[实用新型]带网状电极的真空镀膜装置无效
| 申请号： | 93200772.4 | 申请日： | 1993-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN2206791Y | 公开（公告）日： | 1995-09-06 |
| 发明（设计）人： | 赵晋云;易湘萍 | 申请（专利权）人： | 昆明亚日钛金电子研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 云南省专利事务所 | 代理人： | 旃习涵,金耀生 |
| 地址： | 650031*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 网状 电极 真空镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种真空镀膜装置，由蒸发源(1)，真空室(5)组成，其特征是，在蒸发源(1)和基板(4)之间设有网状电极(2)，在网状电极(2)上设有一个可调直流电源。
2、根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征是在网状电极附近设有加热灯丝（3）。
3、根据权利要求1或2所述的一种真空镀膜装置，其特征是网状电极的形状结构可分别为，网格状的或螺旋状的同轴网、平面网、球冠面网、四面或多面柱网。
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