[发明专利]利用牺牲层调谐的压电谐振器

摘要

一种具有牺牲惯性负载层(16)的压电谐振器(10)。从牺牲惯性负载层(16)去掉材料,以便将谐振频率提高到要求的频率。牺牲层(16)由例如银或金等致密材料构成,但由相对薄的层构成以便可用于谐振器(10)的高频铝电极(14),同时不增加有害的乱真频率问题。惯性负载层(16)不必是导电的。此外,与铝或氧化铝不同,可以利用经济实用速率的离子铣去掉银或金牺牲层(16)。扩散阻挡层(18)较好是插在电极(14)和惯性负载层(16)之间。

主权项

1.一种提供调谐压电谐振器的方法，包括以下步骤：提供带有基本相对电极的压电板；在各电极的一部分上设置牺牲惯性负载层，其中压电谐振器的频率小于最终要求的频率；选择性去掉牺牲惯性负载层的一部分，从而得到最终要求的频率。