[实用新型]带网状电极的真空镀膜装置无效
| 申请号： | 93200772.4 | 申请日： | 1993-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN2206791Y | 公开（公告）日： | 1995-09-06 |
| 发明（设计）人： | 赵晋云;易湘萍 | 申请（专利权）人： | 昆明亚日钛金电子研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 云南省专利事务所 | 代理人： | 旃习涵,金耀生 |
| 地址： | 650031*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 带网状电极的真空镀膜装置。由蒸发源(1)，真空室(5)组成，其特征是，在蒸发源(1)和基板(4)之间设有网状电极(2)，在网状电极(2)上设有一个可调直流电源。本实用新型结构简单，操作方便，镀膜质量精良，具有很好的推广运用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 网状 电极 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜装置，由蒸发源(1)，真空室(5)组成，其特征是，在蒸发源(1)和基板(4)之间设有网状电极(2)，在网状电极(2)上设有一个可调直流电源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆明亚日钛金电子研究所，未经昆明亚日钛金电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/93200772.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：家用热水器加药除垢器
- 下一篇：发射玩具
- 同类专利
- 专利分类
