[发明专利]一种制备具有低漏电流和低极化疲劳性能的电器件的方法

摘要

由溶剂中的液体聚烷氧基化的金属复合物形成的前体溶液(P22)被涂布到基片上形成金属氧化物薄膜(P26)。液体薄膜在空气中在高至500℃的温度下烘烤(P28)，同时用波长为180nm-300nm的UV进行辐射。薄膜在提高的温度下二次烘烤，同时在一次或二次烘烤进行UV辐射。然后，薄膜在700℃-850℃的温度下退火(P32)以产生薄膜固体金属产品。或者，对液体前体进行UV辐射，薄膜可以用UV辐射退火，或对前体、在烘烤之前或之后对薄膜结合使用UV辐射和/或UV退火。

主权项

1.一种制造低漏电流、薄膜金属氧化物电学器件(20)的方法，所述方法包括以下步骤：提供(P24，P22)基片(11，12，13，14)和一液体前体，该液体前体含有相应于从其得到固体金属氧化物层状超晶格材料(15)的金属含量；将所述液体前体涂布(P26)到所述基片上，在所述基片上形成液体薄膜；和在足以形成干燥金属氧化物薄膜的条件下干燥(P28)所述基片上的液体薄膜；所述方法的特征在于以下步骤：将所述液体薄膜和所述干燥金属氧化物薄膜的至少一种曝光(P28)于紫外辐射源，以增加从下述退火得到的晶体材料的c-轴取向；和以具有如下通式的聚烷氧基化金属复合物的形式供应所述液体前体(R′-COO-)aM(-O-M′(-O-C-R″)b-1)n，其中M是外价态(outervalence)为(a+n)的金属，M′是外价态为b的金属，M和M′分别选自钽、钙、铋、铅、钇、钪、镧、锑、铬、铊、铪、钨、铌、锆、钒、锰、铁、钴、镍、镁、钼、锶、钡、钛、和锌；R′是具有4-9个碳原子的烷基；R是具有3-8个碳原子的烷基。