[发明专利]用准分子激光的光刻作用对光学制品表面进行仿形加工的方法

权利要求书

1、一种光学制品表面的成型方法，包括以下步骤：

将所述光学制品放置在一台能改变该光学制品位置使其对准能对此光学制品材料进行光蚀刻的准分子激光器的激光光束路径的仪器上；其特征在于该方法的步骤还包括：

使该准分子激光器的光束区域沿至少一条轴对所述光学制品进行扫描，同时控制所述光束的强度与时间的乘积，以控制该光学制品沿其至少一条轴的蚀刻量，使之按照预定的扫描速度廓线用高能量光束扫描所述光学制品表面，以便以预定方式沿所述轴从该制品表面上有选择地蚀刻掉一定的材料。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，使所述光学制品的整个表面均被扫描，以避免该表面在蚀刻后产生挠曲应力。

3、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述扫描速度廓线由下列通式限定：

V＝A/Yo²

式中V为光束扫描时的瞬时速度，A为蚀刻常数，Yo为光束离开加工对象中引出的柱面对称轴的距离，其中这种蚀刻作用使得一柱面分量被引至待加工表面。

4、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制品光学表面的球面弯曲的加工修整是通过沿垂直于上述第一条轴的第二条轴重复进行所述的受控制的扫描过程的附加步骤而完成的。

5、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述扫描速度廓线选择成为使所述光学加工表面上附加有棱镜。

6、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述扫描速度廓线限定为使所述光学加工表面去除棱镜。

7、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法是用于将具有球面折光能力的接触透镜制成复曲面接触透镜。

8、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法是用于隐形镜片再成型的。

9、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法是用于对角膜表面进行再成型的。