[发明专利]用准分子激光的光刻作用对光学制品表面进行仿形加工的方法无效
| 申请号： | 91103400.5 | 申请日： | 1991-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN1029597C | 公开（公告）日： | 1995-08-30 |
| 发明（设计）人： | 威廉·F·琼斯 | 申请（专利权）人： | 博士伦有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K11/00;G02C7/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张志醒,吴增勇 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种将柱面折光能力引入一光学表面的方法，包括将一光学加工表面设置在一台能改变所述加工对象位置使其对准能对所述加工对象的材料进行光刻的激光光束路径的仪器上；让所述加工对象沿至少一条轴通过该激光光束区域，并控制激光的光强与时间的乘积，以便沿所述加工对象的至少一条轴控制该加工对象的蚀刻量。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 光刻 作用 对光 制品 表面 进行 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学制品表面的成型方法，包括以下步骤：将所述光学制品放置在一台能改变该光学制品位置使其对准能对此光学制品材料进行光蚀刻的准分子激光器的激光光束路径的仪器上；其特征在于该方法的步骤还包括：使该准分子激光器的光束区域沿至少一条轴对所述光学制品进行扫描，同时控制所述光束的强度与时间的乘积，以控制该光学制品沿其至少一条轴的蚀刻量，使之按照预定的扫描速度廓线用高能量光束扫描所述光学制品表面，以便以预定方式沿所述轴从该制品表面上有选择地蚀刻掉一定的材料。
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