[其他]管芯测量观察装置无效
| 申请号： | 87201004 | 申请日： | 1987-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN87201004U | 公开（公告）日： | 1988-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈瑞璋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 季良赳,沈德新 |
| 地址： | 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型是半导体激光或发光二极管管芯的测量观察装置，属于半导体光辐射器件制造或处理时的测量设备。它由抽气泵，通气泵阀，使管芯绕轴和自身作360°旋转和上下移动的机械调节机构及观察显微镜组成。本实用新型配以测量仪器可以测量激光器或发光二极管的电学特性，电光特性，也可观察激光二极管管芯的解理腔面，通气泵阀可使管芯方便的吸附在吸片针上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD与LED研究制造过程中的有效监测工具。 | ||
| 搜索关键词： | 管芯 测量 观察 装置 | ||
【主权项】：
1、一种半导体激光或发光二极管的测量观察装置，它由抽气泵、通气泵阀、管芯测量观察台和观察显微镜构成，本实用新型的特征在于管芯测量观察台有探测光功率的光电探测器；有包括在平面上使管芯绕轴作360°旋转的摇臂，使管芯自身作360°旋转的方向调节盘和调节摇臂和管芯高度的调节螺母所构成的机械调节机构，以及有可抽空或通气的导气管路；通气泵阀有与抽气泵和测量观察台相连的导气管及与大气相连的放气孔；管芯观察台的吸片针兼作上电极，上电极与下电极间有绝缘材料制成的绝缘底座。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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