[发明专利]抛光组合物有效
| 申请号： | 99111114.1 | 申请日： | 1999-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1131288C | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李吉成;李在锡;金硕珍;李荣基;张斗远 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/08 | 分类号： | C09G1/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平,王达佐 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及包含30-99wt％的去离子水、0.1-50wt％的金属氧化物粉末和0.01-20wt％的环胺的抛光组合物。该抛光组合物可用于制备集成电路用的薄膜进行化学机械抛光，并具有抛光后在薄膜上留下的微小划痕减至最少的效果。因此它可应用于高度集成电路如浅槽隔离的制备工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抛光组合物，由30-99wt％的去离子水、0.1-50wt％的金属氧化物粉末和0.01-20wt％的环胺组成，其中所述的环胺是选自由2-吡咯烷酮、吡咯烷、3-吡咯烷醇、3-吡咯啉、2-氧-1-吡咯烷乙酸甲酯、N-甲基吡咯烷酮和N-甲基吡咯烷所组成的组中的至少一种物质；其中所述的金属氧化物为选自由二氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2O3)、二氧化铈(CeO2)、二氧化锆(ZrO2)和二氧化钛(TiO2)所组成的组中的至少一种物质。
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