[发明专利]一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法无效
| 申请号： | 95111386.0 | 申请日： | 1995-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1049017C | 公开（公告）日： | 2000-02-02 |
| 发明（设计）人： | 黄楠;柳襄杯;陈元儒;杨萍;蔡光军;郑志宏;周祖尧;王曦;肖静;薛振南;奚廷斐 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学;中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;A61L27/00;A61F2/24;A61M1/10 |
| 代理公司： | 西南交通大学专利事务所 | 代理人： | 刘思宁 |
| 地址： | 610031*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法，在具有氮化钛薄膜的基础上，以惰性气体或氧离子为增强离子束，在压力为２—１７×１０-4的氧气环境下，钛以蒸发或溅射方式沉积于人工器官材料表面，形成氧化钛和氮化钛复合膜。经本发明所述方法处理获得的人工器官的血液相容性，抗疲劳，抗腐蚀和耐磨损的性能得到全面提高，主要用于人工器官的表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 人工 器官 表面 沉积 氧化 氮化 复合 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在人工器官表面沉积氧化钛和氮化钛复合膜的方法，其特征在于：在人工器官表面具有氮化钛膜的基础上，以氧为气氛环境，压力为2-17×10-4Pa，钛以蒸发方式沉积于人工器官材料表面，蒸发速率为1.0-7.0/s，以惰性气体或氧离子为增强离子束，其能量为5-40keV，密度为5-40μA/cm2，形成氧化钛和氮化钛复合膜。
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