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[发明专利]用于加热晶圆的烘箱以及下蜡机-CN202310959710.6有效
发明人：寇明虎;黄肖雄 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供的用于加热晶圆的烘箱及下蜡机，烘箱包括：支撑架，设置在所述加热腔内部，并位于所述箱体入口的两侧；纵向传递机构，对应安装在所述支撑架上，所述纵向传递机构包括若干承载部，所述纵向传递机构相邻的一侧形成承托区，所述承载部用以在所述承托区对陶瓷盘进行支撑，并带动所述陶瓷盘沿高度方向移动；纵向驱动机构，设置在所述加热腔中，用以带动所述纵向传递机构进行移动。能够将进入到箱体内部的晶圆在高度方向进行运送，可以有效地利用烘箱内部的高度空间，从而避免现有技术中在平面上对晶圆进行运输时占用空间过大的缺陷。
用于加热烘箱以及下蜡机

[发明专利]晶圆上料组件及下蜡机-CN202310959698.9在审
发明人：寇明虎;黄肖雄 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆上料组件及下蜡机，支架上设置有适于卡塞盒升降的升降通道；升降组件设置在支架上，用以带动卡塞盒在升降通道进行升降；翻转传送机构设置在支架上，其上设置有传送部，翻转传送机构具有翻转状态以及非翻转状态，在翻转状态，传送部转动至卡塞盒下方，使传送部带动卡塞盒上的陶瓷盘进行移动；在非翻转状态，传送部离开升降通道；输送机构设置在翻转传送机构的一侧，用以驱动朝向陶瓷盘烘箱部位移动。升降组件用来带动陶瓷盘在高度方向进行上升，翻转传送机构用来在水平方向将陶瓷盘从升降组件上移出，输送机构进一步将陶瓷盘在水平方向进行输送，然后转移到烘箱中。通过上述的操作，在高度方向进行升降，可以高效地利用高度空间。
晶圆上料组件下蜡机

[发明专利]晶圆夹持装置以及晶圆清洗系统-CN202310642682.5有效
发明人：周博伦;寇明虎;黄肖雄 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供的晶圆夹持装置以及晶圆清洗系统，属于集成电路技术领域，其中，晶圆夹持装置包括：第一夹持臂、第二夹持臂、传动件和驱动件，第一夹持臂和第二夹持臂相互平行滑动地设置；第二夹持臂和传动件具有相对远离的第一位置和相对靠近的第二位置；弹性件位于第二夹持臂和传动件之间，弹性件具有使第二夹持臂和传动件保持在第一位置的弹性力；驱动件的驱动端与传动件连接，当驱动件驱动传动件带动第二夹持臂进行滑动，以使第二夹持部和第一夹持部相互远离时，第二夹持臂和传动件保持在第一位置，驱动件驱动传动件和第二夹持臂进行同步移动；本发明提供的晶圆夹持装置，能够对晶圆进行柔性夹持，通过能够确定在卸下晶圆时位置的准确性。
夹持装置以及清洗系统

[外观设计]化学机械抛光一体机-CN202230542341.7有效
发明人：崔翊洲;黄肖雄;刘飞;周博伦;郑惠曦 -专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：化学机械抛光一体机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体材料的化学机械抛光。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
化学机械抛光一体机

[实用新型]一种液晶玻璃切割裂片用除尘装置-CN201920058154.4有效
发明人： 黄肖雄;成建华;邓冠卿;刘治国 -专利权人：北京清大天达光电科技股份有限公司
申请日： 2019-01-14 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种液晶玻璃切割裂片用除尘装置，包括风刀装置与吸尘装置，所述风刀装置包括风刀盖板、风刀槽板、密封挡板和进气嘴，所述密封挡板从两端对风刀盖板和风刀槽板进行套合连接，所述吸尘装置包括吸尘盖板、吸尘下板及法兰弯头，所述法兰弯头连接在吸尘盖板排尘口上，本实用新型通过风刀装置与吸尘装置配合，风刀装置为玻璃基板提供风力，将玻璃切割裂片过程中产生的玻璃碎屑吹出来，然后通过吸尘装置将碎屑吸附，能够有效的去除液晶玻璃切割裂片过程中产生的玻璃碎屑及灰尘等，提高玻璃表面的清洁度，实现液晶玻璃切割裂片除尘自动化，节省了人力，使用方便灵活。
风刀装置吸尘装置液晶玻璃切割风刀裂片本实用新型玻璃碎屑除尘装置法兰弯头裂片过程密封挡板吸尘盖板盖板清洁度玻璃表面玻璃基板玻璃切割碎屑吸附套合连接刀槽板进气嘴排尘口除尘槽板吸尘下板去除自动化风力灵活配合