[发明专利]给抛光板整形的方法及设备无效

专利信息
申请号: 97110795.5 申请日: 1997-04-23
公开(公告)号: CN1076249C 公开(公告)日: 2001-12-19
发明(设计)人: 罗伯特·J·沃尔什 申请(专利权)人: MEMC电子材料有限公司
主分类号: B24B53/00 分类号: B24B53/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 马江立
地址: 美国密*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 用来给抛光板整形的设备包括一个板整形工具和一个用来夹持板整形工具的夹具,该工具与夹具并没有固定的连接。板整形工具有一板整形表面可与抛光板的抛光表面接合而给该表面整形。板整型表面的尺寸大到在与抛光表面接合时可横跨其整个宽度。该夹具限制工具不让它环绕抛光板的旋转中心旋转并限制工具的中心不让它相对抛光板有明显的径向移动。本发明还公开了给抛光板整形的方法。
搜索关键词: 抛光 整形 方法 设备
【主权项】:
1.用来给抛光板整形的设备,其中,抛光板装在用来抛光并给物件整形的抛光机上,可环绕一个旋转中心旋转,抛光板具有由一在径向上内侧的边界和一在径向上外侧的边界所限定的抛光表面并有一个预定的径向宽度,抛光表面在其径向上内边界和外边界之间有一横截面轮廓,该设备包括:一个板整形工具,该工具有一中心和一板整形表面,该整形表面可与抛光板的抛光表面接合,以便用来给抛光表面整形,使抛光表面的横截面轮廓从曲线的形状改变成一个较平的形状;一个夹具,在夹具上可旋转地安装着两个滚轮,这些滚轮构造和布置成能与板整形工具接合,以限制板整形工具环绕抛光板的旋转中心旋转,同时允许抛光板相对于夹具旋转,有一支架用来将夹具装在抛光机上,还有一臂从支架伸出,在该臂的远端有一个一般为弧形的凹部,板整形工具被接纳在凹部内,所述夹具构造成用来将没有固定连接的板整形工具夹持到一个位置上,在该位置板整形工具的整形表面与抛光板接合,以便当抛光板相对于夹具和板整形工具旋转时用来给抛光板整形,该夹具限制板整形工具不让它环绕抛光板的旋转中心旋转,并限制板整形工具的中心不让它有相对于抛光板中心的明显的径向移动。
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  • 杨圣 - 青岛华芯晶电科技有限公司
  • 2020-04-30 - 2022-08-26 - B24B53/007
  • 本发明提供一种化学机械抛光设备的清洗装置,包括支撑底座,所述支撑底座外部顶端安装有固定支架,所述固定支架内壁顶端安装有所述横向导杆,所述横向导杆外部套接安装有滑环,所述滑环底端安装有固定杆,所述固定杆外部套接安装有活动块,所述固定支架外壁中部安装有所述支撑侧架,所述驱动电机顶端套接安装有活动卡套,所述活动卡套内部套接安装有偏折杆,所述偏折杆顶端与活动块外壁之间通过L型转向板转动连接,本发明通过驱动电机带动活动卡套进行转动,使得偏折杆在活动卡套内部进行滑动,通过L型转向板的转动将活动块在固定杆外部的滑动,从而实现了固定杆底端的打磨头在固定支架内部顶端处的横向导杆处的往复运动。
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