[其他]真空化学反应设备

摘要

在一种真空化学反应设备中，许多挂片座是从一挂片架径向地伸展出来的。大量的基片安置在各个挂片座的几乎整个表面上。每一个挂片座的形状，从正视图上看是一多边形。

主权项

1、一种真空化学反应设备，包括：在真空条件下可存放许多待处理物件的真空室；把真空室内部的压力抽空到一预定的低压力值的抽气装置；抽气装置完成抽空操作后，把一种反应性的气体导入真空室内，以便各个物件的表面能进行化学反应的导气装置；将许多物件保持在真空室内的物件保持装置；将在真空室外的许多物件运送到位于真空室内的物件保持装置的传输装置，其特征是：该物件保持装置包括挂片架和从挂片架上伸展开来的许多挂片座，挂片座上有许多保持物件的支承构件，以让大量物件基本上挂满挂片座的几乎整个表面；该挂片架可在真空室内移动，利用这一移动，至少有两个被该物件支持构件所支承的物件，可被输送过既定的基本上是相同的平面；接受来自该物件支承构件上至少两个基本上是位于相同平面上的物件，并将其送到输送装置去的装置。